导读:本文包含了单芯片双惯性论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:单芯片惯性测量组合,惯性测量组合,微机电系统,微机械陀螺
单芯片双惯性论文文献综述
蒋庆华,苑伟政,常洪龙[1]（2010）在《面向无人机的单芯片惯性测量组合》一文中研究指出针对无人机对惯性测量组合的小尺寸、轻重量的需求,设计实现了芯体为1cm3的微小型单芯片的硅微惯性测量组合。论文提出了一种基于体硅深刻蚀—玻璃键合工艺的单芯片惯性测量组合结构,该结构集成了六个异构的单轴惯性器件,可实现运动载体的六自由度运动信息测量。单芯片惯性测量组合中的陀螺器件两个模态的的振动频率实现了较好的匹配,加速度计器件分辨率达到了0.93mg。测试结果表明该单芯片惯性测量组合有望实现高精度的惯性量测量,在无人机上有很好的应用前景。(本文来源于《航空工程进展》期刊2010年01期）
马宗敏[2]（2008）在《单芯片集成双惯性器件研究》一文中研究指出本论文直接对小型/微型/纳米卫星的导航关键部件——惯性器件加以研究,从对两类惯性参数的单片集成检测进行综合设计开始,结合存储测试技术的微型化研究,计划最终实现微型单芯片惯性测量组合(MIMU)及其测试系统集成。应用在在微纳卫星上,充分发挥微惯性测量单元具有的体积小,重量轻、功耗小、成本低和可靠性高等优点,为此,本课题提出根据微惯性技术理论来设计一种单芯片集成惯性传感器,利用同一质量块,实现同方向上线加速度和角速度的检测。该项技术的发展,为解决微纳卫星的自我控制开辟了广阔的道路;同时,该技术不仅可以应用于小型/微型/纳米卫星对地定向和姿态控制系统,而且也可以应用在车载惯性系统以及其它导航系统等领域。本论文工作主要围绕所发明的一种基于MEMS的单芯片双惯性集成惯性器件开展,对单片集成传感器的现状进行了总结,分析了当前集成传感器主要的发展趋势;建立了单芯片双惯性集成传感器的动力学模型,给出了数学模型的求解方法;同时,本论文完成了一种具有解耦结构、电容检测的单芯片双惯性集成传感器的结构设计,根据模型对结构进行了分析和研究;制定了器件的制作工艺并对器件进行了加工流片,在版图设计的基础上加工出了集成惯性传感器芯片,对芯片进行了封装;结合相关解调算法设计了相应的驱动和检测电路,对传感器进行了初步的测试,得到了较为理想的结果;在此基础上就单片集成传感器耦合与误差的产生和消除进行了研究,总结了耦合与误差产生的种类和根源,提出了减小和消除耦合与误差的方法。(本文来源于《中北大学》期刊2008-05-26）
常洪龙,蒋庆华,崔金强,李芊,苑伟政[3]（2006）在《一个单芯片硅微惯性测量组合》一文中研究指出论文基于普通的体硅工艺设计实现了一个单片集成式硅微惯性测量组合.通过对敏感表头的结构优化设计达到异构图形长和宽的较高一致度,从而有效降低刻蚀延迟效应(RIELag)对大面积结构深刻蚀造成的影响.所加工的样片在不到1cm2的硅片面积上同时包含了叁个不同轴向的硅微加速度计和叁个不同轴向的硅微陀螺,可对载体在笛卡尔坐标系内六个自由度上的运动分量进行测量.针对这六个片上惯性元器件,分别设计了相应的接口电路并进行了测试.测试表明其中的陀螺可达到1deg/s左右的精度,加速度计有33mV/gn的标度因子.论文研究表明这种单片集成式硅微惯性测量组合的实现方法工艺简单,可有效降低惯性测量组合的体积,同时具有进一步提高精度的潜力.(本文来源于《传感技术学报》期刊2006年05期）
单芯片双惯性论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本论文直接对小型/微型/纳米卫星的导航关键部件——惯性器件加以研究,从对两类惯性参数的单片集成检测进行综合设计开始,结合存储测试技术的微型化研究,计划最终实现微型单芯片惯性测量组合(MIMU)及其测试系统集成。应用在在微纳卫星上,充分发挥微惯性测量单元具有的体积小,重量轻、功耗小、成本低和可靠性高等优点,为此,本课题提出根据微惯性技术理论来设计一种单芯片集成惯性传感器,利用同一质量块,实现同方向上线加速度和角速度的检测。该项技术的发展,为解决微纳卫星的自我控制开辟了广阔的道路;同时,该技术不仅可以应用于小型/微型/纳米卫星对地定向和姿态控制系统,而且也可以应用在车载惯性系统以及其它导航系统等领域。本论文工作主要围绕所发明的一种基于MEMS的单芯片双惯性集成惯性器件开展,对单片集成传感器的现状进行了总结,分析了当前集成传感器主要的发展趋势;建立了单芯片双惯性集成传感器的动力学模型,给出了数学模型的求解方法;同时,本论文完成了一种具有解耦结构、电容检测的单芯片双惯性集成传感器的结构设计,根据模型对结构进行了分析和研究;制定了器件的制作工艺并对器件进行了加工流片,在版图设计的基础上加工出了集成惯性传感器芯片,对芯片进行了封装;结合相关解调算法设计了相应的驱动和检测电路,对传感器进行了初步的测试,得到了较为理想的结果;在此基础上就单片集成传感器耦合与误差的产生和消除进行了研究,总结了耦合与误差产生的种类和根源,提出了减小和消除耦合与误差的方法。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
单芯片双惯性论文参考文献
[1].蒋庆华,苑伟政,常洪龙.面向无人机的单芯片惯性测量组合[J].航空工程进展.2010
[2].马宗敏.单芯片集成双惯性器件研究[D].中北大学.2008
[3].常洪龙,蒋庆华,崔金强,李芊,苑伟政.一个单芯片硅微惯性测量组合[J].传感技术学报.2006