导读:本文包含了脉冲激光溅射沉积论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:脉冲激光溅射沉积(PLD),功能薄膜,应用研究
脉冲激光溅射沉积论文文献综述
郭昭君,王高,赵辉,魏林,高志强[1]（2011）在《脉冲激光溅射沉积技术的发展及其应用研究》一文中研究指出薄膜材料已经在半导体材料、超导材料、生物材料等方面得到广泛应用。为了得到高质量的薄膜材料,脉冲激光溅射沉积(PLD)技术受到了广泛的关注。文中介绍了脉冲激光溅射沉积薄膜的基本原理及特点,分析了脉冲激光溅射沉积技术在制备高温超导膜、铁电薄膜、生物陶瓷薄膜等功能薄膜方面的应用研究。大量研究表明,脉冲激光溅射沉积是目前最好的制备薄膜的方法之一,具有很大的发展潜力和广泛的应用前景。(本文来源于《光学仪器》期刊2011年02期）
刘中凡,郝雪,朱文选,宋昌烈[2]（2009）在《脉冲激光溅射沉积镱铒共掺Al_2O_3薄膜工艺参数优化》一文中研究指出分别以铝、铒、镱为靶材,采用脉冲激光沉积技术(PLD),在二氧化硅/硅基底上沉积镱、铒共掺的叁氧化二铝薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、单色仪等分析手段,研究了薄膜的表面形貌、光致发光强度(PL)等性质。优化了氧分压和靶间距两个重要工艺参数。光致发光强度提高14倍,半峰宽提高了70nm。(本文来源于《应用激光》期刊2009年03期）
刘中凡,郝雪,周松强,朱文选,宋昌烈[3]（2008）在《脉冲激光溅射沉积光学增益薄膜实验研究》一文中研究指出用脉冲激光沉积方法,以多靶交替溅射方式,在SiO2/Si基底上沉积镱铒共掺Al2O3光学薄膜,讨论了脉冲激光能量对薄膜沉积速率、表面形貌、光致发光强度的影响。在脉冲激光能量较高条件下制备出的薄膜的光致发光性能较好,脉冲激光能量较低条件下制备出的薄膜的表面形貌较均匀。综合放大器增益系数对光致发光强度和光刻工艺对薄膜表面形貌的要求,薄膜应该在合适的激光能量下制备。脉冲激光溅射沉积方法与中频磁控溅射方法相比,在抑制上转换发光方面具有优越性。(本文来源于《应用激光》期刊2008年02期）
吕学超,张永彬,张厚量,任大鹏,郎定木[4]（2007）在《脉冲激光和磁控溅射沉积Mo薄膜研究》一文中研究指出材料的物态方程实验是凝聚态物理研究的重要内容之一。实验用于高能量驱动的一种靶目前主要是 Me-Mo 台阶薄膜靶。靶物理设计者对 Mo 薄膜的密度要求高,但也认为如果能获取 Mo 等材料的薄膜具有好的表面粗糙度、厚度一致性以及高密度,开展这种物态方程实验仍是有意义的。(本文来源于《TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》期刊2007-08-01）
梁素平,蒋毅坚[5]（2002）在《脉冲激光溅射沉积YBCO超导薄膜》一文中研究指出从激光与材料相互作用理论出发,分析了激光烧蚀材料等离子体羽辉的空间运动特征和成分分布;以YBCO/SrTiO_3为对象,从实验上系统研究了脉冲激光溅射沉积薄膜过程中薄膜质量与基片温度、基片-靶材距离、气体压强、激光脉冲能量以及重复频率等参数的关系;总结出在SrTiO_3(100)单晶基片上溅射沉积YBCO高温超导薄膜的最佳实验参数。(本文来源于《应用激光》期刊2002年02期）
冯钟潮,赵岩,锺志源[6]（1999）在《脉冲激光溅射沉积PZT膜》一文中研究指出利用脉冲激光溅射沉积ＰＺＴ压电陶瓷薄膜。着重研究了制备过程对膜层成分和结构的控制。(本文来源于《应用激光》期刊1999年05期）
赵岩,冯钟潮,张炳春,梁勇[7]（1998）在《脉冲激光溅射沉积WO_3气敏膜》一文中研究指出本文研究了脉冲激光溅射镀膜技术沉积WO_3基片在室温下,沉积的WO_3膜部分晶化并部分还原.经热处理,在450℃左右膜层开始晶化,最后形成叁斜晶系的WO_3晶化后颗粒在几十到几百纳米之间.本技术沉积的WO_3膜对NO_2气体有非常好的气敏性能,可检测0.1×10~(-6)量级的NO_2气体.WO_3膜的灵敏度随温度降低而增大,但同时响应时间和恢复时间增长.同其它制备技术相比,本技术沉积的WO_3膜显着提高了响应性能:响应时间和恢复时间,它们分别为30_s和70_s.(本文来源于《传感技术学报》期刊1998年04期）
黎晓琴[8]（1992）在《脉冲激光感应溅射沉积》一文中研究指出脉冲激光感应溅射沉积是一种新型溅射镀膜技术。已不再用传统溅射镀膜工艺中的辉光放电现象。采用脉冲激光器和导电电极板产生离子。介绍了特点和潜在的优势。能在高真空条件下进行溅射沉积。给出了实验结果,说明了新技术实用的可行性。(本文来源于《真空与低温》期刊1992年02期）
脉冲激光溅射沉积论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
分别以铝、铒、镱为靶材,采用脉冲激光沉积技术(PLD),在二氧化硅/硅基底上沉积镱、铒共掺的叁氧化二铝薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、单色仪等分析手段,研究了薄膜的表面形貌、光致发光强度(PL)等性质。优化了氧分压和靶间距两个重要工艺参数。光致发光强度提高14倍,半峰宽提高了70nm。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
脉冲激光溅射沉积论文参考文献
[1].郭昭君,王高,赵辉,魏林,高志强.脉冲激光溅射沉积技术的发展及其应用研究[J].光学仪器.2011
[2].刘中凡,郝雪,朱文选,宋昌烈.脉冲激光溅射沉积镱铒共掺Al_2O_3薄膜工艺参数优化[J].应用激光.2009
[3].刘中凡,郝雪,周松强,朱文选,宋昌烈.脉冲激光溅射沉积光学增益薄膜实验研究[J].应用激光.2008
[4].吕学超,张永彬,张厚量,任大鹏,郎定木.脉冲激光和磁控溅射沉积Mo薄膜研究[C].TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2007
[5].梁素平,蒋毅坚.脉冲激光溅射沉积YBCO超导薄膜[J].应用激光.2002
[6].冯钟潮,赵岩,锺志源.脉冲激光溅射沉积PZT膜[J].应用激光.1999
[7].赵岩,冯钟潮,张炳春,梁勇.脉冲激光溅射沉积WO_3气敏膜[J].传感技术学报.1998
[8].黎晓琴.脉冲激光感应溅射沉积[J].真空与低温.1992
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