导读:本文包含了真空机器人论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:电机驱动,分流电阻器,RMS
真空机器人论文文献综述
[1]（2019）在《了解电机驱动的真空机器人的世界》一文中研究指出随着世界变得越来越自动化,使用常规立式吸尘器清洁房屋感觉苦不堪言。自2002年首台真空机器人上市以来,清洁机器人的功能和可用选项大幅增加。事实上,许多优质机器人真空吸尘器目前已进入第六代。推动这一变化的因素-无论是比喻含义还是字面含义-是使您的现代真空机器人流畅运行的一个器件-电机驱动。如同今天的家用机器人助手一样,电驱动的尺寸持续缩小,同时性能也在提高。在本文中,我将回顾真空机器人的主要特点和当前趋势,以及电机驱动如何帮助满足这些要求。展望未来,预计真空机器人将变得不那么笨拙(换言之,不那么容易迷失方向)且运行更快。设计尺寸也将继续缩小,使他们能够清洁诸如厨柜或低间隙家具之类的狭窄部位。(本文来源于《世界电子元器件》期刊2019年08期）
黄玉钏,曲道奎,徐方[2]（2012）在《基于自然正交补的真空机器人动力学建模》一文中研究指出基于自然正交补方法,推导出了一种真空并联机器人简洁的动力学模型.首先得到真空并联机器人的等效串联模型,并获取其运动学正反解.然后用利用自然正交补的理论给出真空机器人的动力学模型.通过仿真实验,可以验证该方法的可行性和有效性.(本文来源于《机器人》期刊2012年06期）
邹风山,曲道奎,徐方[3]（2011）在《真空机器人轨迹规划研究》一文中研究指出为了使真空机器人获得高速、高精度的运动性能并减少系统的残余振动,文中提出了一种加加速度受限的非对称轨迹规划方法。首先阐述了该轨迹规划方法中轨迹限制条件的定义,然后根据定义的限制条件值给出了所有可能的加速度轨迹形状,并给出了各种轨迹形状下的完整算法及实现,最后将该算法应用于真空机器人运动规划中,该机器人用于在真空腔室中进行硅片传输工作。实验结果表明该方法可以有效地提高机器人的定位精度和效率并减少系统的残余振动。(本文来源于《组合机床与自动化加工技术》期刊2011年10期）
邹风山,曲道奎,徐方,宋吉来[4]（2011）在《基于位置误差的真空机器人碰撞保护研究》一文中研究指出要保证碰撞发生时真空机器人与晶片的安全,避免造成较大的损失,真空机器人必须具有碰撞保护功能。在研究真空机器人位置误差变化的基础上,不使用额外的传感器,建立基于位置误差模糊推理的碰撞保护系统。该系统选用二维的模糊控制器来确定位置误差的阈值,以机器人加速度、机械惯量作为输入条件,估计的系统位置误差作为输出条件;并提出了不同的保护策略。最后给出了真空机器人碰撞的实验结果,结果表明该碰撞保护方法具有较高的准确性和灵敏度。(本文来源于《组合机床与自动化加工技术》期刊2011年09期）
林凯[5]（2009）在《基于真空机器人的直驱电机控制方法的研究》一文中研究指出当今世界,一个国家半导体行业的先进程度显示了这个国家高新技术的先进程度。而用于半导体生产的真空机器人(真空机械手)负责在不同的生产工序(各制造腔体)中搬运晶圆的任务,作用不可或缺。目前国外对真空机械手进行技术封锁,我国真空机械手研究严重滞后。而在真空机械手的真空腔内,为了达到高精度、高速度、无污染、免维护的要求,首先需要减小占用的空间,其次需要简化传动机构以减小累积误差,这样使用带有减速箱的电机就不能满足要求,这就提出了对直接驱动方式的要求。由于直接驱动方式减去了中间传动机构,不仅提高了系统的机械刚度,也消除了机械因素对速度和加速度的限制,这是有可能获得比原来更高的定位精度和更好的动态性能。但是,直接驱动也同时存在缺点,首先,需要高精度的电机与位置传感器,系统成本高;其次,中间环节的取消后,系统对外部干扰和负载扰动更敏感。因此,直接驱动对控制系统提出了更高的要求:要求控制系统具有很强的抗扰动能力。本论文对真空机械手所使用的永磁同步直驱电机进行了控制方法的研究。分析了永磁同步直驱电机需要解决的关键问题。在研究各种先进控制方法的基础上,对永磁同步直驱电机建模、无传感器控制方法、传统控制方法、鲁棒控制方法进行了系统研究,并采用一种基于MRACS与模糊算法相结合的控制方法进行仿真实验,通过实验验证了这种方法的优越性。另外,论文还编写了系统上位机和下位机程序,界面友好,方便了其它控制方法的研究应用。(本文来源于《沈阳理工大学》期刊2009-12-01）
刘侃[6]（2009）在《真空机器人的磁感应式磁力传动器研究与设计》一文中研究指出磁力传动技术是通过磁性材料所产生同性相斥、异性相吸的磁力作用,来实现力或转矩无接触传递的一种新技术。由于磁力传动可以在传动的同时通过隔离套起到隔离密封的作用,可以考虑将它应用在IC制造业的真空机器人上,以保证IC制造业高洁净度和高真空度的要求。本文介绍了课题的选题背景及来源,在分析了国内、外真空机器人和磁力传动技术的研究和发展现状的基础上,阐明了课题的选题意义。主要研究内容围绕以下几个方面展开:首先,对研究的磁力传动器进行总体方案的设计。根据应用于真空机器人的性能要求,进行磁力传动器的结构选型;根据高真空环境的技术要求,采用磁感应式磁力生成方式,设计一种传递旋转运动的圆筒型磁感应式磁力传动器。然后根据确定的总体方案,对磁感应式磁力传动器进行参数化设计。在确定内、外磁极所选用磁性材料的基础上,对该磁力传动器进行磁路物理建模与数学建模,根据结构尺寸要求和已有各参数间的影响关系,确定磁路的关键参数。根据确定的关键参数,利用集总参数法、工程估算法以及ANSYS有限元分析叁种不同方法对设计的转矩进行估算。在完成磁路设计后,利用Pro/E软件对本磁力传动器进行叁维实体建模与虚拟装配;验证无误后进行机械本体设计、零件选材;对关键部件的参数进行计算、校核,设计、加工出本磁力传动器机械本体;并根据加工出的本体结构特点搭建实验测试平台。实验测试平台的控制方案采用步进电机+MPC07运动卡制卡+PC机结合的方式,实现在不同转速下的运动控制,对磁感应式磁力传动器进行静、动态转矩测试。根据测试数据验证了理论计算方法的合理性后,得到了本磁力传动器在不同转速下的动态转矩传递特性及功率特性,确定其最佳工作状态。最后,对本磁感应式磁力传动器设计、加工制造以及实验测试过程中产生的问题和不足之处进行了讨论和分析;结合后续的研究方向,为下一步研究工作的进行提出了展望。(本文来源于《大连理工大学》期刊2009-11-14）
王禹林[7]（2009）在《真空机器人的磁性联轴器及轴系理论建模与实验研究》一文中研究指出真空机器人是半导体前道集束型设备中各反应工艺腔室之间传输晶圆的核心部件,归属于禁运产品,已成为制约我国半导体整机装备制造的“卡脖子”问题。大气环境与真空环境之间的密封隔离与动力传递正是制约真空机器人性能提高的技术瓶颈。因此,真空机器人关键技术的突破及原型系统的创新设计,对实现具有自主知识产权的半导体整机设备核心部件具有重要的理论意义和实际应用价值。本论文以内外轴式磁性联轴器的建模与分析优化为主要目标,结合磁力传动技术和直接驱动技术,设计两自由度同轴布局的真空机器人动力传递轴系原型系统。本文首先分别建立了内外轴式磁性联轴器的理论模型和叁维有限元模型。改进了等效磁荷法和片电流法求解磁性联轴器传递扭矩的数学模型,引入漏磁损失系数,分别得到了基于这两种方法的内外轴间隙式磁性联轴器的最大扭矩简化公式,扩大了模型的适用范围,显着提高了这两种方法的求解精度和效率。其中,片电流法在求解精度上提高了25%-30%,等效磁荷法精度提高了4%-30%,求解效率提高超过了一倍。通过使用片电流法,等效磁荷法和叁维有限元模型,全面地分析了磁性联轴器几何参数与其最大扭矩、最大扭矩体积比,以及启动扭转刚度的关系。并使用叁维有限元法分别对轭铁的导磁效应、多组磁性联轴器间的磁耦合效应以及四种不同构型的内外轴式磁性联轴器进行了仿真分析。分析结果被应用于磁性联轴器的优化设计基于磁性联轴器在真空机器人轴系中实际应用时的耦合工况,以同时优化两组磁性联轴器为例,建立了磁性联轴器设计几何参数优化的目标函数。创新地提出了一种基于正交实验设计技术的小范围穷举优化设计方案,该方案纵观全局的设计参数,结合了解析法运算效率高和叁维有限元法求解精度高的优点,利用正交实验法和小范围穷举法显着地减少了分析模型的数目,是一种高效实用、稳定可靠的优化方法。本例中,最终的优化参数组比正交表中可获得的相对最优参数组的指标值提高了约30%,优化结果与设计的目标值一致。研制了具有两自由度同轴布局的真空机器人动力传递轴系原型系统。结合真空机器人的开发,创新地将隔离密封套设计为台阶式的空心薄壁容器构件,并对隔离套的强度和径向变形进行了校核,对隔离套上的涡流损失进行了研究分析。此外,提出了一种适用于真空机器人的磁性联轴器设计方案,对分体式直接驱动电机轴系的设计进行了研究,对下一代真空机器人的研发有着重要的参考价值。最后,研制了可测试磁性联轴器内外转子间偏位影响的实验平台,进行了轴向偏位、径向偏位,和角向偏位对内外轴式磁性联轴器传递扭矩和动态性能的影响测试。实验结果表明,在实际应用中,偏位对内外轴式磁性联轴器的传递扭矩和动态跟踪特性影响很小。实验中,磁性联轴器的动态跟踪性能良好,在启动阶段,响应时间小于0.0ls；当峰值速度为670deg／s,加速度为1260deg／s2时,稳定时间tS为0.35s,各种偏位情况下的最大跟踪误差δ均为20'左右,稳态误差ess在2’左右。此外,对轴系的定位精度和重复定位精度,以及动态响应特性进行了测试,结果表明其具有良好的跟踪性能,稳态误差ess在3’左右,各组磁性联轴器间的磁耦合效应很小。(本文来源于《上海交通大学》期刊2009-10-01）
潘萌,曲道奎,徐方,王金涛[8]（2007）在《基于OpenGL的真空机器人叁维图形仿真》一文中研究指出真空机器人是先进半导体制造行业中不可缺少的重要设备之一。本文介绍了一种并联型真空机器人的运动学模型,以及利用OpenGL和STL格式文件在Visual C++6.0程序界面中实现3D图形仿真的方法,取得了良好的实验效果,为进一步实现上位机实时在线监控奠定了基础。(本文来源于《微计算机信息》期刊2007年35期）
真空机器人论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
基于自然正交补方法,推导出了一种真空并联机器人简洁的动力学模型.首先得到真空并联机器人的等效串联模型,并获取其运动学正反解.然后用利用自然正交补的理论给出真空机器人的动力学模型.通过仿真实验,可以验证该方法的可行性和有效性.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
真空机器人论文参考文献
[1]..了解电机驱动的真空机器人的世界[J].世界电子元器件.2019
[2].黄玉钏,曲道奎,徐方.基于自然正交补的真空机器人动力学建模[J].机器人.2012
[3].邹风山,曲道奎,徐方.真空机器人轨迹规划研究[J].组合机床与自动化加工技术.2011
[4].邹风山,曲道奎,徐方,宋吉来.基于位置误差的真空机器人碰撞保护研究[J].组合机床与自动化加工技术.2011
[5].林凯.基于真空机器人的直驱电机控制方法的研究[D].沈阳理工大学.2009
[6].刘侃.真空机器人的磁感应式磁力传动器研究与设计[D].大连理工大学.2009
[7].王禹林.真空机器人的磁性联轴器及轴系理论建模与实验研究[D].上海交通大学.2009
[8].潘萌,曲道奎,徐方,王金涛.基于OpenGL的真空机器人叁维图形仿真[J].微计算机信息.2007