导读:本文包含了干法清洗论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:博世工艺,深槽刻蚀,清洗工艺,微机械系统
干法清洗论文文献综述
周浩,罗燕飞,高周妙,闻永祥,李志栓[1]（2018）在《深槽刻蚀工艺参数及干法清洗工艺的研究》一文中研究指出本文研究了博世(Bosch)工艺的工艺参数及清洗工艺对刻蚀结果的影响。通过调节工艺参数(包括SF6气体的流量、工艺气压、上电极(Source)功率、下电极偏压(bias)功率、C4F8钝化切换时间)研究其对刻蚀速率、选择比及刻蚀形貌的影响,得到了工艺参数的一般性规律及本实验的最佳工艺条件,刻蚀速率1.77μm/min,选择比为91.23,深槽CD差在-0.2μm左右,刻蚀形貌为倒梯形且接近垂直。同时对干法清洗工艺进行了研究,解决长草异常的同时,提供了一种深槽刻蚀工艺维护的方法。(本文来源于《中国集成电路》期刊2018年05期）
[2]（2008）在《Axcelis公司推出全新Integra RS干法光阻去除清洗系统》一文中研究指出Axcelis Technologies推出全新Integra RS干式光阻去除清洗系统,让Axcelis成熟先进制程能力拥有更高的生产力及弹性,为目前市场上的先进存储器与逻辑原件提供了最高的制造能力。Integra RS系统独特的多反应腔设计包括了成对的反应室制程模组,可以达到最高产出。由于每(本文来源于《电子工业专用设备》期刊2008年09期）
段晋胜[3]（2006）在《等离子体干法清洗技术的应用》一文中研究指出随着微电子技术及工艺的飞速发展,湿法清洗技术越来越暴露出其一定的局限性。然而,干法清洗技术不但能够避免湿法清洗带来的环境污染问题,同时也使生产效率也大大得到了提高。通过大量的实践,等离子体清洗技术在干法清洗中优势非常明显。本文主要介绍了等离子体清洗的机理、类型、工艺特点以及在微电子封装工艺中的应用实践。(本文来源于《制造业数字化技术——2006中国电子制造技术论坛论文集》期刊2006-08-01）
高玉新[4]（2006）在《废塑料薄膜的干法清洗及设备研究》一文中研究指出本文基于清洁生产的理念,针对废塑料薄膜采用湿法清洗—水清洗方式所存在的问题,提出采用干法清洗,以节约宝贵的水资源和减少污水的排放对环境造成的污染。 本文提出的干法清洗采用高压空气作为清洗介质,采用物理力(包括机械碰撞、摩擦、研磨等)使废薄膜上的污垢脱落,通过除尘分离最终得到干净的膜片,以作为二次资源加以再生利用。 本文分析了废薄膜干法清洗的原理,依此原理提出了干法清洗工艺流程,并对流程中关键设备气流式干法清洗机的工作原理进行了详细分析。依据干法清洗的原理及气体冲击射流理论确定了清洗机的结构,即在一圆柱形腔体内,周列分布一系列坚硬的圆杆,废膜片由物料喷射器高速进入腔体与圆杆发生碰撞,使废膜片上的污垢脱落从而完成清洗。 分析了清洗机清洗系统的气路组成及其压力配置方式,并通过试验最终确定了清洗机清洗系统,即采用压送为主、吸送为辅的气路系统。 本文在清洗机结构设计中采用现代设计方法,应用计算流体动力学模拟软件FLUENT,对清洗机叁维气相流场进行了模拟分析,以优化清洗机的结构。 在固体废弃物资源化国家工程研究中心嵩明中试基地加工制造了干法清洗原理试验机,并在基地铸造旧砂再生柔性中试线的基础上与原理试验机共同构成了原理性干法清洗工艺流程系统,主要以废地膜为干法清洗对象进行试验。通过验证试验,该清洗机能够实现干法清洗的功能;采用正交试验方法,选择有交互作用的叁水平叁因素试验确定了清洗机适宜清洗的工艺参数,即入口风速为25m/s;清洗次数为4次;圆杆数量为200根。 本文确定了清洗效果的评价指标,即洗净率,从定量上描述了废塑料薄膜清洗后的效果。通过对比,干法清洗后的废膜与用水加去污剂彻底清洗后的废膜在效果上存在一定的差距。 试验中对废膜片和污垢灰尘的分离除尘采用符合要求的布袋除尘器,可以满足该清洗系统对资源节约、对环境友好的理念。(本文来源于《昆明理工大学》期刊2006-04-01）
[5]（1978）在《M2B型自动机——适用于钢筘、钢综和仃经片的湿法和干法清洗及表面处理》一文中研究指出现在纺织工业在市面上的情况,迫使织布厂致力于经常地改进质量,增加产量和降低成本,而所有这些合理化的努力,往往被生产的中断和出现次品所破坏。这就是为什么钢综、钢筘和仃经片的表面处理是非常重要的原因之一。只有维护好织布机的器材,才能保证现代高价编织设备,自动穿经机和仃经片整理机的最佳使用。另外,由于维修(本文来源于《纺织器材通讯》期刊1978年03期）
[6]（1978）在《M2S型钢筘干法和湿法自动研磨、抛光和清洗机》一文中研究指出钢筘弄脏了,生锈了,有裂痕了,筘边坏了,不要以为不能再用了,只要经过M2S型自动机处理之后,仍然可以继续使用。钢筘在M2S型自动机上清洗和高速抛光等处理后,断线、仃(?)、等外品是能够避免的,钢筘使用合理能改进质量,降低产品成本。当使用M2S型新型全自动机的时候,MATADOR机已畅销世界各地了。这个新设计(本文来源于《纺织器材通讯》期刊1978年03期）
干法清洗论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
Axcelis Technologies推出全新Integra RS干式光阻去除清洗系统,让Axcelis成熟先进制程能力拥有更高的生产力及弹性,为目前市场上的先进存储器与逻辑原件提供了最高的制造能力。Integra RS系统独特的多反应腔设计包括了成对的反应室制程模组,可以达到最高产出。由于每
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
干法清洗论文参考文献
[1].周浩,罗燕飞,高周妙,闻永祥,李志栓.深槽刻蚀工艺参数及干法清洗工艺的研究[J].中国集成电路.2018
[2]..Axcelis公司推出全新IntegraRS干法光阻去除清洗系统[J].电子工业专用设备.2008
[3].段晋胜.等离子体干法清洗技术的应用[C].制造业数字化技术——2006中国电子制造技术论坛论文集.2006
[4].高玉新.废塑料薄膜的干法清洗及设备研究[D].昆明理工大学.2006
[5]..M2B型自动机——适用于钢筘、钢综和仃经片的湿法和干法清洗及表面处理[J].纺织器材通讯.1978
[6]..M2S型钢筘干法和湿法自动研磨、抛光和清洗机[J].纺织器材通讯.1978