本文主要研究内容
作者王亚军,徐翱,席仕伟,杨林,金大志,陈磊（2019）在《基于微机电系统技术的薄膜离子源制备与实验研究》一文中研究指出：基于微机电系统技术的薄膜离子源是芯片型中子发生器的关键部件。本文通过在陶瓷基底上制备图形化钛膜并利用3层陶瓷重叠的方法获得了薄膜离子源样品,采用平板探针法和激光共聚焦显微镜得到了薄膜离子源的离子电流及其电极烧蚀特性,并进一步利用高速相机和光谱仪得到了薄膜离子源的放电发光演化图像和等离子体组分信息,最后基于实验结果分析揭示了薄膜离子源放电的工作机制。
Abstract
ji yu wei ji dian ji tong ji shu de bao mo li zi yuan shi xin pian xing zhong zi fa sheng qi de guan jian bu jian 。ben wen tong guo zai tao ci ji de shang zhi bei tu xing hua tai mo bing li yong 3ceng tao ci chong die de fang fa huo de le bao mo li zi yuan yang pin ,cai yong ping ban tan zhen fa he ji guang gong ju jiao xian wei jing de dao le bao mo li zi yuan de li zi dian liu ji ji dian ji shao shi te xing ,bing jin yi bu li yong gao su xiang ji he guang pu yi de dao le bao mo li zi yuan de fang dian fa guang yan hua tu xiang he deng li zi ti zu fen xin xi ,zui hou ji yu shi yan jie guo fen xi jie shi le bao mo li zi yuan fang dian de gong zuo ji zhi 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自原子能科学技术的王亚军,徐翱,席仕伟,杨林,金大志,陈磊，发表于刊物原子能科学技术2019年07期论文，是一篇关于薄膜离子源论文,微机电系统论文,离子电流论文,原子能科学技术2019年07期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自原子能科学技术2019年07期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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