导读:本文包含了统计制程控制论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:LED,SPC,统计过程控制
统计制程控制论文文献综述
王琛琛,廉大桢[1]（2019）在《LED芯片制程中统计过程控制技术的应用》一文中研究指出本文从LED外延及芯片生产线应用SPC统计过程控制技术的需求、意义、实施等入手,结合LED外延及芯片产品的工艺特点,给出LED外延及芯片生产线应用SPC统计过程控制技术的方法。(本文来源于《电子技术与软件工程》期刊2019年03期）
盛碧琦[2]（2012）在《半导体/TFT-LCD制程统计建模与批间控制研究》一文中研究指出随着现代工业的发展,半导体/液晶面板(Thin film transistor liquid crystal display, TFT-LCD)生产过程日趋大型化、复杂化,制造流程越来越精密,所使用的设备也越来越昂贵,导致提升产品的良率非常不易。本文针对半导体/TFT-LCD加工控制过程中的难点问题,从加工过程的输入输出数据出发,借助于统计学理论、数据挖掘方法,以及批间控制算法,分析和了解半导体/TFT-LCD加工子过程的相关特性,实现了对晶圆/玻璃基片品质的即时估计与实时控制。本文主要内容包括：1.在获得先进过程控制数据的基础上,直接从输入输出数据的相关性出发,提出一种基于动态典型相关分析的虚拟测量方法。该方法直接选取输入与输出向量中若干具有代表性的综合指标(变量的线性组合),用这些指标的最大相关关系表示原始输入输出向量之间的关系,将高维空间的过程变量投影到低维空间；同时,利用均值与协方差矩阵,给出一种递归的辨识算法,可大大减少算法的在线计算量,增强算法的自适应能力,并克服加工过程的非线性与预防性维护所造成模型参数变化。通过数值仿真,对比传统的主成分分析与偏最小二乘算法的结果,定性的分析了本文算法的优点。最后,以实际TFT-LCD的溅镀制程为例,验证本文算法的有效性。2.随着生产技术的发展,半导体/TFT-LCD制程已经由单一产品的生产模式发展为多产品共线的生产模式。本文利用统计学理论,针对高度混合制程,提出一种基于多变量变异数分析(MANCOVA)的虚拟测量方法。首先,采用逐步回归算法,找出影响产品品质的关键变量；在此基础上,依据共变异数分析结果辨识出混合制程中各产品的产品效应(product-effect);并以滑动平均时间序列分析(IMA(1,1))追踪先进过程控制所无法测量的过程变量变化与噪声影响,提高算法的预测精度；TFT-LCD蚀刻制程验证了本文算法的有效性。3.针对生产工艺约束条件的可调整性以及控制目标的区间特性,提出一种带区域控制的EWMA算法(z-EWMA)。首先,针对生产工艺约束条件的可调整性,将系统的区域性目标转化为系统不等式约束条件,并以模型输出误差为变量,给出一种具有积分特点的指标函数,在保证产品品质的前提下,可节约生产成本,TFT-LCD蚀刻制程的逆向工程研究表明：在控制动作相对稳定的情况下,z-EWMA控制器可以改善蚀刻线宽的制程能力(Cpk),节约生产成本与时间,提升系统的产能。4.针对并行机台的性能差异,提出一种机台操作变量性能匹配算法。首先,在分析操作变量随时间分布特性的基础上,给出一种机台状态变量提取方法,降低变量的维度；其次,分析各机台加工产品的性能差异,用F检验辨识出优/劣机台；在多元统计分析的基础上,提出“R2与p-value分布图”概念,并诊断出影响机台性能的关键变量,从而实现对机台相应的控制器参数进行调整。在半导体的电镀制程中的实际应用验证了本文算法的有效性。(本文来源于《江苏大学》期刊2012-04-01）
高传楼[3]（2008）在《统计制程控制在硅太阳能制造中的应用》一文中研究指出在硅太阳能电池制造当中,有许多工序都有关键控制参数,如制绒的刻蚀量、扩散的方块电、氮化硅的膜厚等等,其对电池的电性能都直接影响。质量管理学中,统计制程控制(SPC)将给我们这些关键参数提供有力的帮忙,本文将通过硅太阳能制造中的实例,结合六西格玛专用软件Minitab,对SPC在硅太能阳能电池制造的应用加以描述。(本文来源于《第十届中国太阳能光伏会议论文集：迎接光伏发电新时代》期刊2008-09-19）
申义铭[4]（1999）在《统计和系统的制程控制》一文中研究指出由于当今市场的高度竞争,我们好象总是要去证明我们的制程是稳定的,并具有达到预期要求的能力。今天的客户,需要持续监控、周期性的制程评估和现有能力持续提高的客观证据。我发现,从市场的观点看这一点更为重要。如果制造商不能提供这样的证据,在客户的初(本文来源于《印制电路信息》期刊1999年12期）
统计制程控制论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
随着现代工业的发展,半导体/液晶面板(Thin film transistor liquid crystal display, TFT-LCD)生产过程日趋大型化、复杂化,制造流程越来越精密,所使用的设备也越来越昂贵,导致提升产品的良率非常不易。本文针对半导体/TFT-LCD加工控制过程中的难点问题,从加工过程的输入输出数据出发,借助于统计学理论、数据挖掘方法,以及批间控制算法,分析和了解半导体/TFT-LCD加工子过程的相关特性,实现了对晶圆/玻璃基片品质的即时估计与实时控制。本文主要内容包括：1.在获得先进过程控制数据的基础上,直接从输入输出数据的相关性出发,提出一种基于动态典型相关分析的虚拟测量方法。该方法直接选取输入与输出向量中若干具有代表性的综合指标(变量的线性组合),用这些指标的最大相关关系表示原始输入输出向量之间的关系,将高维空间的过程变量投影到低维空间；同时,利用均值与协方差矩阵,给出一种递归的辨识算法,可大大减少算法的在线计算量,增强算法的自适应能力,并克服加工过程的非线性与预防性维护所造成模型参数变化。通过数值仿真,对比传统的主成分分析与偏最小二乘算法的结果,定性的分析了本文算法的优点。最后,以实际TFT-LCD的溅镀制程为例,验证本文算法的有效性。2.随着生产技术的发展,半导体/TFT-LCD制程已经由单一产品的生产模式发展为多产品共线的生产模式。本文利用统计学理论,针对高度混合制程,提出一种基于多变量变异数分析(MANCOVA)的虚拟测量方法。首先,采用逐步回归算法,找出影响产品品质的关键变量；在此基础上,依据共变异数分析结果辨识出混合制程中各产品的产品效应(product-effect);并以滑动平均时间序列分析(IMA(1,1))追踪先进过程控制所无法测量的过程变量变化与噪声影响,提高算法的预测精度；TFT-LCD蚀刻制程验证了本文算法的有效性。3.针对生产工艺约束条件的可调整性以及控制目标的区间特性,提出一种带区域控制的EWMA算法(z-EWMA)。首先,针对生产工艺约束条件的可调整性,将系统的区域性目标转化为系统不等式约束条件,并以模型输出误差为变量,给出一种具有积分特点的指标函数,在保证产品品质的前提下,可节约生产成本,TFT-LCD蚀刻制程的逆向工程研究表明：在控制动作相对稳定的情况下,z-EWMA控制器可以改善蚀刻线宽的制程能力(Cpk),节约生产成本与时间,提升系统的产能。4.针对并行机台的性能差异,提出一种机台操作变量性能匹配算法。首先,在分析操作变量随时间分布特性的基础上,给出一种机台状态变量提取方法,降低变量的维度；其次,分析各机台加工产品的性能差异,用F检验辨识出优/劣机台；在多元统计分析的基础上,提出“R2与p-value分布图”概念,并诊断出影响机台性能的关键变量,从而实现对机台相应的控制器参数进行调整。在半导体的电镀制程中的实际应用验证了本文算法的有效性。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
统计制程控制论文参考文献
[1].王琛琛,廉大桢.LED芯片制程中统计过程控制技术的应用[J].电子技术与软件工程.2019
[2].盛碧琦.半导体/TFT-LCD制程统计建模与批间控制研究[D].江苏大学.2012
[3].高传楼.统计制程控制在硅太阳能制造中的应用[C].第十届中国太阳能光伏会议论文集：迎接光伏发电新时代.2008
[4].申义铭.统计和系统的制程控制[J].印制电路信息.1999