本文主要研究内容
作者陈昀钊（2019）在《印制电路镀铜添加剂调控铜沉积平整化的研究》一文中研究指出：随着5G通信网络在全球范围内的部署,信号传输速度成数百倍地攀升,传输线表面微米级别的粗糙度已经不能满足信号传输损耗的要求。本文从添加剂调控铜电沉积表面粗糙度的角度出发通过对常用的三种镀铜添加剂的物理化学特性及电化学行为进行研究,筛选出了具有优异整平性能的添加剂体系,进一步将其应用在信号传输线的制作流程中,发现优选出的添加剂体系降低了19.7%的信号插入损耗,有效的提升了传输线的信号完整性。首先,本文对三种常用的电镀添加剂SPS、JGB、EO/PO进行了分子动力学模拟、量子化学计算、电化学分析。动力学模拟结果表明EO/PO对铜沉积起到最大的抑制作用,有利于形成较低粗糙度的铜面;JGB会阻挡部分SPS在铜面的吸附,减弱SPS在添加剂体系中的作用。量子化学计算结果表明EO/PO在电沉积的过程中性质比较稳定,反应活性最低;而JGB更容易发生电子转移,反应活性较高。电化学分析结果表明SPS有一定的加速作用,EO/PO具有强烈的抑制作用,两者共同作用可达到平衡;JGB在SPS-EO/PO体系中表现出明显的抑制作用。随后,为了筛选出整平性能最优的添加剂体系,本文设计了由SPS、EO/PO、JGB组成的添加剂体系,进行了各体系下的电沉积整平化试验,筛选出的SPS-EO/PO-JGB体系具有最优异的电沉积整平能力。在该体系中,EO/PO降低了沉积过程成核的密度及核生长的速率,SPS在铜沉积的非优先区产生了更多铜核,保证了沉积的均匀性,两者竞争吸附的共同作用导致了铜面均匀、细致的结晶与生长,JGB在该体系中的抑制作用使铜面结晶更加细致,所以该体系具有最优的整平性能。本文以铜表面粗糙度为指标设计了正交试验,结果表明添加剂浓度影响着铜面整平效果,SPS的浓度对平整性影响最大,平整度随着SPS浓度的增加而提升,EO/PO浓度对平整度影响最小,JGB浓度增大会导致较粗糙的铜面产生。最后,基于筛选出的整平性能最优的SPS-EO/PO-JGB添加剂体系,本文设计实验并验证了该体系对传输线插入损耗的影响。设计并制作了能够进行插入损耗测试且满足实验室环境下电沉积试验的测试板,并对测试板进行了不同添加剂体系下的铜电沉积试验。结果表明SPS-EO/PO-JGB添加剂体系相比无添加剂体系降低了19.7%的传输线插入损耗,因此将具有整平性能的添加剂应用在传输线的制作流程中可以显著的降低信号传输损耗进而提高信号完整性。
Abstract
sui zhao 5Gtong xin wang lao zai quan qiu fan wei nei de bu shu ,xin hao chuan shu su du cheng shu bai bei de pan sheng ,chuan shu xian biao mian wei mi ji bie de cu cao du yi jing bu neng man zu xin hao chuan shu sun hao de yao qiu 。ben wen cong tian jia ji diao kong tong dian chen ji biao mian cu cao du de jiao du chu fa tong guo dui chang yong de san chong du tong tian jia ji de wu li hua xue te xing ji dian hua xue hang wei jin hang yan jiu ,shai shua chu le ju you you yi zheng ping xing neng de tian jia ji ti ji ,jin yi bu jiang ji ying yong zai xin hao chuan shu xian de zhi zuo liu cheng zhong ,fa xian you shua chu de tian jia ji ti ji jiang di le 19.7%de xin hao cha ru sun hao ,you xiao de di sheng le chuan shu xian de xin hao wan zheng xing 。shou xian ,ben wen dui san chong chang yong de dian du tian jia ji SPS、JGB、EO/POjin hang le fen zi dong li xue mo ni 、liang zi hua xue ji suan 、dian hua xue fen xi 。dong li xue mo ni jie guo biao ming EO/POdui tong chen ji qi dao zui da de yi zhi zuo yong ,you li yu xing cheng jiao di cu cao du de tong mian ;JGBhui zu dang bu fen SPSzai tong mian de xi fu ,jian ruo SPSzai tian jia ji ti ji zhong de zuo yong 。liang zi hua xue ji suan jie guo biao ming EO/POzai dian chen ji de guo cheng zhong xing zhi bi jiao wen ding ,fan ying huo xing zui di ;er JGBgeng rong yi fa sheng dian zi zhuai yi ,fan ying huo xing jiao gao 。dian hua xue fen xi jie guo biao ming SPSyou yi ding de jia su zuo yong ,EO/POju you jiang lie de yi zhi zuo yong ,liang zhe gong tong zuo yong ke da dao ping heng ;JGBzai SPS-EO/POti ji zhong biao xian chu ming xian de yi zhi zuo yong 。sui hou ,wei le shai shua chu zheng ping xing neng zui you de tian jia ji ti ji ,ben wen she ji le you SPS、EO/PO、JGBzu cheng de tian jia ji ti ji ,jin hang le ge ti ji xia de dian chen ji zheng ping hua shi yan ,shai shua chu de SPS-EO/PO-JGBti ji ju you zui you yi de dian chen ji zheng ping neng li 。zai gai ti ji zhong ,EO/POjiang di le chen ji guo cheng cheng he de mi du ji he sheng chang de su lv ,SPSzai tong chen ji de fei you xian ou chan sheng le geng duo tong he ,bao zheng le chen ji de jun yun xing ,liang zhe jing zheng xi fu de gong tong zuo yong dao zhi le tong mian jun yun 、xi zhi de jie jing yu sheng chang ,JGBzai gai ti ji zhong de yi zhi zuo yong shi tong mian jie jing geng jia xi zhi ,suo yi gai ti ji ju you zui you de zheng ping xing neng 。ben wen yi tong biao mian cu cao du wei zhi biao she ji le zheng jiao shi yan ,jie guo biao ming tian jia ji nong du ying xiang zhao tong mian zheng ping xiao guo ,SPSde nong du dui ping zheng xing ying xiang zui da ,ping zheng du sui zhao SPSnong du de zeng jia er di sheng ,EO/POnong du dui ping zheng du ying xiang zui xiao ,JGBnong du zeng da hui dao zhi jiao cu cao de tong mian chan sheng 。zui hou ,ji yu shai shua chu de zheng ping xing neng zui you de SPS-EO/PO-JGBtian jia ji ti ji ,ben wen she ji shi yan bing yan zheng le gai ti ji dui chuan shu xian cha ru sun hao de ying xiang 。she ji bing zhi zuo le neng gou jin hang cha ru sun hao ce shi ju man zu shi yan shi huan jing xia dian chen ji shi yan de ce shi ban ,bing dui ce shi ban jin hang le bu tong tian jia ji ti ji xia de tong dian chen ji shi yan 。jie guo biao ming SPS-EO/PO-JGBtian jia ji ti ji xiang bi mo tian jia ji ti ji jiang di le 19.7%de chuan shu xian cha ru sun hao ,yin ci jiang ju you zheng ping xing neng de tian jia ji ying yong zai chuan shu xian de zhi zuo liu cheng zhong ke yi xian zhe de jiang di xin hao chuan shu sun hao jin er di gao xin hao wan zheng xing 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自电子科技大学的陈昀钊，发表于刊物电子科技大学2019-07-17论文，是一篇关于印制电路论文,表面粗糙度论文,电沉积论文,插入损耗论文,电子科技大学2019-07-17论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自电子科技大学2019-07-17论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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