本文主要研究内容
作者胡绪瑞,陈达,王刚,陶卫东（2019）在《利用双光子聚合在非透明基底上制备微结构》一文中研究指出：在不改变双光子聚合微加工设备结构的基础上,介绍了利用环绕字母数字螺旋塔,在以铜片和硅片为代表的2种非透明基底上进行光刻,根据所光刻的图案,分别得出在铜片和硅片上的有效光刻距离区间以及最佳光刻距离,总结出成熟的非透明基底上光刻微结构的方法,分别在2种不透明基底上光刻二维和三维立体图案,清晰的图案说明在非透明基底上光刻方法有效可行.研究结果可为诸多双光子聚合设备在非透明基底上光刻提供参考,并有助于双光子聚合在光学微器件、微机电系统、生物组织工程等领域发挥更大的作用.
Abstract
zai bu gai bian shuang guang zi ju ge wei jia gong she bei jie gou de ji chu shang ,jie shao le li yong huan rao zi mu shu zi luo xuan da ,zai yi tong pian he gui pian wei dai biao de 2chong fei tou ming ji de shang jin hang guang ke ,gen ju suo guang ke de tu an ,fen bie de chu zai tong pian he gui pian shang de you xiao guang ke ju li ou jian yi ji zui jia guang ke ju li ,zong jie chu cheng shou de fei tou ming ji de shang guang ke wei jie gou de fang fa ,fen bie zai 2chong bu tou ming ji de shang guang ke er wei he san wei li ti tu an ,qing xi de tu an shui ming zai fei tou ming ji de shang guang ke fang fa you xiao ke hang .yan jiu jie guo ke wei zhu duo shuang guang zi ju ge she bei zai fei tou ming ji de shang guang ke di gong can kao ,bing you zhu yu shuang guang zi ju ge zai guang xue wei qi jian 、wei ji dian ji tong 、sheng wu zu zhi gong cheng deng ling yu fa hui geng da de zuo yong .
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自宁波大学学报(理工版)的胡绪瑞,陈达,王刚,陶卫东，发表于刊物宁波大学学报(理工版)2019年05期论文，是一篇关于飞秒激光论文,双光子聚合论文,非透明基底论文,光刻论文,微结构论文,宁波大学学报(理工版)2019年05期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自宁波大学学报(理工版)2019年05期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：飞秒激光论文; 双光子聚合论文; 非透明基底论文; 光刻论文; 微结构论文; 宁波大学学报(理工版)2019年05期论文;