本文主要研究内容
作者龚树河,徐冉,刘宇阳,桂涛,王志刚,王星明（2019）在《单一相ZrB2靶材制备及镀膜表征》一文中研究指出：以氧化锆（ZrO2）、硼酸（H3BO3）和碳粉（C）为原料,硼（B）粉为添加剂,采用碳热还原法合成硼化锆（ZrB2）粉体,在真空碳管炉中,采用氩气气氛保护,加热升温至1900℃合成ZrB2粉体,然后利用热压烧结,在70 MPa、温度1980℃、保温保压时间4 h的热压工艺制备ZrB2靶材,对制备获得的ZrB2靶材进行溅射镀膜表征。通过X射线衍射（XRD）分析产物物相,扫描电镜（SEM）观察产物微观形貌。研究结果表明:添加5%（质量分数）的B粉,可合成单一相ZrB2粉体,颗粒平均尺寸为2～3μm,合成的ZrB2粉体具有良好的烧结活性,在不添加任何烧结助剂的条件下采用热压烧结工艺可获得相对密度为93%的单一相ZrB2靶材。磁控溅射镀膜表明,在功率密度60 kW·m-2、连续溅射3 h条件下,沉积的膜层均匀致密,厚度约为8.6μm; 10次溅射实验表明,靶材溅射速率稳定,平均溅射速率约52.4 g·kWh-1·m-2;且在相同溅射条件下,与进口商业化ZrB2靶材的溅射速率性能相当。
Abstract
yi yang hua gao （ZrO2）、peng suan （H3BO3）he tan fen （C）wei yuan liao ,peng （B）fen wei tian jia ji ,cai yong tan re hai yuan fa ge cheng peng hua gao （ZrB2）fen ti ,zai zhen kong tan guan lu zhong ,cai yong ya qi qi fen bao hu ,jia re sheng wen zhi 1900℃ge cheng ZrB2fen ti ,ran hou li yong re ya shao jie ,zai 70 MPa、wen du 1980℃、bao wen bao ya shi jian 4 hde re ya gong yi zhi bei ZrB2ba cai ,dui zhi bei huo de de ZrB2ba cai jin hang jian she du mo biao zheng 。tong guo Xshe xian yan she （XRD）fen xi chan wu wu xiang ,sao miao dian jing （SEM）guan cha chan wu wei guan xing mao 。yan jiu jie guo biao ming :tian jia 5%（zhi liang fen shu ）de Bfen ,ke ge cheng chan yi xiang ZrB2fen ti ,ke li ping jun che cun wei 2～3μm,ge cheng de ZrB2fen ti ju you liang hao de shao jie huo xing ,zai bu tian jia ren he shao jie zhu ji de tiao jian xia cai yong re ya shao jie gong yi ke huo de xiang dui mi du wei 93%de chan yi xiang ZrB2ba cai 。ci kong jian she du mo biao ming ,zai gong lv mi du 60 kW·m-2、lian xu jian she 3 htiao jian xia ,chen ji de mo ceng jun yun zhi mi ,hou du yao wei 8.6μm; 10ci jian she shi yan biao ming ,ba cai jian she su lv wen ding ,ping jun jian she su lv yao 52.4 g·kWh-1·m-2;ju zai xiang tong jian she tiao jian xia ,yu jin kou shang ye hua ZrB2ba cai de jian she su lv xing neng xiang dang 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自稀有金属的龚树河,徐冉,刘宇阳,桂涛,王志刚,王星明，发表于刊物稀有金属2019年09期论文，是一篇关于硼化锆论文,碳热还原论文,添加剂论文,靶材论文,镀膜论文,稀有金属2019年09期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自稀有金属2019年09期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。