导读:本文包含了压磁传感器论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:压,磁传感器,纳米硅薄膜晶体管,纳米硅薄膜,CMOS
压磁传感器论文文献综述
庄萃萃[1]（2013）在《纳米硅薄膜晶体管压/磁传感器制作工艺及特性研究》一文中研究指出随着MEMS技术和IC技术迅速发展，传感器小型化、多功能化和集成化成为传感器发展的重要方向，本文基于CMOS工艺和MEMS技术研究设计、制作纳米硅薄膜晶体管压/磁传感器。本文采用LPCVD法在n型<100>晶向高阻单晶硅上实现纳米硅薄膜制备，并采用XRD、Raman和AFM对薄膜微结构进行测试研究，基于上述研究，建立纳米硅薄膜晶体管压/磁理论模型，并对压/磁特性进行理论分析。在理论分析基础上，给出纳米硅薄膜晶体管压/磁传感器基本结构和工作原理，并采用ANSYS有限元软件和ATLAS器件模拟软件对压/磁传感器的特性进行仿真研究。在此基础上，以厚度为81.7nm和169.5nm的纳米硅薄膜为沟道层，采用CMOS工艺和MEMS技术实现纳米硅薄膜晶体管压/磁传感器芯片的设计、制作和封装。室温条件下，本文分别采用Fluke719100G压力校准系统和CH-Hall磁场校准系统对传感器进行测试，进行压敏特性和磁敏特性研究。实验结果给出，当外加磁场B=0T、外加工作电压VDD为5.0V时，纳米硅薄膜厚度为81.7nm，硅膜厚度为85μm，沟道长宽比分别为160μm/80μm、320μm/80μm和480μm/80μm的传感器压力灵敏度分别为0.48mV/kPa、0.35mV/kPa和0.32mV/kPa，与制作工艺和设计参数相同的扩散硅压阻式压力传感器相比，压力灵敏度明显提高；当外加磁场B≠0T时，传感器压敏特性有微弱变化；当外加压力P=0kPa、外加电压VDS为5.0V时，纳米硅薄膜厚度为81.7nm、沟道长宽比为160μm/80μm、320μm/80μm和480μm/80μm的纳米硅薄膜晶体管压/磁传感器的磁灵敏度分别为8.45mV/T、4.76mV/T和3.49mV/T，纳米硅薄膜晶体管压/磁传感器的磁灵敏度随沟道长宽比的增加而减小；当外加压力P≠0kPa，外加压力对传感器的磁敏特性影响较小。结果表明，本文设计、制作的纳米硅薄膜晶体管压/磁传感器能够完成外界压力和磁场的检测，实现压/磁检测集成化，为纳米硅薄膜在传感器领域进一步应用及传感器集成化研究奠定基础。(本文来源于《黑龙江大学》期刊2013-04-30）
蒋周翔,王成虎,王成彪,贾龙[2]（2010）在《用于压磁传感器的精密程控恒流源设计》一文中研究指出目前很多由分立元件构成的恒流源电流有限,稳定度较差,容易受到元器件参数变化和环境变化的干扰,并难以调节。在此采用闭环控制原理,利用单片机控制ADC和DAC转换模块,达到恒流的目的,并可以根据需要,通过代码改写实现电流的预置。克服了以往分立元件构成的恒流源不稳定的缺点,在实际应用中,达到了良好的供电效果,在多次实地测量中圆满完成任务。(本文来源于《现代电子技术》期刊2010年24期）
贾振元,卢晓红,王福吉,刘巍[3]（2010）在《压磁传感器压力检测的交-直变换技术研究》一文中研究指出采用电路设计与原理分析相结合的方法对坡莫合金压磁式测力传感器测试系统的交-直变换电路进行了研究。针对坡莫合金压磁式测力传感器的特点,设计了传感器测试系统及交-直变换电路,并对交-直变换电路中的电源、功放、精密整流滤波电路、电压调整器、仪用放大器、低通滤波器等关键组成部件进行了深入探讨。所设计的交-直变换方案保持了传统电桥高灵敏度的优点,测试实验验证了电路的合理性。(本文来源于《压电与声光》期刊2010年02期）
贾振元,卢晓红,王福吉,刘巍[4]（2009）在《压磁传感器结构设计的有限元分析》一文中研究指出鉴于已有坡莫合金压磁传感器结构模型与实际情况相差较大,以便于准确、量化地研究坡莫合金材料的压磁效应为出发点,提出了将传感器视为二维的坡莫合金平面单元的建模方法,降低了问题求解的难度。利用有限元分析软件SSAP93,以应力面积比为判据,针对不同尺寸形状的传感器进行了对比分析计算,最终确定了坡莫合金传感器的结构与尺寸。(本文来源于《中国机械工程》期刊2009年16期）
武懂涛[5]（2008）在《用于压磁传感器的压磁材料的特性研究》一文中研究指出传感器是测量仪表、智能化仪表、自动控制系统、计算机信息输入装置中的重要元件,是“一切信息的触觉”。随着传感器技术的发展,除了早期使用的材料,如:半导体材料、陶瓷材料以外,人们进一步探索具有新效应的敏感功能材料,并以此研制具有新原理的新型传感器。压磁传感器以磁致伸缩原理为基础,以其输出功率大、信号强、结构简单、抗干扰性能好、过载能力强等优点成为近几年来国内外传感器研究的热点。进而,研发和制备用于压磁传感器的压磁材料就成为了实现压磁传感器的关键。本文以研发适合压磁传感器应用的大磁致伸缩压磁材料为目的,进行了包括磁致伸缩产生机制理论、压磁材料的成分设计、压磁材料制备方法和压磁材料性能表征在内的一系列研究。主要工作如下:深入研究了铁氧体铁磁材料磁致伸缩的产生机制,以求从根源上改善其磁致伸缩性能。研究了尖晶石铁氧体的晶体结构以及金属离子在其中的分布规律,向铁氧体中掺入金属离子来改善铁氧体磁学性能。理论研究表明,尖晶石铁氧体的磁学性能主要来源于未抵消的A-B超交换作用,据此经过严密的论证,得出向CoFe_2O_4铁氧体中掺入适当的Mn~(2+)离子有助于提高其磁致伸缩性能。采用层状前体法制备了Cp_(1-x)Mn_xFe_2O_4系列铁氧体压磁材料,研究了具体的制备工艺及流程,得到了成分单一,结构稳定,晶相完整,颗粒均匀的焙烧样品。表征了所制备的Co_(1-x)Mn_xFe_2O_4系列铁氧体压磁材料的比饱和磁化强度、矫顽力和磁致伸缩系数,并与传统的制备方法做了对比,用实验证明了层状前体法的优越性。实验得出当x=0.1时,Co_(1-x)Mn_xFe_2O_4系列铁氧体压磁材料能够获得较高的比饱和磁化强度(72.63emu/g)、磁致伸缩常数(122ppm)和较低的矫顽力(61KA/m)。(本文来源于《北京化工大学》期刊2008-05-27）
谭玉轩,袁福水,梁景理[6]（1987）在《HYC-环形压磁传感器的研究及其应用》一文中研究指出本文介绍了环形压磁传感器,它不仅具有一般压磁传感器的特点,而且能克服它们的缺点。适应于冲击振动、水淋、高温那样的恶劣条件下测力称重。(本文来源于《冶金自动化》期刊1987年06期）
[7]（1987）在《新型HYC-环形压磁传感器》一文中研究指出一、概述 由冶金部自动化所研制的HYC-环形压磁传感器,性能稳定、坚固耐用,该传感器1984年已在柳州钢厂中板轧机上应用。运行正常,效果良好。1985年10月通过冶金部技术鉴定。用于轧机测力,稳定可靠,保用两年,水淋油浸,绝缘不变。由于高度低,体积小,能较好地适(本文来源于《冶金自动化》期刊1987年05期）
谭玉轩,梁景理[8]（1986）在《HYC—环形压磁传感器及其应用》一文中研究指出一、概述压磁式传感器是压磁测力计的关键部分,它直接影响着测力计的寿命与性能。在国外已有叁十余年的历史,我国在这方面的研究也有十几年了,虽然其测力精度不高,但由于结构简单、坚固耐用,在矿山、冶金、煤炭、铁路运输等潮湿水浸、烟熏火烤、(本文来源于《轧钢》期刊1986年06期）
洪喜君,王静,刘玉志[9]（1985）在《压磁传感器用压磁材料》一文中研究指出压磁传感器用压磁材料是压磁式称重仪表的关键材料,压磁式测力称重仪表,是最近出现的新型工业仪表。该仪器具有输出信号大,抗干扰性强,环境适应性好,结构简单牢固和过载能力高等独特优点,是一种用途很广和通用性很强的工业测力称重仪表。目前我国宝钢,(本文来源于《上海钢研》期刊1985年05期）
压磁传感器论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
目前很多由分立元件构成的恒流源电流有限,稳定度较差,容易受到元器件参数变化和环境变化的干扰,并难以调节。在此采用闭环控制原理,利用单片机控制ADC和DAC转换模块,达到恒流的目的,并可以根据需要,通过代码改写实现电流的预置。克服了以往分立元件构成的恒流源不稳定的缺点,在实际应用中,达到了良好的供电效果,在多次实地测量中圆满完成任务。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
压磁传感器论文参考文献
[1].庄萃萃.纳米硅薄膜晶体管压/磁传感器制作工艺及特性研究[D].黑龙江大学.2013
[2].蒋周翔,王成虎,王成彪,贾龙.用于压磁传感器的精密程控恒流源设计[J].现代电子技术.2010
[3].贾振元,卢晓红,王福吉,刘巍.压磁传感器压力检测的交-直变换技术研究[J].压电与声光.2010
[4].贾振元,卢晓红,王福吉,刘巍.压磁传感器结构设计的有限元分析[J].中国机械工程.2009
[5].武懂涛.用于压磁传感器的压磁材料的特性研究[D].北京化工大学.2008
[6].谭玉轩,袁福水,梁景理.HYC-环形压磁传感器的研究及其应用[J].冶金自动化.1987
[7]..新型HYC-环形压磁传感器[J].冶金自动化.1987
[8].谭玉轩,梁景理.HYC—环形压磁传感器及其应用[J].轧钢.1986
[9].洪喜君,王静,刘玉志.压磁传感器用压磁材料[J].上海钢研.1985