导读:本文包含了静电梳齿驱动论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:MEMS,扫描镜,非线性动力学,梳齿分布
静电梳齿驱动论文文献综述
乔大勇,杨璇,夏长锋,曾琪,潘春晖[1]（2014）在《梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响》一文中研究指出为增大静电驱动二维微扫描镜的机械转角,基于非线性动力学理论研究了不同梳齿结构对其振幅的影响,理论上得到发散型梳齿分布相较于平行型梳齿分布具有更大的机械转角。此外,采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺设计并制作了这两种结构的微扫描镜,并对其相关特性进行了测试。测试结果表明:在相同的驱动电压下,发散型结构始终都比平行型结构具有更大的机械转角,与仿真结果基本一致;当加载驱动电压为42 V的方波信号时,发散型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角可以达到12.3°、13.49°,而平行型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角则为10.25°、11.68°。(本文来源于《传感技术学报》期刊2014年02期）
张峰,苑伟政,常洪龙,丁继亮,谢建兵[2]（2011）在《静电梳齿驱动结构的稳定性分析》一文中研究指出静电梳齿驱动结构的最大驱动位移主要受限于其侧向不稳定性,即当驱动电压接近吸合电压时,静电梳齿驱动结构的活动梳齿与固定梳齿发生吸合,导致静电梳齿驱动器失效。建立典型静电梳齿驱动结构的稳定性分析模型,研究梳齿驱动结构稳定性的影响因素,并进行理论分析、仿真分析和实验验证。结果表明:支撑梁结构的纵/横刚度比是影响静电梳齿驱动结构稳定性的关键因素,其比值越大,静电梳齿驱动结构的稳定性越好。(本文来源于《传感技术学报》期刊2011年08期）
谭秋林,石云波,张文栋,刘俊,张琼[3]（2011）在《具有栅结构与静电梳齿驱动的电容式微机械陀螺的仿真、设计与测试》一文中研究指出电容式陀螺仪是一种振动式陀螺仪,由于加工的特殊性使其具有了传统的陀螺无法比拟的优点,从而拓宽了其应用领域.为了提高陀螺仪的检测精度,本文提出了一种静电梳齿驱动、栅结构的电容式检测的微机械陀螺仪的设计方法,并分析了其工作原理.运用ANSYS软件对陀螺结构进行了仿真和模态分析,仿真结果与理论计算结果相接近.所设计的陀螺结构采用体硅标准工艺方法进行了设计,并对其进行了流片加工和封装,最终得到了电容式微机械陀螺仪.实验测试的结果表明,陀螺驱动模态的固有频率为4.06 kHz,灵敏度为0.027 9 V/((°)s-1).(本文来源于《纳米技术与精密工程》期刊2011年03期）
孙玉国[4]（2007）在《静电梳驱动RF MEMS滤波器动力学分析》一文中研究指出静电梳驱动硅微机械滤波器在RF通信领域有重要应用。从振动力学的角度,对硅微机械滤波器的力电耦合动态特性进行分析。分析结果表明:硅微机械滤波器输出电压V_o(t)与梳状振子振动速度成正比。谐振状态下,静电力包含直流分量和倍频分量。直流偏置电压V_p可消除系统倍频振动,为后续检测电路设计提供便利。(本文来源于《噪声与振动控制》期刊2007年06期）
李洋,许高斌[5]（2007）在《一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器》一文中研究指出介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺。通过优化并联梳齿结构的几何尺寸,可以使微继电器的阈值电压降低到5V。该微继电器的主体部分使用一套表面牺牲层标准工艺制造,同时,使用溅射工艺制作Au接触电极,可以使接触电阻降到100mΩ以下,增加了微继电器的使用寿命。由于该微继电器的驱动电压和制造工艺都和普通集成电路的驱动电压和制造工艺相兼容,因此两者在产业化生产中可以很容易地被集成在同一芯片上。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2007年Z1期）
李洋,许高斌[6]（2007）在《一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器》一文中研究指出介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺。通过优化并联梳齿结构的几何尺寸,可以使微继电器的阈值电压降低到5V。该微继电器的主体部分使用一套表面牺牲层标准工艺制造,同时,使用溅射工艺制作 Au 接触电极,可以使接触电阻降到100mΩ以下,增加了微继电器的使用寿命。由于该微继电器的驱动电压和制造工艺都和普通集成电路的驱动电压和制造工艺相兼容,因此两者在产业化生产中可以很容易地被集成在同一芯片上。(本文来源于《第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集》期刊2007-08-01）
李海军,杨拥军[7]（2002）在《大位移、低电压驱动MEMS静电梳齿驱动器的设计与研究》一文中研究指出分析了MEMS静电梳齿驱动工作原理,以梳齿结构和弹性梁结构为基础,综合考虑了动态特性、可靠性以及加工工艺可行性要求。提出了非等高结构、变形曲臂梁结构、位移放大驱动器、垂直Z向位移静电梳齿驱动器等四种大尺度、低电压驱动线性MEMS静电梳齿驱动器结构设计。利用CAD采用FEA法分别建模、仿真,进行了大位移、低电压驱动MEMS静电梳齿驱动器的动态与静态的研究,并获得20V直流偏置、位移80～130μm、驱动器面积小于2mm×2mm的结果。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2002年07期）
吴徽,刘理天,杨景铭[8]（1999）在《表面微机械静电梳状驱动结构的研究》一文中研究指出静电梳状驱动器（ＥＣＳ）是包括振荡器、微加速度计、微陀螺及微电动机等在内的微机电系统的核心组成部件，可作为执行器和传感器用。该文用表面微机械工艺研制出静电梳状驱动结构，在理论分析基础上，使用电容提取软件Ｆａｓｔｃａｐ和有限元分析软件Ａｌｇｏｒ进行了电学模拟和材料力学模拟，并针对灵敏度进行了优化设计。对表面微机械工艺的关键步骤进行研究和改进。释放成功的悬臂梁长度超过２００μｍ。初步电测试结果表明静电梳状驱动器工作正常。(本文来源于《清华大学学报(自然科学版)》期刊1999年S1期）
静电梳齿驱动论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
静电梳齿驱动结构的最大驱动位移主要受限于其侧向不稳定性,即当驱动电压接近吸合电压时,静电梳齿驱动结构的活动梳齿与固定梳齿发生吸合,导致静电梳齿驱动器失效。建立典型静电梳齿驱动结构的稳定性分析模型,研究梳齿驱动结构稳定性的影响因素,并进行理论分析、仿真分析和实验验证。结果表明:支撑梁结构的纵/横刚度比是影响静电梳齿驱动结构稳定性的关键因素,其比值越大,静电梳齿驱动结构的稳定性越好。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
静电梳齿驱动论文参考文献
[1].乔大勇,杨璇,夏长锋,曾琪,潘春晖.梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响[J].传感技术学报.2014
[2].张峰,苑伟政,常洪龙,丁继亮,谢建兵.静电梳齿驱动结构的稳定性分析[J].传感技术学报.2011
[3].谭秋林,石云波,张文栋,刘俊,张琼.具有栅结构与静电梳齿驱动的电容式微机械陀螺的仿真、设计与测试[J].纳米技术与精密工程.2011
[4].孙玉国.静电梳驱动RFMEMS滤波器动力学分析[J].噪声与振动控制.2007
[5].李洋,许高斌.一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器[J].微纳电子技术.2007
[6].李洋,许高斌.一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器[C].第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集.2007
[7].李海军,杨拥军.大位移、低电压驱动MEMS静电梳齿驱动器的设计与研究[J].微纳电子技术.2002
[8].吴徽,刘理天,杨景铭.表面微机械静电梳状驱动结构的研究[J].清华大学学报(自然科学版).1999