导读:本文包含了单晶硅球论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:表面光学,硅球表面氧化层,光谱椭偏法,晶向
单晶硅球论文文献综述
刘文德,陈赤,罗志勇,樊其明,刘玉龙[1]（2014）在《单晶硅球表面氧化层测量进展和研究》一文中研究指出单晶硅球法是阿伏伽德罗常数量值精密测量以及质量重新定义的一种重要方案。单晶硅球表面的氧化层厚度关系到硅球质量和直径测量结果的修正,并在阿伏伽德罗常数的相对测量不确定度中占到很大比例。讨论了表面层测量中影响椭偏测量的几个基本问题,即单晶硅球不同晶向的光学常数以及表面曲率对椭偏光束的散射效应,评估了对氧化层厚度测量不确定度的影响;对于所采用的间接法的不确定度分量进行了分析。该研究为硅球表面层测量提供了实验和理论依据。(本文来源于《激光与光电子学进展》期刊2014年03期）
王金涛,刘子勇[2]（2013）在《基于静力悬浮原理的单晶硅球间微量密度差异精密测量方法研究》一文中研究指出单晶硅球间微量密度差异测量是阿伏伽德罗常数量子基准定义的重要研究内容,也是半导体产业中高纯度单晶硅制备工艺质量控制的主要方法.为了改善现有非接触相移干涉法测量装置复杂和静力称重法测量不确定度低的特点,根据单晶硅密度精密测量需要,实现了一种基于静力悬浮原理的单晶硅球密度相对参比测量方法.通过改变静压力和温度进行叁溴丙烷和二溴乙烷混合液体密度的微量调节,分别使两个待测单晶硅球在液体中悬浮,根据悬浮状态时的液体温度和悬浮高度计算出待测单晶硅球密度差值.通过双循环水浴和PID温度控制系统实现±100μK的恒温液体测量环境.通过图像识别和迭代拟合算法实现单晶硅球悬浮高度的测量.使用PID静压力控制系统实现单晶硅球的稳定悬浮控制,同时减少Joule-Thomson效应引起的液体温度改变.利用静力悬浮模型中的温度变化和静压力变化线性关系准确测量出标准液体的压缩系数.试验结果表明,这种测量方法可以避免液体液面张力的影响,测量相对标准不确定度达到2.1×10(-7),能够实现单晶硅球密度差值的精密测量.(本文来源于《物理学报》期刊2013年03期）
林莉君[3]（2012）在《我国密度基准提升精确度》一文中研究指出像大号黑珍珠似的单晶硅球静静地躺在隔振、恒温、洁净的国家固体密度基准实验室里。 通过创新长度极限测量方法，研究人员完成了对这颗大号“黑珍珠”密度的绝对测量，将我国固体密度基准从5×10~(-6)提高至2×10~(-7)。 这不(本文来源于《科技日报》期刊2012-04-11）
康岩辉,邾继贵,罗志勇,叶声华[4]（2009）在《高精度标准单晶硅球直径测量系统的研究》一文中研究指出为建立我国高准确度固体密度基准和质量自然基准,对高精度标准单晶硅球直径测量系统进行了研究。论述了平面波前激光干涉法测量直径的原理和方法,分析了相移扫描、温度测量控制、以及硅球体积计算等系统的关键组成部分,并给出了各部分的实验结果。理论分析和实验结果表明,整个直径测量系统目前的不确定度为3 nm。(本文来源于《传感技术学报》期刊2009年10期）
单晶硅球论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
单晶硅球间微量密度差异测量是阿伏伽德罗常数量子基准定义的重要研究内容,也是半导体产业中高纯度单晶硅制备工艺质量控制的主要方法.为了改善现有非接触相移干涉法测量装置复杂和静力称重法测量不确定度低的特点,根据单晶硅密度精密测量需要,实现了一种基于静力悬浮原理的单晶硅球密度相对参比测量方法.通过改变静压力和温度进行叁溴丙烷和二溴乙烷混合液体密度的微量调节,分别使两个待测单晶硅球在液体中悬浮,根据悬浮状态时的液体温度和悬浮高度计算出待测单晶硅球密度差值.通过双循环水浴和PID温度控制系统实现±100μK的恒温液体测量环境.通过图像识别和迭代拟合算法实现单晶硅球悬浮高度的测量.使用PID静压力控制系统实现单晶硅球的稳定悬浮控制,同时减少Joule-Thomson效应引起的液体温度改变.利用静力悬浮模型中的温度变化和静压力变化线性关系准确测量出标准液体的压缩系数.试验结果表明,这种测量方法可以避免液体液面张力的影响,测量相对标准不确定度达到2.1×10(-7),能够实现单晶硅球密度差值的精密测量.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
单晶硅球论文参考文献
[1].刘文德,陈赤,罗志勇,樊其明,刘玉龙.单晶硅球表面氧化层测量进展和研究[J].激光与光电子学进展.2014
[2].王金涛,刘子勇.基于静力悬浮原理的单晶硅球间微量密度差异精密测量方法研究[J].物理学报.2013
[3].林莉君.我国密度基准提升精确度[N].科技日报.2012
[4].康岩辉,邾继贵,罗志勇,叶声华.高精度标准单晶硅球直径测量系统的研究[J].传感技术学报.2009