本文主要研究内容
作者沐雯,沈伟东,杨陈楹,郑晓雯,王震,袁华新,袁文佳,章岳光（2019）在《基于原子层沉积技术的石英管表面减反射膜的制备》一文中研究指出：采用原子层沉积(ALD)技术在石英管表面制备了薄膜,研究了该薄膜的均匀性,以及石英管的内径、外径、长度对沉积薄膜均匀性的影响。以单波长减反射膜为研究对象,实验测试的反射光谱与仿真结果一致,石英管表面最低反射率可降至0.17%。忽略夹具影响,石英管外壁与内壁的减反射薄膜的非均匀性基本一致,在±1.69%范围内,内外壁表面减反射薄膜的厚度和中心波长相同,且石英管尺寸对内外壁薄膜均匀性无明显影响。利用ALD技术可在大曲率元件的内外表面沉积厚度偏差小且均匀性分布相似的减反射薄膜。
Abstract
cai yong yuan zi ceng chen ji (ALD)ji shu zai dan ying guan biao mian zhi bei le bao mo ,yan jiu le gai bao mo de jun yun xing ,yi ji dan ying guan de nei jing 、wai jing 、chang du dui chen ji bao mo jun yun xing de ying xiang 。yi chan bo chang jian fan she mo wei yan jiu dui xiang ,shi yan ce shi de fan she guang pu yu fang zhen jie guo yi zhi ,dan ying guan biao mian zui di fan she lv ke jiang zhi 0.17%。hu lve ga ju ying xiang ,dan ying guan wai bi yu nei bi de jian fan she bao mo de fei jun yun xing ji ben yi zhi ,zai ±1.69%fan wei nei ,nei wai bi biao mian jian fan she bao mo de hou du he zhong xin bo chang xiang tong ,ju dan ying guan che cun dui nei wai bi bao mo jun yun xing mo ming xian ying xiang 。li yong ALDji shu ke zai da qu lv yuan jian de nei wai biao mian chen ji hou du pian cha xiao ju jun yun xing fen bu xiang shi de jian fan she bao mo 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自光学学报的沐雯,沈伟东,杨陈楹,郑晓雯,王震,袁华新,袁文佳,章岳光，发表于刊物光学学报2019年03期论文，是一篇关于表面光学论文,原子层沉积论文,石英管论文,减反射膜论文,均匀性论文,光学学报2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自光学学报2019年03期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。