导读:本文包含了无油真空机组论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:真空机组,分子泵,流场分析,结构分析
无油真空机组论文文献综述
董帝渤[1]（2011）在《无油真空机组的设计》一文中研究指出终端光学组件作为惯性约束聚变中激光传输的末端装置,承担着光束聚焦、频率转换、谐波分离等重要功能,其内部的KDP晶体等光学元件需工作在洁净真空环境。基于此,本文针对提出的洁净度、真空度等指标要求,对终端光学组件的真空获得设备进行了初步的设计和研究。首先,进行了无油真空机组的总体方案设计。通过分析真空室环境的相关指标要求,比较了几种常规真空获得设备的优缺点,提出洁净分子泵机组的概念。为实现无蒸汽油等有机物污染的要求,选用以磁轴承涡轮分子泵为主泵,牵引分子泵为前级泵的真空机组抽气方案,且对其工作流程进行了分析和设计。然后,设计了用于无油真空机组的磁轴承分子泵。介绍了牵引分子泵和涡轮分子泵的抽气原理以及抽气性能的相关计算理论,提出了磁轴承牵引分子泵的概念。通过分析几种不同形式的转子结构,设计了分子泵的多螺旋牵引槽结构和涡轮叶片,以及设计了主动控制式五自由度磁悬浮轴承复合支撑的转子系统结构,完成了F-150A型磁轴承涡轮分子泵和F-160A型磁轴承牵引分子泵的整体结构设计。最后,对磁轴承分子泵的内部流场以及转子结构进行了仿真研究。介绍了有限元分析软件Fluent的仿真流程,包括实体模型的建立、有限元模型的前处理、计算模型的设定等,分析了双腔串联式多螺旋槽牵引分子泵的流场流态,定性、定量地验证了所设计的F-160A型磁轴承牵引分子泵的抽气性能符合要求。此外,运用Patran/Nastran对F-150A型磁轴承涡轮分子泵叶片转子进行结构分析,研究了涡轮叶片转子在高速运转状态下的动力学特征。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2011-06-01）
XoлодЮ·B,冯维仪[2]（1986）在《无油低温泵真空机组》一文中研究指出苏联最近研制了一种最新的包括四个低温泵的无油低温真空机组,它用干100米3以下的容器无油抽气真空设备,压力范围在10～5-4×10-6帕之内。 为了从真空室里抽出≥87%的气体,便使用由液氮冷却的具有下列参数的AKΦ-1型前级冷凝真空泵:工作压强范围10(本文来源于《真空》期刊1986年05期）
[3]（1975）在《JWC-1型无油超高真空机组性能简介》一文中研究指出一、用途和基本参数 随着我国科学技术的发展,特别是通过文化大革命和批林批孔运动,我国真空行业也和全国其他行业一样有了飞速发展,各行各业都出现了新的面貌。为适应真空行业的 格要和发展,我厂与清华大学绵阳分校共同研制的JW C──1型无油超高真空机组已经制研(本文来源于《真空技术报导》期刊1975年01期）
无油真空机组论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
苏联最近研制了一种最新的包括四个低温泵的无油低温真空机组,它用干100米3以下的容器无油抽气真空设备,压力范围在10～5-4×10-6帕之内。 为了从真空室里抽出≥87%的气体,便使用由液氮冷却的具有下列参数的AKΦ-1型前级冷凝真空泵:工作压强范围10
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
无油真空机组论文参考文献
[1].董帝渤.无油真空机组的设计[D].哈尔滨工业大学.2011
[2].XoлодЮ·B,冯维仪.无油低温泵真空机组[J].真空.1986
[3]..JWC-1型无油超高真空机组性能简介[J].真空技术报导.1975