导读:本文包含了大口径平面镜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:五棱镜扫描法,大口径平面镜,面形,表面倾斜角
大口径平面镜论文文献综述
袁理,张晓辉[1]（2019）在《采用五棱镜扫描法检测大口径平面镜的面形》一文中研究指出为了提高大口径平面镜面形检测的精度和效率,提出了一种新的五棱镜扫描法。该方法采用径向扫描的方式,使用一个扫描的五棱镜和一台自准直仪来测量表面倾斜角的差值,然后将被测平面镜的面形表示为Zernike多项式的线性组合,再利用表面倾斜角的差值建立方程组,最后采用最小二乘法计算得到被测平面镜的面形。在检测过程中,该方法还可以对五棱镜在扫描过程中的倾斜变化量进行自动监视和调整,减小了检测误差。误差分析表明,该方法的面形检测精度为7. 6 nm rms(均方根误差)。采用该方法对一块1. 5 m口径的平面镜进行了面形检测,并与Ritchey-Common法的检测结果进行了对比,两种方法面形结果的差异为7. 1 nm rms,小于五棱镜扫描法的面形检测精度。证明了利用该五棱镜扫描法检测大口径平面镜面形的正确性。(本文来源于《中国光学》期刊2019年04期）
黄金勇,赵恒,胡庆,高胥华[2]（2019）在《大口径平面光学元件波前梯度数控抛光》一文中研究指出针对改善光学元件的波前梯度均方根指标,在总结面形精度及面形分布对波前梯度指标影响规律的基础上,提出了基于匀滑面形拟合加工的方法,给出了该方法的基本思想和工作流程。首先,对原始面形数据进行扫描计算,标记波前突变数据。然后,采用NURBS拟合算法重构相邻面形突变点之间的数据,生成用于指导加工的面形数据。最后,根据待加工面形数据选择相应参数进行面形加工。采用多件610mm×440mm口径K9材料平面反射镜进行实验验证。实验结果表明,使用该方法进行数控加工,在2～3个加工周期内可使波前梯度均方根指标从11nm/cm收敛至7.7nm/cm以内,且面形几乎保持不变。(本文来源于《光学精密工程》期刊2019年07期）
巫玲,陈念年,范勇,叶一东[3]（2019）在《相对角差法重建大口径平面光学元件面形》一文中研究指出针对已有的相对角差法面形检测的原理验证装置,提出了一种具有更高稳健性的最小二乘积分面形重建算法。利用相对角差改写了经典最小二乘积分技术的代价函数,避免了积分重建中的测量误差累积的问题,空间复杂度和时间复杂度仍分别为O(N~2)和O(N~3)。仿真结果表明,本文算法的稳健性显着优于Zernike波前重建法与基于样条的最小二乘积分法(SLI);实验结果证明,本文算法可适用于大口径角差法面形检测。(本文来源于《光学学报》期刊2019年06期）
许映杰,赵琦,李金鹏,焦长君[4]（2019）在《大口径标准平面镜主动校正仿真分析》一文中研究指出为了让大口径标准平面镜能在多个不同工作状态下均能保持良好面形,采用主动校正的方法对重力引起的镜面支撑变形进行校正。整个支撑系统由主动校正系统和被动支撑系统组成,通过轴向支撑和侧向支撑相结合的被动支撑方式使标准平面镜保持平衡;当工作状态改变时,通过泽尼克拟合建立刚度矩阵,结合实际测得面形与最小二乘法计算校正力,将得到的相应的主动校正力作为第二级加载在轴向的支撑点上,使镜面面形恢复。仿真结果表明,不考虑镜子本身的加工误差,镜面改变45°时,主动支撑可将重力引起的面形误差从初始的RMS=λ/8(λ=632.8 nm)校正到λ/74;镜面改变90°时,主动支撑能将重力引起的面形误差从初始RMS=λ/6校正到λ/70。这种主动支撑方法能降低大口径标准平面镜在不同工作状态下引起的支撑变形,为大口径标准镜在多种工作状态下都能保持良好面形提供了依据。(本文来源于《激光与红外》期刊2019年02期）
朱硕,张晓辉[5]（2018）在《大口径平面镜面形检测误差精度分析》一文中研究指出大口径空间光学有效载荷为我国发展空间光学、航空、航天、国防军事等研究领域提供技术支持与保证,随着观测需求的提高,空间光学遥感器正朝着大口径、大视场、高分辨率、多谱段等方向发展。大口径光学平面反射镜作为配合空间有效载荷地面检测的重要仪器设备,其自身面形精度直接影响载荷整体的像质评价结果,针对目前在研的载荷项目,开展了2m平面镜的研制工作及其面形检测方法研究。针对提出的结合瑞奇-康芒及子孔径拼接完成2m平面镜全口径面形检测的方法,充分考虑影响整体检测精度的因素,分析方法的最终检测精度。按照测试需求规划子孔径个数及子孔径测试路径。首先,搭建仿真模型,分析瑞奇-康芒法两角度测试获得各个子孔径面形时的误差引入情况,模拟存在瑞奇角测量误差、中心偏移误差以及标准球面镜面形误差等因素给子孔径面形结果带来的影响;其次,根据拼接方案模拟存在导轨移动误差、算法拼接误差等影响因素的情况下,得到复原面形结果与实际面形的差异情况,判断方法的检测精度,最终将通过实验,来验证仿真精度分析结果的准确性,为今后2m平面镜的实际检测提供依据及保障。(本文来源于《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》期刊2018-08-20）
袁理[6]（2018）在《1.5米口径平面镜面形检测与误差控制》一文中研究指出大口径平面镜通常是指口径大于1 m的平面镜,大口径平面镜在光学检测、空间光学、天文光学等领域已经有了广泛的应用。为了保证大口径平面镜具有良好的质量,必须对其面形进行检测。然而长期以来,大口径平面镜的面形检测一直是光学领域的一个难题,现有的检测方法存在着技术不成熟、检测精度不够、成本高昂、检测周期长等问题,不能满足大口径平面镜面形的检测需求。为了解决这些问题,本论文针对1.5m口径平面镜面形的检测和误差控制技术进行了研究。设计了检测系统和检测方法。提出“单五棱镜往返差分扫描测量表面倾斜角差值,再结合Zernike多项式偏导数的差分建立方程组直接计算出二维全口径面形”的方法来检测1.5m口径平面镜的面形。该方法采用单五棱镜差分扫描来测量表面倾斜角的差值,可以消除所有倾斜误差的一阶影响、五棱镜制造角差的影响和大部分环境的影响,具有很强的误差抑制能力。该方法采用往返扫描、逐步推进的扫描方式,对两个配对点的测量在时间上紧邻着,不再按照测量点的排列顺序依次测量,减小了环境变化的影响。在算法上,该方法利用表面倾斜角的差值,再结合Zernike多项式偏导数的差分建立方程组直接计算出二维全口径面形,避免了傅里叶变换算法的繁琐,以及递推算法和拼接算法的误差累积。另外,该方法还对五棱镜在扫描过程中的倾斜变化量进行了自动监视和调整,减小了五棱镜的倾斜误差。本文还分析了各个检测参数的选择原则,特别是两个配对点的距离d的选择原则,指出了d的选择需要兼顾环境影响的抑制和相对误差的抑制;设计了针对1.5m口径平面镜的4套不同频率级别的检测参数,分别对应不同的频率检测需求,选择了最高频率级别的参数来进行检测,从而能够更加全面地检测被测平面镜的面形信息;最后对检测方法进行了仿真分析,结果表明,检测方法的原理误差仅为2.3nm rms,验证了检测方法的正确性。研究了五棱镜的误差特性。利用五棱镜的作用矩阵和坐标转换公式,研究了五棱镜的旋转误差对出射光方向的影响,得出了重要结论:出射光在主截面内的偏角几乎不受五棱镜旋转误差的影响,而出射光在垂直于主截面方向的偏角则受五棱镜旋转误差的影响较大。利用五棱镜的展开和光路计算,研究了五棱镜的制造角差对出射光方向的影响,得出了重要结论:五棱镜的制造角差会使出射光在两个方向上均产生固定的偏角,这两个偏角都是与入射角无关的常量。采用光线矢量追迹的方法推导出了五棱镜基本系统的误差公式,为系统调整和误差分析打下了基础。研究了检测系统的精密调整技术。以导轨的方向和旋转臂的旋转平面为基准,设计了粗调整的步骤。分析了精调整的内容、基准和目标,以自准直仪1为基准,研究了精调整的方法,重点研究了精调整过程中的yaw测试和roll测试,设计了精调整的步骤。对检测系统进行了误差分析,分析了倾斜误差、自准直仪1的测量误差、测量点的位置误差、五棱镜的制造角差以及环境变化带来的误差,得到表面倾角差值的总误差为81.3nrad rms,在此基础上,采用仿真分析的方法确定了由表面倾角差值的误差带来的面形检测误差为7.8 nm rms,然后再将其与检测方法的原理误差进行合成,得到最终的面形检测精度为8.1 nm rms。采用该检测系统对1.5 m口径平面镜的面形进行了检测,共检测了5次,计算得到平均标准偏差为4.3 nm,可见检测重复性较好。将检测结果与Ritchey-Common法的检测结果进行了对比,得到两种方法的面形结果的差值为7.6 nm rms,小于本文的检测系统的面形检测精度,证明了本文的检测方法和检测系统的正确性。(本文来源于《中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所)》期刊2018-06-01）
林冬冬,胡明勇,李金鹏,丁耀芳[7]（2018）在《大口径平面镜局部采样瑞奇-康芒检验》一文中研究指出为了提升大F数下瑞奇-康芒检验的面形恢复精度,提出局部采样影响矩阵法,对干涉仪采集到的压缩椭圆图样按各像素点实际入射角大小分别建立影响矩阵,恢复像素点的面形偏差。通过该方法遍历整个平面镜镜面,得到平面镜面形。利用仿真验证了局部采样影响矩阵法的精度并和传统影响矩阵法进行详细对比,结果表明相较传统影响矩阵法,局部采样影响矩阵法在离焦、像散、叁级彗差、叁级像散、叁级球差等因素下的精度提升十分明显,证明局部采样影响矩阵法更适合瑞奇-康芒检验的面形恢复。(本文来源于《激光与光电子学进展》期刊2018年03期）
侯晶,王洪祥,陈贤华,谢瑞清,邓文辉[8]（2016）在《高精度大口径平面光学元件磁流变加工技术研究》一文中研究指出磁流变抛光具有"柔性抛光"的特点,能够得到高面形精度、高质量的光学表面。本文介绍了磁流变加工原理及元件加工的整体工艺流程。在流程中描述了抛光斑去除函数的提取及工艺软件的功能,利用国产的磁流变抛光设备开展了加工工艺的研究,对一件800mm×400mm的元件进行了工艺实验,利用检测设备测得了元件的低、中、高频的加工指标。反射波前PV值34nm,中频PSD1值1.7nm,高频粗糙度Rq值0.27nm,得到了较好的实验结果,利用磁流变加工技术实现了大口径光学元件的高精度加工。本文还阐述了磁流变加工技术在高功率激光器元件中应用的优点。(本文来源于《强激光材料与元器件学术研讨会暨激光破坏学术研讨会论文集》期刊2016-11-13）
黄金勇,胡庆,马平[9]（2016）在《大口径平面光学元件波前中频误差数控抛光技术研究》一文中研究指出针对光学元件表面中频误差修正问题,通过建立小工具数控抛光的去除模型,从理论上分析了不同去除函数形状、加工路径在抛光过程中引入的固有残余中频误差。模拟结果表明:陡峭的类高斯型去除函数结合规则性加工路径,残余中频误差较大;平缓的类高斯型去除函数结合伪随机一笔划加工路径,残余中频误差较小。最后,分别在430mm×430nm口径熔石英平面窗口、610mm×440mm口径K9平面反射镜样件上进行了加工实验,均获得了PSD1 RMS指标小于1.8nm的实验结果,验证了理论计算模拟的正确性,对大口径平面光学元件中频误差的小工具数控抛光修正具有重要指导意义。(本文来源于《强激光材料与元器件学术研讨会暨激光破坏学术研讨会论文集》期刊2016-11-13）
朱硕,张晓辉[10]（2016）在《2m口径平面镜高精度面形检测方法研究》一文中研究指出大口径光学平面反射镜作为光学系统自准检验常用的标准器具,其自身面形精度直接影响光学系统的像质评价结果,同时平面镜作为光学系统中的重要组成元件,其面形精度直接影响光学系统的成像质量。随着对大口径光学系统分辨率要求的提高,光学元件的口径不断增大,目前常用的干涉检验法已无法对口径超过1m的平面镜直接进行全口径面形检测,大口径平面镜面形检测多年来一直受庞大的设备费用与测量设(本文来源于《第十六届全国光学测试学术交流会摘要集》期刊2016-09-25）
大口径平面镜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对改善光学元件的波前梯度均方根指标,在总结面形精度及面形分布对波前梯度指标影响规律的基础上,提出了基于匀滑面形拟合加工的方法,给出了该方法的基本思想和工作流程。首先,对原始面形数据进行扫描计算,标记波前突变数据。然后,采用NURBS拟合算法重构相邻面形突变点之间的数据,生成用于指导加工的面形数据。最后,根据待加工面形数据选择相应参数进行面形加工。采用多件610mm×440mm口径K9材料平面反射镜进行实验验证。实验结果表明,使用该方法进行数控加工,在2～3个加工周期内可使波前梯度均方根指标从11nm/cm收敛至7.7nm/cm以内,且面形几乎保持不变。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
大口径平面镜论文参考文献
[1].袁理,张晓辉.采用五棱镜扫描法检测大口径平面镜的面形[J].中国光学.2019
[2].黄金勇,赵恒,胡庆,高胥华.大口径平面光学元件波前梯度数控抛光[J].光学精密工程.2019
[3].巫玲,陈念年,范勇,叶一东.相对角差法重建大口径平面光学元件面形[J].光学学报.2019
[4].许映杰,赵琦,李金鹏,焦长君.大口径标准平面镜主动校正仿真分析[J].激光与红外.2019
[5].朱硕,张晓辉.大口径平面镜面形检测误差精度分析[C].第十七届全国光学测试学术交流会摘要集.2018
[6].袁理.1.5米口径平面镜面形检测与误差控制[D].中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所).2018
[7].林冬冬,胡明勇,李金鹏,丁耀芳.大口径平面镜局部采样瑞奇-康芒检验[J].激光与光电子学进展.2018
[8].侯晶,王洪祥,陈贤华,谢瑞清,邓文辉.高精度大口径平面光学元件磁流变加工技术研究[C].强激光材料与元器件学术研讨会暨激光破坏学术研讨会论文集.2016
[9].黄金勇,胡庆,马平.大口径平面光学元件波前中频误差数控抛光技术研究[C].强激光材料与元器件学术研讨会暨激光破坏学术研讨会论文集.2016
[10].朱硕,张晓辉.2m口径平面镜高精度面形检测方法研究[C].第十六届全国光学测试学术交流会摘要集.2016