邓学文张强，蒋利锋，徐建，刘豪
中电科技重庆声光电有限公司400060
摘要：本文主要针对半导体设备的维护和维修展开深入研究，重点通过掌握设备维修的方法、开展设备维修的日常维护工作、强化设备维修的预测性维修、不断提高设备维修人员的综合素养，确保半导体设备安全、稳定地运行，及时处理好故障问题，进而将设备的维护和维修设备落实到位，推动生产生活更好、更快地进行。
关键词：半导体设备；维护；维修
在现代半导体公司中，半导体设备发挥着极大的作用，而加强维修和维护工作的开展也是至关重要的。针对现代化半导体设备，大都属于流水线作业，如果生产中的设备出现故障问题，极容易导致企业停产，造成不必要的经济损失。因此，必须要实时监控关键设备，有针对性地开展维修工作，将隐藏的故障问题消除掉。所以说，开展半导体设备的维护和维修工作是至关重要的，将故障隐患的出现降至最低。
掌握设备维修的方法
一、对于设备维修人员，在出现设备问题以后，要及时进行设备诊断工作，然后对成因进行深入分析，最后采取可行的维修对策。
要及时检查设备的水电气的供应是否正常、合理，在确定正常的情况下，要及时检查设备的主体，明确设备的故障成因，避免出现盲目检查行为的出现，并节约大量的人力、物力以及精力。
第一，明确设备的故障范围。一般来说，设备，主要包括控制部分、传送部分以及附加部分等。所以要结合故障分析，明确问题所在，如果体现在设备较为精密的控制部分，在进行修理过程中，要循序渐进的排查电路板模块，进行不断对比和分析，将故障的成因找出来，在具有相同设备的情况下，要加强替代法的应用，以此来不断提高排查速度。
第二，清理好各个部件灰尘，对各个板件的线路连接进行全面检查。在实际上，针对半导体行业设备的引进，主要得益于国外二手的设备，设备的运行时间较长，在一些插头和接口方面，极容易出现灰尘堆积现象，从而加大漏电的发生概率，在长期使用的情况下，会加剧接口的松开程度【1】。因此，在排查和修理故障过程中，要加强无水酒精、清洗剂的使用，以此来清理灰尘，对各个接口进行重新检查和连接。
第三，开展设备维修的日常维护工作
二、根据上述可以了解到，诸多半导体行业的设备，大都对国外二手设备进行了应用，有时也采用了国内精度较高的设备。要想确保设备的正常运作，必须要开展日常维护工作，这是由于在日常中，要对国外的设备运行状态进行了解，还要对国产设备进行学习和研究，尤其针对工作原理和部件功能等。
首先，如果设备来自于国外的二手设备，要将设备的使用和维护手册翻译过来，为日常维护和维修提供可行的参与依据【2】，促进进口设备的正常运行，并且还要适度进行改进，但是不能对设备的精密性造成任何破坏，不断提高设备的先进工艺水平，确保良好的性价比，进而确保生产工艺质量的稳步提升。
其次，针对国内的生产设备，对于调试人员来说，在安装调试过程中，厂商要安排专业的维护维修人员，而且针对设备经常出现的问题，还要与专门设备维护维修人员进行分析和研讨，共同制定出科学合理的解决方法。在设备正常使用过程中，针对设备出现的问题，要在第一时间进行检查，并及时更换，防止设备问题的不断扩大，进而导致停工。
强化设备维修的预测性维修
三、如果在设备出现问题以后再进行维修，极容易导致设备的维护维修工作难以正常进行下去，进而导致不必要的经济损失的出现，甚至加剧事故发生程度，演变成一发不可收拾的后果。预测性维修，需要密切关注设备生产过程状态，在设备运行过程中，要加强状态监测和故障诊断，对设备所处状态进行判断，根据设备状态发展趋势，以此来制定配套可行的维修计划，将预测性维修的作用充分发挥出来，避免故障隐患的出现。
在日常生产生活中，还要加强设备运行机制的构建，针对设备可能出现的问题，要做好准备工作，以便于做到及时发现问题并解决问题，如果设备出现危险状态，并与预期出现了较大的差距，要开展提前检修工作，从而更好地解决问题。
不断提高设备维修人员的综合素养
四、在日常生产过程中，设备属于重要工作之一，但是设备的正常运行，与设备人员之间的关系也是紧密联系、密不可分的。尤其在现阶段，生产的流水线操作，更加明确提出了对设备的要求，如果出现问题，极容易导致全线停产的出现【3】，所以设备的维护和维修工作是至关重要的。
一般来说，我国诸多半导体设备大都来自于国外，其中，微机控制、可编程机器语言以及机电一体化等，是重要的应用方法，所以维修技术人员，必须要加强先进理论知识的学习，将其灵活应用到实践的维护和维护中去，具备良好的知识基础，从而给予生产工艺顺利进行一定的保障。
此外，设备维修，属于长期复杂性工作，设备维修人员必须要进行周密、仔细的检查，所以人员必须要树立高度的敬业精神、责任意识，进而发挥出自身在工作岗位中的作用，实现人生价值。
结束语
五、总之，在半导体设备运行过程中，开展维护和维修工作是至关重要的，为设备良好的运行状态奠定了坚实的基础。因此，在开展维护和维修工作中，必须要制定可行的优化措施，比如掌握设备维修的方法、开展设备维修的日常维护工作、强化设备维修的预测性维修、不断提高设备维修人员的综合素养等，进而予以有效落实。
参考文献：
[1]吴相彬,赖体强,陈妙阳,袁兴成.半导体冷藏箱冷藏温度故障分析与修复[J].日用电器,2017(12):27-29.
[2]李瑞秋,马慧民.半导体可重入作业车间调度与设备预维修联合优化研究[J].物流工程与管理,2016,38(11):137-139.
[3].SOT23半导体器件后道封测设备[J].电子工业专用设备,2015,44(03):60-61.