本文主要研究内容
作者林盛隆,张宪民,朱本亮（2019）在《高带宽两自由度并联柔顺精密定位平台的优化设计与实验》一文中研究指出：针对目前用于原子力显微镜的扫描定位平台带宽低、行程小、耦合性能差等问题,提出了一种基于柔性梁的高带宽两自由度精密定位平台并对该平台进行了优化设计、仿真验证与实验分析。首先,提出了以双端固定梁与平行杂交梁为基础的并联柔顺平台,分别运用卡式第二定理和拉格朗日方程建立了平台刚度和固有频率的数学模型;然后,通过最优化理论获取了平台的最高固有频率及最优设计尺寸,并运用有限元方法验证了优化结果的可靠性;最后,搭建了实验系统,对平台进行了实验研究。实验结果表明:所设计平台的最大行程为12.950μm×13.517μm,耦合误差小于1.77%,X,Y方向的固有频率分别为12.21和13.50kHz,在开环条件下可良好地追踪频率小于1kHz的三角波,有效改善了传统扫描定位平台响应慢、行程小、耦合性能差等问题。
Abstract
zhen dui mu qian yong yu yuan zi li xian wei jing de sao miao ding wei ping tai dai kuan di 、hang cheng xiao 、ou ge xing neng cha deng wen ti ,di chu le yi chong ji yu rou xing liang de gao dai kuan liang zi you du jing mi ding wei ping tai bing dui gai ping tai jin hang le you hua she ji 、fang zhen yan zheng yu shi yan fen xi 。shou xian ,di chu le yi shuang duan gu ding liang yu ping hang za jiao liang wei ji chu de bing lian rou shun ping tai ,fen bie yun yong ka shi di er ding li he la ge lang ri fang cheng jian li le ping tai gang du he gu you pin lv de shu xue mo xing ;ran hou ,tong guo zui you hua li lun huo qu le ping tai de zui gao gu you pin lv ji zui you she ji che cun ,bing yun yong you xian yuan fang fa yan zheng le you hua jie guo de ke kao xing ;zui hou ,da jian le shi yan ji tong ,dui ping tai jin hang le shi yan yan jiu 。shi yan jie guo biao ming :suo she ji ping tai de zui da hang cheng wei 12.950μm×13.517μm,ou ge wu cha xiao yu 1.77%,X,Yfang xiang de gu you pin lv fen bie wei 12.21he 13.50kHz,zai kai huan tiao jian xia ke liang hao de zhui zong pin lv xiao yu 1kHzde san jiao bo ,you xiao gai shan le chuan tong sao miao ding wei ping tai xiang ying man 、hang cheng xiao 、ou ge xing neng cha deng wen ti 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自光学精密工程的林盛隆,张宪民,朱本亮，发表于刊物光学精密工程2019年08期论文，是一篇关于精密定位平台论文,高带宽论文,优化设计论文,固有频率论文,光学精密工程2019年08期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自光学精密工程2019年08期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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