导读:本文包含了反应气体流量论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:类金刚石薄膜,PECVD技术,气体流量比,机械性能
反应气体流量论文文献综述
李瑞武,吴法宇,李建伟,范巍,郭媛媛[1]（2018）在《反应气体流量比对PECVD类金刚石薄膜机械性能的影响》一文中研究指出实验研究了不同乙炔与氩气流量比R对脉冲等离子体增强化学气相沉积(PECVD)类金刚石薄膜的沉积速率、AFM形貌、膜基结合强度、纳米压痕硬度以及弹性模量的影响。结果表明:薄膜沉积速率随C_2H_2流量的增大而增大,在R为4:1时沉积速率达到最大0.8μm/h;不同气体流量比下薄膜的表面形貌均光滑致密,纳米硬度是316L不锈钢基体的3倍以上;R为3:1时,Raman光谱ID/IG值为最小,对应此流量比下的最高纳米硬度16.1GPa,且粗糙度最低,摩擦系数为0.206。(本文来源于《辽宁科技大学学报》期刊2018年02期）
王孝,闫璐,李莹,曹韫真[2]（2015）在《应用等离子体辉光监控反馈控制反应气体流量制备VO_2薄膜的研究（英文）》一文中研究指出采用等离子体辉光监控系统(PEM)反馈控制反应溅射过程,在石英基底上制备出单斜相VO_2薄膜,并研究了反馈控制下反应溅射的等离子体相对辉光强度与氧气流量的关系。实验结果表明:在不同的反应压强(0.8 Pa、0.5 Pa、0.2 Pa)下,通过调整相对辉光强度值(REI)均可稳定获得单斜相VO_2薄膜,对应的REI值分别为0.6~0.65、0.65、0.6。XRD测试结果表明VO_2薄膜具有明显的(011)晶面取向,XPS测试结果表明薄膜的化学计量比为VO_(2.02)。VO_2薄膜在2.5μm处的变温透过率测试结果显示薄膜在相变前后的透过率变化达到65%,相变温度确定为66℃。(本文来源于《无机材料学报》期刊2015年11期）
蔡宏中,易健宏,魏巧灵,陈力,魏燕[3]（2013）在《反应气体流量对CVD钽性能影响研究》一文中研究指出介绍了化学气相沉积(CVD)技术制备难熔金属钽涂层的原理及方法。利用TaCl5-H2-HCl反应体系,以冷壁式化学气相沉积法在钼基体表面沉积了钽涂层。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线物相分析仪(XRD)、显微硬度计等分析手段,研究了反应气体(氢气、氯气)的流量变化对钽涂层的沉积速率、结构、表面形貌、硬度及密度等的影响;应用Harris公式,计算了钽涂层的织构系数,获得了钽涂层的择优取向。研究结果表明:随着氢气流量的增加,涂层沉积速率加快,随着氯气流量的增加,涂层的沉积速率则是先增加后减小;涂层由体心立方结构的钽(α-Ta)构成,表面形貌呈类金字塔形结构,涂层(200)晶面方向为最快生长方向;反应气体流量变化对涂层硬度及密度的影响均不明显;涂层维氏硬度在HV 130.94~HV 152.43之间,涂层致密性好,相对密度都在99.65%以上。(本文来源于《稀有金属》期刊2013年06期）
孙智慧,智慧,刘壮,林晶[4]（2009）在《气体流量对反应磁控溅射氧化铝/PET薄膜阻隔性能的影响》一文中研究指出采用直流电源磁控溅射的方法在20μmPET表面沉积氧化铝薄膜,用红外光谱对薄膜成份进行了分析,用MOCON薄膜阻隔性能测试设备对薄膜的透氧率、透湿率进行了测试。结果表明:薄膜上Al-O的峰值强度变化与O2和Ar气流量有关,当O2和Ar气流量分别为9和105mL/min时:Al-O波峰强度最大;制备高阻隔氧化铝薄膜的透明度最佳;所得氧化铝薄膜透氧率比原膜降低15倍,透湿率降低5倍。(本文来源于《包装工程》期刊2009年12期）
孙红,吴玉厚[5]（2006）在《反应气体流量和背压对PEM燃料电池性能的影响》一文中研究指出目的优化质子交换膜(PEM)燃料电池的操作参数,提高PEM燃料电池的性能和稳定性,降低成本.方法运用燃料电池测试站对有效面积为16 cm2的PEM燃料电池单体的伏安特性和功率密度进行了实验,分析了空气流量、氢气流量和背压对PEM燃料电池性能和功率密度的影响.结果试验结果发现:增大空气流量,燃料电池的性能可以持续提高;增大氢气的流量,电池性能先提高,但流量达到一定值后,性能几乎不变;增大电池背压,电池性能提高.结论电极的淹没现象主要存在于PEM燃料电池的阴极;实验条件下,氢气流量存在最佳值.(本文来源于《沈阳建筑大学学报(自然科学版)》期刊2006年06期）
尚德华,张广升,郭烈锦[6]（2006）在《反应气体流量对PEM燃料电池内部电流分布的影响》一文中研究指出电流分布是PEM燃料电池的一个重要性能指标,在线测量电流分布有助于理解电池中的传递现象以及优化电池结构和操作参数。采用电流分布测量垫片技术,实验研究了反应气体流量对单蛇形流场PEM燃料电池内部电流分布的影响。实验结果表明,氢气或空气流量不足时电流密度沿气体流动方向降低;增大气体流量既有利于提高各区域的局部性能,又有利于电流密度的均匀分布。但当氢气流量增大到一定程度后,继续增大氢气流量对电流密度分布和燃料电池性能没有显着影响。(本文来源于《第七届全国氢能学术会议论文集》期刊2006-11-01）
尚德华,张广升,郭烈锦[7]（2006）在《反应气体流量对PEM燃料电池内部电流分布的影响》一文中研究指出电流分布是PEM燃料电池的一个重要性能指标,在线测量电流分布有助于理解电池中的传递现象以及优化电池结构和操作参数。采用电流分布测量垫片技术,实验研究了反应气体流量对单蛇形流场PEM燃料电池内部电流分布的影响。实验结果表明,氢气或空气流量不足时电流密度沿气体流动方向降低;增大气体流量既有利于提高各区域的局部性能,又有利于电流密度的均匀分布。但当氢气流量增大到一定程度后,继续增大氢气流量对电流密度分布和燃料电池性能没有显着影响。(本文来源于《第七届全国氢能学术会议专辑》期刊2006-11-01）
宋文燕,崔虎[8]（2006）在《气体流量比对反应溅射Si_3N_4薄膜的影响》一文中研究指出利用射频磁控反应溅射法,以高纯S i为靶材,高纯N2气为反应气体,在S i衬底上制备出了S i3N4薄膜,研究了气体流量比对薄膜质量的影响。结果表明,薄膜的沉积速率主要与气体的流量比有关,随着气体流量比的增加,沉积速率下降,靶面的溅射由金属模式过渡到氮化物模式;薄膜中N/S i的原子比增加;红外吸收谱的S i-N键的振动峰向标准峰逼近。(本文来源于《真空》期刊2006年05期）
刘英才,尹衍升,李静,李嘉,初蕾[9]（2004）在《纳米硅制备过程中微结构与反应气体流量之间的关系研究(英文)》一文中研究指出利用LICVD方法制备了纳米硅颗粒。研究了不同反应气体流量条件下 ,纳米硅微结构的转变规律 ,分析了制备工艺参数对纳米硅微结构的影响机制。研究表明 ,在激光功率密度恒定条件下 ,随着反应气体流量的增加 ,所制备纳米硅颗粒的尺寸逐渐变小 ,微结构中非晶态比例随反应气流的增加而增加。(本文来源于《人工晶体学报》期刊2004年04期）
欧阳守忠[10]（1995）在《气体搅拌钢包内渣－金属反应的物理模拟研究与临界气体流量的确定》一文中研究指出应用一种传输的百里酚，在一个按比例制做的钢包模型内用油和水分别模拟熔渣和钢水，试验了两种不溶混的液体之间的传质。百里酚在油和水之间有一个平衡百分比，与硫在渣和金属之间传输相类似。把测定的传质速度作为用于钢包冶金通常遇到的系统参数的函数。传质与气体流量的关系表现出有叁个性质不同的气体流量范围，它们各自表现出有不同的函数关系。并发现在第一与第二气体流量范围边界上的临界气体流量是气体喷嘴位置、渣／金属体积比、两相的比重和界面张力的函数。此物理模拟数据能使这些临界气体流量与系统参数联系起来。(本文来源于《武钢技术》期刊1995年04期）
反应气体流量论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用等离子体辉光监控系统(PEM)反馈控制反应溅射过程,在石英基底上制备出单斜相VO_2薄膜,并研究了反馈控制下反应溅射的等离子体相对辉光强度与氧气流量的关系。实验结果表明:在不同的反应压强(0.8 Pa、0.5 Pa、0.2 Pa)下,通过调整相对辉光强度值(REI)均可稳定获得单斜相VO_2薄膜,对应的REI值分别为0.6~0.65、0.65、0.6。XRD测试结果表明VO_2薄膜具有明显的(011)晶面取向,XPS测试结果表明薄膜的化学计量比为VO_(2.02)。VO_2薄膜在2.5μm处的变温透过率测试结果显示薄膜在相变前后的透过率变化达到65%,相变温度确定为66℃。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
反应气体流量论文参考文献
[1].李瑞武,吴法宇,李建伟,范巍,郭媛媛.反应气体流量比对PECVD类金刚石薄膜机械性能的影响[J].辽宁科技大学学报.2018
[2].王孝,闫璐,李莹,曹韫真.应用等离子体辉光监控反馈控制反应气体流量制备VO_2薄膜的研究（英文）[J].无机材料学报.2015
[3].蔡宏中,易健宏,魏巧灵,陈力,魏燕.反应气体流量对CVD钽性能影响研究[J].稀有金属.2013
[4].孙智慧,智慧,刘壮,林晶.气体流量对反应磁控溅射氧化铝/PET薄膜阻隔性能的影响[J].包装工程.2009
[5].孙红,吴玉厚.反应气体流量和背压对PEM燃料电池性能的影响[J].沈阳建筑大学学报(自然科学版).2006
[6].尚德华,张广升,郭烈锦.反应气体流量对PEM燃料电池内部电流分布的影响[C].第七届全国氢能学术会议论文集.2006
[7].尚德华,张广升,郭烈锦.反应气体流量对PEM燃料电池内部电流分布的影响[C].第七届全国氢能学术会议专辑.2006
[8].宋文燕,崔虎.气体流量比对反应溅射Si_3N_4薄膜的影响[J].真空.2006
[9].刘英才,尹衍升,李静,李嘉,初蕾.纳米硅制备过程中微结构与反应气体流量之间的关系研究(英文)[J].人工晶体学报.2004
[10].欧阳守忠.气体搅拌钢包内渣－金属反应的物理模拟研究与临界气体流量的确定[J].武钢技术.1995