本文主要研究内容
作者岳光礼（2019）在《侧向光栅耦合DFB-LD制备技术研究》一文中研究指出：近年来侧面光栅耦合分布反馈半导体激光器(LC-DFB),在单纵模半导体激光器研究中显示了独特优势,受到国内外研究者的广泛关注。通过在激光器表面引入侧面周期性微扰光栅结构调制模式,达到压窄线宽、波长锁定、模式调整的目的。由于器件的制备只需一次外延生长,大大降低传统DFB激光器因二次外延而引入大量非辐射复合中心等缺陷对器件性能的影响,这对发展满足泵浦等应用领域对小型高效低成本波长锁定半导体激光器的需求具有重要意义。文中利用耦合波理论和传输矩阵法对DFB激光器进行理论分析,并详细分析了LC-DFB的结构特点,在此基础上确定量子阱、有源区垒层的材料组分,光栅周期、占空比等结构参数。文中重点研究了器件的制备工艺。首先根据器件的结构特点,优化LC-DFB的制备流程,通过采用全息光刻结合两次对准工艺及ICP干法刻蚀技术同时制备光栅与脊型,并完成版图的设计与制作。研究了全息光刻工艺、紫外曝光及ICP干法刻蚀技术,优化了曝光显影时间,腐蚀液配比及刻蚀气体配比等工艺参数,后续通过溅射电极、减薄抛光、封装测试完成LC-DFB的制备。制备出的LC-DFB中心波长为805nm,阈值电流为0.4A,在脉冲条件下(5μs,100Hz)最大输出功率为1.07W,在25-80℃内温漂系数大约为0.07nm/℃。
Abstract
jin nian lai ce mian guang shan ou ge fen bu fan kui ban dao ti ji guang qi (LC-DFB),zai chan zong mo ban dao ti ji guang qi yan jiu zhong xian shi le du te you shi ,shou dao guo nei wai yan jiu zhe de an fan guan zhu 。tong guo zai ji guang qi biao mian yin ru ce mian zhou ji xing wei rao guang shan jie gou diao zhi mo shi ,da dao ya zhai xian kuan 、bo chang suo ding 、mo shi diao zheng de mu de 。you yu qi jian de zhi bei zhi xu yi ci wai yan sheng chang ,da da jiang di chuan tong DFBji guang qi yin er ci wai yan er yin ru da liang fei fu she fu ge zhong xin deng que xian dui qi jian xing neng de ying xiang ,zhe dui fa zhan man zu beng pu deng ying yong ling yu dui xiao xing gao xiao di cheng ben bo chang suo ding ban dao ti ji guang qi de xu qiu ju you chong yao yi yi 。wen zhong li yong ou ge bo li lun he chuan shu ju zhen fa dui DFBji guang qi jin hang li lun fen xi ,bing xiang xi fen xi le LC-DFBde jie gou te dian ,zai ci ji chu shang que ding liang zi jing 、you yuan ou lei ceng de cai liao zu fen ,guang shan zhou ji 、zhan kong bi deng jie gou can shu 。wen zhong chong dian yan jiu le qi jian de zhi bei gong yi 。shou xian gen ju qi jian de jie gou te dian ,you hua LC-DFBde zhi bei liu cheng ,tong guo cai yong quan xi guang ke jie ge liang ci dui zhun gong yi ji ICPgan fa ke shi ji shu tong shi zhi bei guang shan yu ji xing ,bing wan cheng ban tu de she ji yu zhi zuo 。yan jiu le quan xi guang ke gong yi 、zi wai bao guang ji ICPgan fa ke shi ji shu ,you hua le bao guang xian ying shi jian ,fu shi ye pei bi ji ke shi qi ti pei bi deng gong yi can shu ,hou xu tong guo jian she dian ji 、jian bao pao guang 、feng zhuang ce shi wan cheng LC-DFBde zhi bei 。zhi bei chu de LC-DFBzhong xin bo chang wei 805nm,yu zhi dian liu wei 0.4A,zai mai chong tiao jian xia (5μs,100Hz)zui da shu chu gong lv wei 1.07W,zai 25-80℃nei wen piao ji shu da yao wei 0.07nm/℃。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自长春理工大学的岳光礼，发表于刊物长春理工大学2019-10-23论文，是一篇关于侧向耦合光栅论文,分布反馈论文,半导体激光器论文,全息光刻论文,长春理工大学2019-10-23论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自长春理工大学2019-10-23论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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