本文主要研究内容
作者张璐凡,韩红安,聂福全,张振强,李雪丽,吴军（2019）在《超高加速度宏微运动平台的多工况动力学特性研究》一文中研究指出：设计一种超高加速度宏微运动平台,将运动过程分为五个工作状况,针对不同工况中的平台,采用有限元方法,展开静态受力分析,获得相应变形和应力分布云图,对其相关载荷参数影响规律进行探究。进一步通过动态特性分析计算,获得前六阶固有频率和振动模态,其中第一阶固有频率高于超高加速度宏微运动平台驱动频率,避免了系统共振的发生。利用锤击振动测试实验进行验证,结果证明模拟仿真数据的正确性。研究结果对微电子制造产业飞速发展及其设备更新换代具有十分重要的意义。
Abstract
she ji yi chong chao gao jia su du hong wei yun dong ping tai ,jiang yun dong guo cheng fen wei wu ge gong zuo zhuang kuang ,zhen dui bu tong gong kuang zhong de ping tai ,cai yong you xian yuan fang fa ,zhan kai jing tai shou li fen xi ,huo de xiang ying bian xing he ying li fen bu yun tu ,dui ji xiang guan zai he can shu ying xiang gui lv jin hang tan jiu 。jin yi bu tong guo dong tai te xing fen xi ji suan ,huo de qian liu jie gu you pin lv he zhen dong mo tai ,ji zhong di yi jie gu you pin lv gao yu chao gao jia su du hong wei yun dong ping tai qu dong pin lv ,bi mian le ji tong gong zhen de fa sheng 。li yong chui ji zhen dong ce shi shi yan jin hang yan zheng ,jie guo zheng ming mo ni fang zhen shu ju de zheng que xing 。yan jiu jie guo dui wei dian zi zhi zao chan ye fei su fa zhan ji ji she bei geng xin huan dai ju you shi fen chong yao de yi yi 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自制造技术与机床的张璐凡,韩红安,聂福全,张振强,李雪丽,吴军，发表于刊物制造技术与机床2019年09期论文，是一篇关于超高加速度宏微运动平台论文,多工况论文,静态分析论文,动态分析论文,制造技术与机床2019年09期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自制造技术与机床2019年09期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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