导读:本文包含了等效膜层论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:光学设计,极紫外光刻,衍射,含缺陷多层膜
等效膜层论文文献综述
刘晓雷,李思坤,王向朝[1]（2015）在《基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型》一文中研究指出建立了一个基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型。通过等效膜层法求解含缺陷多层膜无缺陷区域和含缺陷区域不同位置的反射系数,准确快速地仿真含缺陷多层膜的衍射谱。与波导法严格仿真相比,200nm尺寸时仿真速度提高9倍左右。与改进单平面近似模型和基于单平面近似的简化模型相比,该模型对衍射谱和空间像的仿真精度有了较大提高,并且仿真精度随缺陷尺寸和入射角的变化很小。以+1级衍射光为例,6°入射时,与改进单平面近似模型和简化模型相比,该模型对衍射谱振幅的仿真误差分别减小了77%和63%。(本文来源于《光学学报》期刊2015年06期）
刘晓桏,李思坤,王向朝[2]（2014）在《基于等效膜层法的含缺陷多层膜衍射谱快速仿真方法》一文中研究指出掩模缺陷是阻碍极紫外光刻实现量产的主要难题之一。掩模多层膜中的缺陷主要造成多层膜的变形,对多层膜反射系数的影响复杂且难以修复,需要一定的方法进行补偿。准确快速的仿真缺陷对多层膜衍射谱和空间像的影响是实现快速补偿的关键。目前含缺陷多层膜衍射谱仿真主要采用严格仿真方法如FDTD、波导法等,通过求解麦克斯韦方程组得到衍射谱精确发布,计算量大,计算速度慢,不利于大面积掩模仿真需要。本文提出了一种基于等效膜层法的含缺陷多层膜衍射谱快速仿真方法。将含缺陷多层膜分割为无缺陷部分S_1和含缺陷部分S_2,并通过等效膜层法对两部分分别建模,如图1所示。含缺陷部分的范围由多层膜表面缺陷的半峰全宽决定,将含缺陷部分等分为N份,假设每一份多层膜各层之间是平(本文来源于《第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集》期刊2014-10-26）
王庆,吴福全,郝殿中,齐瑞云,吴闻迪[3]（2010）在《基于等效膜层理论的1/4规整膜系薄膜偏光分束镜》一文中研究指出为了设计制作1/4规整膜系的高性能薄膜偏光分束镜,根据叁层对称膜系结构的等效膜层理论和截止带理论,设计了两种对称膜系结构的偏光分束镜。利用TFCalc薄膜软件对两种膜系结构偏光分束镜的分光光谱特性进行了模拟。利用电子枪蒸镀法分别制备了两种膜系结构的偏光分束镜(580~780 nm),并利用分光光度计和搭建的消光比测试系统,对两种膜系结构偏光分束镜的透射率和消光比进行了测试。结果表明,两种膜系结构的偏光分束镜在设计分光光谱范围内透射率可以达到90%以上,消光比优于3×10-3,与理论设计吻合得很好。(本文来源于《光学学报》期刊2010年07期）
李志成[4]（1982）在《用等效传输线的方法研究膜层的光学性质》一文中研究指出光是一种电磁波,可用电磁理论来研究光在膜层中的传播。在这方面M·玻恩、E·沃尔夫作了大量的工作,但由于平面电磁波与传输线波有一一对应的相似性,在某些方面采用等效传输线的方法,往往显得直观、清晰、简单。沢木司(日)、Л.М.布列霍夫斯基赫、(本文来源于《激光与红外》期刊1982年04期）
等效膜层论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
掩模缺陷是阻碍极紫外光刻实现量产的主要难题之一。掩模多层膜中的缺陷主要造成多层膜的变形,对多层膜反射系数的影响复杂且难以修复,需要一定的方法进行补偿。准确快速的仿真缺陷对多层膜衍射谱和空间像的影响是实现快速补偿的关键。目前含缺陷多层膜衍射谱仿真主要采用严格仿真方法如FDTD、波导法等,通过求解麦克斯韦方程组得到衍射谱精确发布,计算量大,计算速度慢,不利于大面积掩模仿真需要。本文提出了一种基于等效膜层法的含缺陷多层膜衍射谱快速仿真方法。将含缺陷多层膜分割为无缺陷部分S_1和含缺陷部分S_2,并通过等效膜层法对两部分分别建模,如图1所示。含缺陷部分的范围由多层膜表面缺陷的半峰全宽决定,将含缺陷部分等分为N份,假设每一份多层膜各层之间是平
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
等效膜层论文参考文献
[1].刘晓雷,李思坤,王向朝.基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型[J].光学学报.2015
[2].刘晓桏,李思坤,王向朝.基于等效膜层法的含缺陷多层膜衍射谱快速仿真方法[C].第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集.2014
[3].王庆,吴福全,郝殿中,齐瑞云,吴闻迪.基于等效膜层理论的1/4规整膜系薄膜偏光分束镜[J].光学学报.2010
[4].李志成.用等效传输线的方法研究膜层的光学性质[J].激光与红外.1982