导读:本文包含了选择性化学腐蚀论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:飞秒激光,化学腐蚀,光纤微纳结构
选择性化学腐蚀论文文献综述
褚东凯,孙小燕,董欣然,胡友旺,周剑英[1]（2016）在《飞秒激光改性区选择性化学腐蚀加工光纤微纳结构传感器》一文中研究指出光纤微纳结构传感器具有体积小、质量轻、抗电磁干扰和灵敏度高等优点,已成为各领域不可或缺的传感器件.本文简要介绍了飞秒激光改性区选择性化学腐蚀加工光纤微纳结构的方法,并根据传感器工作原理,将所得传感器件分为干涉型、衍射型和复合型3种.重点阐述了各类型器件的结构和性能,并对运用该方法制作的光纤微纳结构进行总结和展望.(本文来源于《科学通报》期刊2016年06期）
魏青竹,马跃,王景霄,陈文浚[2]（2012）在《化学腐蚀法多晶硅选择性发射极太阳电池特性研究》一文中研究指出选择性发射极(SE)太阳电池是提高效率、降低成本的一种有效手段。采用酸性腐蚀液腐蚀发射层,对腐蚀特性和腐蚀后发射层的特性进行表征,并结合丝网印刷保护性浆料,在多晶硅上成功实现了选择性发射极太阳电池。研究结果表明,腐蚀速率基本不变,腐蚀后表面形貌无变化,腐蚀后发射层SiNx钝化效果先提高后降低,在表面浓度约为2.5×1020cm-3情况下表面复合速率最低。采用湿法化学腐蚀多晶SE电池,开路电压提高4mV,短路电流密度提高0.58mA/cm2,光电转换效率绝对值提高0.2%。化学腐蚀法工艺步骤中只有一次热处理过程,热耗小,对硅片无损害,化学腐蚀去除死层,蓝光波段响应高,钝化效果佳,特别适用于多晶SE电池。(本文来源于《太阳能学报》期刊2012年09期）
邹文秀[3]（1991）在《钼金属掩模的选择性化学腐蚀》一文中研究指出本文主要叙述薄膜集成电路所用的钼金属空花掩模的制备。简述了制备工艺流程,阐明了用硝酸、磷酸、醋酸的混合液选择性化学腐蚀的机理,讨论了化学腐蚀的主要影响因素,从而制定了腐蚀液的最佳配方和腐蚀的工艺条件。(本文来源于《电子元件与材料》期刊1991年01期）
选择性化学腐蚀论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
选择性发射极(SE)太阳电池是提高效率、降低成本的一种有效手段。采用酸性腐蚀液腐蚀发射层,对腐蚀特性和腐蚀后发射层的特性进行表征,并结合丝网印刷保护性浆料,在多晶硅上成功实现了选择性发射极太阳电池。研究结果表明,腐蚀速率基本不变,腐蚀后表面形貌无变化,腐蚀后发射层SiNx钝化效果先提高后降低,在表面浓度约为2.5×1020cm-3情况下表面复合速率最低。采用湿法化学腐蚀多晶SE电池,开路电压提高4mV,短路电流密度提高0.58mA/cm2,光电转换效率绝对值提高0.2%。化学腐蚀法工艺步骤中只有一次热处理过程,热耗小,对硅片无损害,化学腐蚀去除死层,蓝光波段响应高,钝化效果佳,特别适用于多晶SE电池。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
选择性化学腐蚀论文参考文献
[1].褚东凯,孙小燕,董欣然,胡友旺,周剑英.飞秒激光改性区选择性化学腐蚀加工光纤微纳结构传感器[J].科学通报.2016
[2].魏青竹,马跃,王景霄,陈文浚.化学腐蚀法多晶硅选择性发射极太阳电池特性研究[J].太阳能学报.2012
[3].邹文秀.钼金属掩模的选择性化学腐蚀[J].电子元件与材料.1991