导读:本文包含了真空镀膜设备论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:真空,检漏,酒精,氦质谱检漏仪
真空镀膜设备论文文献综述
靳朋礼,巩春志,孔营,张鑫,马玉山[1]（2019）在《真空镀膜设备的简易快捷酒精检漏的有效性研究》一文中研究指出由于缺乏统一规范,如何用酒精高效快速的确定漏点一直是真空镀膜企业重点关注的问题。本文通过对真空镀膜设备的喷酒精检漏的有效性开展研究,并用氦质谱检漏进行验证与标定,系统研究了气压工作范围、抽气速率、漏点结构形式叁个主要影响因素。得出如下结论:真空室气压低于5.0×10~(-3)Pa时喷酒精不能够检出漏点,气压在5.0×10~(-3)Pa～9.9×10~(-3)Pa范围酒精检漏的气压变化趋势为先下降后上升再下降,在气压1.0×10~(-2)Pa～9.9×10~(-2)Pa范围里喷完酒精后,真空室内的气压变化趋势是先略微下降后上升再下降,在1.0×1010~(-1)Pa～9.9×1010~(-1)Pa气压范围,由于漏点尺寸大,喷酒精后,气压无下降,直接先上升后下降;相比两个分子泵,一个分子泵工作检漏时,漏点检出时间长且易漏检,所以在实际泵速较小或真空室较大的真空系统检漏时要特别注意,防止漏检。简单结构漏点喷酒精检漏用时短易检出,而结构复杂的漏点气压反应所用时间长易漏检。以上研究结果为真空生产和应用单位采用酒精高效简易检漏提供了有效指导。(本文来源于《真空》期刊2019年05期）
陈德聪[2]（2019）在《基于PLC的真空镀膜设备自动控制系统设计》一文中研究指出可编程序控制器(PLC)是综合了计算机技术和自动控制技术发展而来的一种新型工业控制装置。触摸屏是一种新型的可接收触头等输入讯号的感应式液晶显示装置。利用可编程控制器和触摸屏改造、设计了一套真空镀膜设备的自动控制系统,实现了真空镀膜设备的自动控制。根据真空镀膜设备的控制要求,详细阐述了整个系统软硬件设计的过程。(本文来源于《机电工程技术》期刊2019年06期）
康豪[3]（2017）在《基于LAB WINDOWS/CVI的真空镀膜设备控制系统开发》一文中研究指出材料科学和材料工业技术的发展对于国家当代科学技术发展具有重要的意义,真空镀膜技术是材料科学和材料工业技术领域的一个重要的分支。真空镀膜技术具有百年的发展历史背景,在目前依然具有良好的发展前景,在工业领域有广泛的应用,如建筑五金业、小五金业、制表业等等。真空镀膜设备是实现真空镀膜技术的平台而其控制系统是整个装置的调试和运行平台,负责整个镀膜工艺的实现过程,是真空镀膜设备中的重要组成部分。伴随真空镀膜技术的日益成熟和工艺水平的逐步提高,对真空镀膜设备控制系统的技术要求也越来越高,从早期的手动控制逐渐发展到基于工业计算机的全自动控制,并对人机界面的友好性和系统运行的可靠性有了更高的要求。真空镀膜设备PIS-212是由安徽纯源真空镀膜科技有限公司自主设计、生产的高性能纯离子镀膜设备,对控制系统提出了用户权限划分、真空系统快速抽气和安全保护、可灵活配置的复杂工艺流程控制、步长短至0.1ms的高速二维扫描、全面的工艺流程监控、全面详尽的日志系统和支持Excel文件格式等技术要求。通过对国内外真空镀膜产品控制系统的调研,选择了基于C/S模型的上下位机硬件控制结构和基于Lab Windows/CVI的软件开发环境,采用模块化的软件设计方法,将控制软件分为用户登录、主控界面、操作模式、系统管理和运行控制等5个模块。控制系统开发完成后,于2016年10月投入运行。半年多的运行情况表明,该控制系统运行稳定可靠、操作界面简便友好、软件功能丰富齐全,为技术人员和运行人员进行高质量薄膜产品的设计和生产提供了极大的便利,达到了设计要求。(本文来源于《中国科学技术大学》期刊2017-05-05）
宫灵哲[4]（2016）在《L真空镀膜设备公司的供应链管理改进研究》一文中研究指出近年来,随着越来越多的企业的加入,真空镀膜设备制造行业已成为竞争越来越激烈的行业之一。如何通过提高设备的稳定性、降低成本、提升服务水平来扩大竞争优势已成为真空镀膜设备制造企业迫切需要解决的问题。L公司作为真空镀膜设备制造行业的翘楚,凭借其长期积累的真空技术、复杂的设备集成能力以及在业内较好的品牌效应,在过去的十几年中在中国市场取得了较为快速的增长。近四年来,增长出现了停滞,且2012和2013年出现了亏损。除了跟宏观经济有一定的关系外,自身的运营能力不足也是阻止公司增长的关键因素。虽然真空镀膜行业总体市场需求是在缓慢增长的,但部分中低端设备市场被国内低成本的竞争对手抢占了。对此,L公司除需要在优化设备配置方面努力外,提高运营水平显然也变得十分必要。而作为复杂设备的集成制造商,供应链管理水平的高低则对整体运营水平有着至关重要的影响。本文即针对L公司的供应链管理改善进行研究,以提升其L公司在管理效率层面的竞争力。首先,本文阐述了行业、企业的发展现状以及所研究企业面临的问题和困难。其次综合论述了制造业企业运营管理、供应链管理的相关理论及方法,然后对L公司现状进行阐述和分析,提出公司存在的问题,指出公司在供应商管理效率低下、信息系统使用不足、组织生产的方式无法满足目前市场需求等叁个主要问题。通过进一步分析,并结合公司的实际情况,提出解决问题的四个方案。该方案是从供应链管理思想的角度出发解决问题,以为最终用户增值最大化为原则,优化和建立适合L公司产品和市场需求的供应链类型和生产方式,有针对性地对解决公司的问题。最后提出了优化方案的实施保证措施。结论部分,对本文作一个归纳总结,通过以上方法或可有效提高L公司的供应链运营效率,进而提升L公司的竞争优势。(本文来源于《大连理工大学》期刊2016-12-01）
[5]（2015）在《《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行》一文中研究指出由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃(本文来源于《真空》期刊2015年03期）
华海宇,罗阳[6]（2015）在《基于ANSYS Workbench的真空镀膜设备真空室体有限元分析》一文中研究指出以真空镀膜设备真空室体为研究对象,利用Inventor建立叁维模型,导入ANSYS Workbench中进行有限元分析。通过对ANSYS Workbench后处理数据进行分析得出真空室体在标准大气压作用下的总变形量、等效应力、等效应变分布规律,根据分析结果结合技术要求对真空室体结构进行优化设计。(本文来源于《机械》期刊2015年03期）
[7]（2015）在《《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行》一文中研究指出由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃(本文来源于《真空》期刊2015年02期）
[8]（2015）在《高端真空镀膜设备》一文中研究指出所属单位兰州空间技术物理研究所产品简介兰州空间技术物理研究所以真空低温技术为核心,依托表面工程技术国防科技重点实验室的研究成果开发形成了蒸发型、磁控型、离子型、溅射型、多弧型等各种源型的高端真空镀膜设备,主要产品包括高真空磁控溅射镀膜机、高真空卷绕镀膜机、高真空蒸发镀膜机等,可为电子材料与电子信息行业、(本文来源于《军民两用技术与产品》期刊2015年03期）
[9]（2015）在《《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行》一文中研究指出由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃镀膜工艺、薄膜厚度测量与监控、薄膜与表面分析检测技术。书中还系统地介绍了反应溅射镀膜、非平(本文来源于《真空》期刊2015年01期）
[10]（2014）在《《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行》一文中研究指出由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃(本文来源于《真空》期刊2014年06期）
真空镀膜设备论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
可编程序控制器(PLC)是综合了计算机技术和自动控制技术发展而来的一种新型工业控制装置。触摸屏是一种新型的可接收触头等输入讯号的感应式液晶显示装置。利用可编程控制器和触摸屏改造、设计了一套真空镀膜设备的自动控制系统,实现了真空镀膜设备的自动控制。根据真空镀膜设备的控制要求,详细阐述了整个系统软硬件设计的过程。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
真空镀膜设备论文参考文献
[1].靳朋礼,巩春志,孔营,张鑫,马玉山.真空镀膜设备的简易快捷酒精检漏的有效性研究[J].真空.2019
[2].陈德聪.基于PLC的真空镀膜设备自动控制系统设计[J].机电工程技术.2019
[3].康豪.基于LABWINDOWS/CVI的真空镀膜设备控制系统开发[D].中国科学技术大学.2017
[4].宫灵哲.L真空镀膜设备公司的供应链管理改进研究[D].大连理工大学.2016
[5]..《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行[J].真空.2015
[6].华海宇,罗阳.基于ANSYSWorkbench的真空镀膜设备真空室体有限元分析[J].机械.2015
[7]..《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行[J].真空.2015
[8]..高端真空镀膜设备[J].军民两用技术与产品.2015
[9]..《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行[J].真空.2015
[10]..《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行[J].真空.2014