朱文武:基于FPGA的晶振膜厚控制系统设计论文

朱文武:基于FPGA的晶振膜厚控制系统设计论文

本文主要研究内容

作者朱文武(2019)在《基于FPGA的晶振膜厚控制系统设计》一文中研究指出:通过以CYCLONE EP2C35 FPGA芯片为平台,有机地结合嵌入式软件设计和光学镀膜技术,运用石英晶体监控法,通过采集石英晶体监控的信号数据,采用测量膜厚算法和PID控制算法进行综合处理,在Nios Ⅱ IDE开发环境集成的C/OS-Ⅱ嵌入式操作系统下,设计薄膜厚度监测控制系统的镀膜监控菜单显示界面,实现基于FPGA的薄膜厚度监测控制系统。

Abstract

tong guo yi CYCLONE EP2C35 FPGAxin pian wei ping tai ,you ji de jie ge qian ru shi ruan jian she ji he guang xue du mo ji shu ,yun yong dan ying jing ti jian kong fa ,tong guo cai ji dan ying jing ti jian kong de xin hao shu ju ,cai yong ce liang mo hou suan fa he PIDkong zhi suan fa jin hang zeng ge chu li ,zai Nios Ⅱ IDEkai fa huan jing ji cheng de C/OS-Ⅱqian ru shi cao zuo ji tong xia ,she ji bao mo hou du jian ce kong zhi ji tong de du mo jian kong cai chan xian shi jie mian ,shi xian ji yu FPGAde bao mo hou du jian ce kong zhi ji tong 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自佳木斯大学学报(自然科学版)的朱文武,发表于刊物佳木斯大学学报(自然科学版)2019年01期论文,是一篇关于石英晶体监控论文,测量膜厚论文,控制论文,佳木斯大学学报(自然科学版)2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自佳木斯大学学报(自然科学版)2019年01期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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