导读:本文包含了光刻胶热熔论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:几何光学,光刻胶热熔,有限元,光线追迹
光刻胶热熔论文文献综述
刘向阳[1]（2019）在《光刻胶热熔法制备的非球面微透镜的设计方法》一文中研究指出为了进一步提高入射到光敏元上的光能,针对光刻胶热熔法制备的微透镜的非球面面形,提出了一种结合有限元光线追迹和拉格朗日乘子法的设计方法。给定焦距,用该算法可以自动计算出所需的微透镜面形。为了验证算法的精度,对圆形孔径的焦斑均方根半径进行了模拟和理论计算,二者较为吻合。对叁次有限元光线追迹的点列图误差进行了估计。计算了会聚到320 pixel×256 pixel背照射紫外焦平面探测器光敏元上的能量集中度,比较了具有不同圆角半径的方形孔径蓝宝石微透镜的效率。结果表明,具有6μm圆角半径的方形孔径微透镜的能量集中度较高,为96%。(本文来源于《光学学报》期刊2019年02期）
李文昊,巴音贺希格,齐向东[2]（2007）在《基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理》一文中研究指出根据表面热动力学原理提出了一种成本低廉、制作周期短、易于实现的光刻胶热熔法,阐述了光刻胶热熔法的基本原理,探讨了光刻胶热熔对光刻胶光栅表面刻槽形状的影响。实验中,分别对经过和未经过热熔处理的光刻胶光栅做了离子束刻蚀。结果表明,利用表面张力作用可使熔融状态下的光刻胶光栅刻槽表面变得平滑,粗糙度降低,并且成功地在K9玻璃基底上得到了槽形较好的全息光栅。(本文来源于《微细加工技术》期刊2007年01期）
任智斌,朱丽思,曾皓,姜会林[3]（2006）在《微透镜阵列的光刻胶热熔制作技术》一文中研究指出介绍了利用光刻胶热熔法制作微透镜阵列这种简单、实用的技术。阐明了其原理、工艺流程、关键技术并给出了实验结果。结果表明,光刻胶热熔技术是一种简单、实用的微透镜阵列制作技术。本文的研究结果可为微透镜阵列的进一步研制及产业化提供参考。(本文来源于《长春理工大学学报》期刊2006年04期）
任智斌,姜会林,付跃刚,张磊,田继文[4]（2006）在《微柱透镜阵列的全息-光刻胶热熔制作技术》一文中研究指出为改善微柱透镜阵列的制作技术、消除光刻工艺对光刻掩模版的依赖,研究了利用全息-热熔技术制作微柱透镜阵列的新方法,即首先采用了全息技术进行曝光,然后利用光刻胶热熔技术在K9玻璃基底上制作出了面形良好的微柱透镜阵列。实验结果表明,进行全息曝光并显影后,能够在光刻胶表面产生良好的正弦阵列表面结构,之后采用光刻胶热熔技术可将光刻胶的正弦阵列结构转变为微柱透镜阵列,且实验结果良好。(本文来源于《微细加工技术》期刊2006年04期）
光刻胶热熔论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
根据表面热动力学原理提出了一种成本低廉、制作周期短、易于实现的光刻胶热熔法,阐述了光刻胶热熔法的基本原理,探讨了光刻胶热熔对光刻胶光栅表面刻槽形状的影响。实验中,分别对经过和未经过热熔处理的光刻胶光栅做了离子束刻蚀。结果表明,利用表面张力作用可使熔融状态下的光刻胶光栅刻槽表面变得平滑,粗糙度降低,并且成功地在K9玻璃基底上得到了槽形较好的全息光栅。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
光刻胶热熔论文参考文献
[1].刘向阳.光刻胶热熔法制备的非球面微透镜的设计方法[J].光学学报.2019
[2].李文昊,巴音贺希格,齐向东.基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理[J].微细加工技术.2007
[3].任智斌,朱丽思,曾皓,姜会林.微透镜阵列的光刻胶热熔制作技术[J].长春理工大学学报.2006
[4].任智斌,姜会林,付跃刚,张磊,田继文.微柱透镜阵列的全息-光刻胶热熔制作技术[J].微细加工技术.2006