导读:本文包含了干冰微粒喷射法论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:蓝宝石衬底片,干冰微粒喷射,清洗,喷嘴
干冰微粒喷射法论文文献综述
陈宝明[1]（2019）在《蓝宝石衬底片干冰微粒喷射清洗的实验研究》一文中研究指出蓝宝石衬底片的表面清洁度是影响发光二极管(LED)产品性能的重要因素之一。现有蓝宝石衬底片的清洗技术采用清洗剂多道次清洗,过程繁琐且化学清洗剂将引发环境污染等诸多问题。本文探索了采用干冰微粒喷射清洗技术对蓝宝石衬底片进行清洗。采用叁维视频显微镜和内置能谱仪台式扫描电镜,对蓝宝石衬底片残余物进行检测,结果表明残余物主要为抛光基液和金刚石磨料。通过计算抛光基液与蓝宝石衬底片之间的吸附力和粘附在蓝宝石衬底片的金刚石磨料所受的作用力,分析了干冰微粒喷射清洗技术对于不同类型的污染物进行清洗的可行性,并设计制作了干冰微粒喷射清洗的实验装置。通过数值模拟,研究了干冰微粒喷射清洗实验装置中直筒型、文丘里型喷嘴内部气体流场及其射流在空气中的流场分布。经过对比选择了文丘里型喷嘴结构,并通过模拟进一步研究了文丘里型喷嘴的几何结构对清洗效率的影响。利用高速摄像验证了模拟结果是可信的。采用正交实验方法制定了干冰微粒喷射清洗实验方案,研究了喷射距离、清洗时间和喷射角度等因素对清洗效果的影响,并确定了最佳的工艺参数是喷射距离为35mm,清洗时间为45s,喷射角度为45゜。通过接触角测量和X射线光电子能谱分析(XPS)对比了蓝宝石衬底片清洗前后的表面清洁度,验证干冰微粒喷射清洗的清洗效果;通过检测清洗前后蓝宝石衬底片的表面损伤情况,分析了干冰微粒喷射清洗对蓝宝石衬底片表面质量的影响;并研究了干冰微粒喷射清洗技术的适用范围。研究结果表明,干冰微粒喷射清洗能有效去除蓝宝石衬底片的有机残余物,对其表面无损伤,且具有广泛的适用性。(本文来源于《华侨大学》期刊2019-05-28）
吕平[2]（2016）在《干冰微粒喷射技术综述》一文中研究指出干冰微粒喷射技术是近叁十年来逐渐发展起来的一种新型表面处理技术,多用于精细表面的清洗和抛光。本文综述了干冰微粒喷射技术的发展历程、原理、设备构成、技术参数和应用领域,重点对干冰微粒的凝结与碰撞、瞬态二氧化碳的溶解作用、其在真空领域的应用进行了讨论。评述了干冰微粒喷射技术的有效性,对其仍然存在的关键问题以及今后的研究方向进行展望。对干冰微粒喷射技术的基础研究、应用探索、参数优化具有参考意义。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2016年08期）
董淑娟,宋波,Bernard,Hansz,廖汉林,Christian,Coddet[3]（2012）在《干冰微粒喷射工艺对等离子喷涂金属涂层结构和性能的影响》一文中研究指出干冰微粒喷射法被应用到大气等离子喷涂中以改善涂层的性能。文中采用等离子喷涂和干冰微粒喷射工艺在不锈钢基体表面制备了钢涂层,并研究了涂层的微观结构、孔隙率、温度、氧化、表面粗糙度和结合强度等性能。结果表明,由于干冰微粒喷射具有较高的冷却效率,加之干冰微粒撞击所产生的机械作用,等离子喷涂制备的钢涂层呈现出更致密的结构特征。相比于空气冷却制备的涂层,干冰微粒冷却制备的涂层含有更少的氧化物。另外,干冰微粒喷射工艺对基体的预处理使得涂层的结合强度提高了将近14%,这是由于干冰微粒喷射工艺对基体上吸附的有机物质具有清洁作用,主要基于干冰颗粒的热、机械和膨胀的综合效应。(本文来源于《中国表面工程》期刊2012年06期）
郭新贺,王磊,景玉鹏[4]（2012）在《干冰微粒喷射清洗技术》一文中研究指出简要介绍了随着工艺节点的缩小,传统RCA清洗方法在硅片清洗工艺中的局限性和弊端,进而提出了以CO2为介质的新型干冰微粒喷射清洗方法。从CO2的物理特性出发,论述了CO2流经喷枪后形成干冰微粒的机理,并简要分析了干冰微粒喷射技术对颗粒污染物和有机污染物的清洗机理。在此基础上,介绍了自主研发的一台基于干冰微粒喷射技术的半导体清洗设备,对该设备的结构和各部分的作用作了简要介绍,论述了使用该设备对硅片进行清洗的工艺流程。通过对比实验发现,采用压强为8 MPa、纯度为5N的CO2作为气源,喷嘴前压强设置为11 MPa,使用该设备可以达到很好的清洗效果。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2012年04期）
王晓辉[5]（2011）在《干冰微粒喷射清洗法的研究》一文中研究指出干冰微粒喷射清洗法是一种新型的精密清洗技术,它不使用水和化学药品,无毒无害,而且不会引入二次污染,也是一种绿色环保的清洗技术,在电子器件的清洗方面有良好的应用前景。然而在实际清洗过程中,被清洗表面会在短时间内形成一层半透明白色物质覆盖层,阻碍了干冰射流与被清洗表面的接触,进而影响清洗洁净度。为解决这一问题,以提高干冰微粒喷射清洗法的清洗洁净度,本文进行了如下研究:1.分别从硬件和软件两个方面对现有的接触角测量仪进行了改进:硬件方面:设计了一个7×7阵列的LED背光源,该背光源不仅可以发出较均匀的光,而且实现了亮度可调,可以消除外界光源对拍摄表面液滴图像照片的影响。软件方面:针对被清洗表面液滴图像的特点,设计和编写了一个测量表面液滴接触角的图像处理软件。结果表明,该软件测量接触角的结果的误差值均小于2度。2.利用质谱法对干冰微粒喷射清洗过程中产生的覆盖层的成分进行分析,结果表明覆盖层的主要成分为二氧化碳和水,其产生机理主要是干冰射流的温度太低,使射流中的干冰微粒以及空气水份凝结在被清洗表面造成的。3.采取提高被清洗表面的温度来减弱和消除覆盖层的方法,并对此方法进行了实验研究。4.利用正交试验设计方法研究了喷射源气体的压强、被清洗表面的温度、喷射距离、喷射时间、喷射源气体纯度等因素对清洗效果的影响,并在此基础上增加各因素的水平,利用均匀试验设计方法建立了因素与试验指标的回归方程,确定了最佳工艺参数。5.研究了在干冰射流外层加保护气体的方法对覆盖层现象及清洗洁净度的影响。(本文来源于《电子科技大学》期刊2011-04-01）
王晓辉,李军建,李建祥,杨威[6]（2010）在《干冰微粒喷射清洗技术的研究进展》一文中研究指出干冰微粒喷射清洗作为一种新型的精密清洗技术,具有清洗效果好、不使用水和化学药品、不会引入二次污染、无毒、对人体无害等优点,在硅单晶基片、真空设备零件和红外光学望远镜等物体的表面清洗方面取得了良好的成果。介绍了干冰微粒喷射清洗法的清洗机理、研究现状及存在的问题,并对其应用前景做了展望。(本文来源于《第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第2分册）》期刊2010-10-15）
齐童,李军建,李树林[7]（2008）在《干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃的研究》一文中研究指出对干冰微粒喷射法和低频超声波法清洗ITO玻璃的效果进行了比较研究。用接触角测量仪、SEM和XPS测量了清洗前后ITO玻璃表面的浸润性、污染颗粒数量和元素成分及含量等洁净度指标。研究表明,与超声波法清洗相比,干冰微粒喷射法清洗可以使ITO玻璃表面的接触角更小,有机碳含量减少40.5%,污染颗粒数量也显着减少,是一种清洗ITO玻璃的有效方法。(本文来源于《半导体光电》期刊2008年02期）
齐童[8]（2008）在《干冰微粒喷射法清洗和抛光ITO玻璃》一文中研究指出ITO玻璃是液晶显示器(LCD)和有机发光显示器(OLED)的重要部件,ITO玻璃表面的洁净度是影响LCDs和OLEDs性能的重要因素。随着对能源和环保的关注,传统的清洗技术难以满足要求。干冰微粒喷射法作为一种新型的精密清洗技术在电子器件及材料的清洗方面很有成效,它具清洗效果好,不使用水和化学药品,不会引入二次污染,并且无毒,对人体无害等优点。因此将干冰微粒喷射法应用于ITO玻璃的清洗具有重要的实际意义。本文介绍了干冰微粒喷射法清洗的有关研究和理论,进行了用干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃的实验,研究了喷射角度、喷射距离、喷射时间等因素对于清洗效果的影响。同时对比了低频超声波法清洗ITO玻璃的清洗效果。研究表明,经过超声波法清洗和干冰微粒喷射清洗的ITO玻璃样品的表面接触角都比未清洗样品的显着减小,表面能有显着提高,而且干冰微粒喷射法清洗后ITO玻璃表面的浸润性超过了超声波洗法清洗后的浸润性。通过固定减速比(FRR)模型对表面元素含量的进行定量分析和C1s和O1s的精细谱分析,发现干冰微粒喷射法能够降低表面污染碳和COOH态的氧,从而有效地降低了表面有机污染物的含量,提高了ITO玻璃的表面洁净度。对清洗前后样品表面残留颗粒进行了SEM测量和分析,结果表明相对于超声法,干冰微粒喷射法能更有效地去除表面污染颗粒。制备了结构相同但其ITO阳极分别采用干冰微粒法清洗和超声波法清洗的两种OLED器件,对这两种器件的光电参数进行了测量。结果表明,使用干冰微粒喷射法清洗ITO电极的器件的启亮电压、亮度与超声波法清洗的相比较均有所改善。论文还叙述了用干冰微粒喷射法抛光ITO薄膜表面的实验研究。结果表明,干冰微粒喷射法可以降低ITO膜表面粗糙度,并且随着抛光时间增长,ITO膜表面的粗糙度呈下降趋势。(本文来源于《电子科技大学》期刊2008-04-01）
齐童,李军建,李璐,王军[9]（2007）在《干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃及其对有机电致发光器件性能的影响》一文中研究指出采用干冰微粒喷射法对ITO玻璃表面进行了清洁处理,并与浸泡式低频超声波湿法清洗的ITO玻璃进行了对比测量,结果表明:干冰微粒喷射法处理后,ITO薄膜表面的接触角减小,表面污染物颗粒数量下降,ITO薄膜表面上碳的含量较之未处理时降低了48.5%,锡、铟的含量分别增加了533.33%和267.57%,说明干冰微粒法对ITO薄膜表面的有机污染物和杂质颗粒的清洗效果超过了超声波湿法。此后,制备了干冰微粒法清洗ITO阳极的有机电致发光器件(OLED)器件,以及结构相同但ITO电极是用超声波湿法清洗的OLED器件,对这两种器件的参数进行了测量,其结果表明:干冰微粒喷射法清洗器件的启亮电压、亮度和电流效率与超声波湿法清洗的相比较均有所改善。(本文来源于《液晶与显示》期刊2007年06期）
干冰微粒喷射法论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
干冰微粒喷射技术是近叁十年来逐渐发展起来的一种新型表面处理技术,多用于精细表面的清洗和抛光。本文综述了干冰微粒喷射技术的发展历程、原理、设备构成、技术参数和应用领域,重点对干冰微粒的凝结与碰撞、瞬态二氧化碳的溶解作用、其在真空领域的应用进行了讨论。评述了干冰微粒喷射技术的有效性,对其仍然存在的关键问题以及今后的研究方向进行展望。对干冰微粒喷射技术的基础研究、应用探索、参数优化具有参考意义。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
干冰微粒喷射法论文参考文献
[1].陈宝明.蓝宝石衬底片干冰微粒喷射清洗的实验研究[D].华侨大学.2019
[2].吕平.干冰微粒喷射技术综述[J].真空科学与技术学报.2016
[3].董淑娟,宋波,Bernard,Hansz,廖汉林,Christian,Coddet.干冰微粒喷射工艺对等离子喷涂金属涂层结构和性能的影响[J].中国表面工程.2012
[4].郭新贺,王磊,景玉鹏.干冰微粒喷射清洗技术[J].微纳电子技术.2012
[5].王晓辉.干冰微粒喷射清洗法的研究[D].电子科技大学.2011
[6].王晓辉,李军建,李建祥,杨威.干冰微粒喷射清洗技术的研究进展[C].第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第2分册）.2010
[7].齐童,李军建,李树林.干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃的研究[J].半导体光电.2008
[8].齐童.干冰微粒喷射法清洗和抛光ITO玻璃[D].电子科技大学.2008
[9].齐童,李军建,李璐,王军.干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃及其对有机电致发光器件性能的影响[J].液晶与显示.2007