深管内壁论文-刘琪,王文涛,林国强

深管内壁论文-刘琪,王文涛,林国强

导读:本文包含了深管内壁论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献,主要关键词:电弧离子镀,磁场,管内壁,TiN薄膜

深管内壁论文文献综述

刘琪,王文涛,林国强[1](2011)在《磁场对电弧离子镀深管内壁沉积TiN薄膜的影响》一文中研究指出用电弧离子镀设备在一端封口的Φ50 mm×200 mm×5 mm不锈钢深管内壁上沉积TiN薄膜,镀膜前在管子上方布置一个0.4 T的永磁体,以考察附加磁场对深管内壁沉积TiN薄膜的影响。对薄膜的厚度、表面形貌、相结构、显微硬度等随管子深度的变化进行了分析与测试,结果表明,薄膜的厚度及显微硬度都随管子的深度而下降,但在距管开口处前120 mm范围内下降明显慢于未加磁场的,说明磁场对内孔沉积具有促进作用;按照显微硬度不低于20 GPa划分,本实验的镀膜深径比达到了2.0,比未加磁场时提高了40%。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2011年01期)

王文涛[2](2009)在《电弧离子镀深管内壁硬膜沉积研究》一文中研究指出从上世纪70年代TiN薄膜成功地用于刀具、钻头等工具使其寿命明显提高开始,硬质薄膜制备技术就受到人们充分的重视。经过近几十年的发展,外表面硬质薄膜技术已经取得了长足的进步,大大促进了工业自动化的发展,带来了很好的经济效益。但是,在生产实践中以内表面为工作面的工件并不比以外表面为工作面的工件少,如发动机的缸筒、运输管道、离子加速管、炮筒等。这些工件经常因内壁磨损、腐蚀等形式遭到破坏,因此在管材内壁上沉积耐腐蚀、耐磨、耐高温的薄膜具有重要的意义。但是目前在国内外的刊物上很少见到相关的研究报道,因此发展内壁镀膜技术是一项十分紧迫的任务。本课题组先期已经对深管内壁沉积硬质薄膜技术做了初步的开发研究,取得了一些可贵的基础数据。本论文将在此基础上,对规格为Φ50mm×200mm×5mm的盲管(论文中简称盲管)和Φ50mm×300mm×5mm的通管(论文中简称通管)进行内壁沉积TiN薄膜的深入研究实验。本实验设计了引入高温永磁体磁场来约束等离子体,使管内部等离子体密度增加,进而提高沉积速率。并对获得的薄膜进行膜厚、XRD、SEM、硬度等方面的检测分析。检测结果表明,通管和盲管在全管段范围内都得到纯正的TiN薄膜,管内各深度薄膜的纳米硬度均在标准纯TiN的20 GPa以上;微米硬度也按照20 GPa划分,深管内壁薄膜沉积的衍深度(即镀膜深度与管口径之比)可达2.0。通过薄膜厚度的测量,可以算出盲管在150mm处沉积速率达到了≥0.45μm/h;通管在150mm处的沉积速率更是达到了≥0.84μm/hXRD结果表明,实验所得薄膜均为纯正TiN薄膜,且具有一定的择优取向,随着管深度的增加,由(111)择优逐渐转向了(220)择优。最后,本文还应用获得最大衍深度的沉积工艺在铜管剥皮模具内孔沉积硬质改性涂层使模具寿命大大提高,和在质子交换膜燃料电池不锈钢双极板表面沉积CrN薄膜,使极板异形沟槽内部也保证镀膜致密均匀,使双极板导电性能大大提高,同时也提高了耐蚀性能,取得了很好的综合性能。(本文来源于《大连理工大学》期刊2009-04-01)

石昌仑,张敏,林国强[3](2007)在《脉冲偏压对电弧离子镀深管内壁沉积TiN薄膜的影响》一文中研究指出用电弧离子镀设备,分别采用直流偏压和脉冲偏压的沉积工艺,在一端封口的50 mm×200 mm×5 mm的不锈钢深管内壁上沉积TiN薄膜,对薄膜的厚度、表面形貌、相结构、硬度和磨损性能等随管子深度的变化进行了对比测试。结果表明,两种工艺下薄膜的厚度、硬度以及耐磨性能都随管子的深度而下降,但与直流偏压相比,脉冲偏压能够提高薄膜厚度和硬度,减少大颗粒的尺寸和数量,提高耐磨性能;按照硬度不低于20 GPa的标准划分,脉冲偏压使镀膜深度提高了40%,即从直流偏压的50 mm提高到70 mm。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2007年06期)

深管内壁论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

从上世纪70年代TiN薄膜成功地用于刀具、钻头等工具使其寿命明显提高开始,硬质薄膜制备技术就受到人们充分的重视。经过近几十年的发展,外表面硬质薄膜技术已经取得了长足的进步,大大促进了工业自动化的发展,带来了很好的经济效益。但是,在生产实践中以内表面为工作面的工件并不比以外表面为工作面的工件少,如发动机的缸筒、运输管道、离子加速管、炮筒等。这些工件经常因内壁磨损、腐蚀等形式遭到破坏,因此在管材内壁上沉积耐腐蚀、耐磨、耐高温的薄膜具有重要的意义。但是目前在国内外的刊物上很少见到相关的研究报道,因此发展内壁镀膜技术是一项十分紧迫的任务。本课题组先期已经对深管内壁沉积硬质薄膜技术做了初步的开发研究,取得了一些可贵的基础数据。本论文将在此基础上,对规格为Φ50mm×200mm×5mm的盲管(论文中简称盲管)和Φ50mm×300mm×5mm的通管(论文中简称通管)进行内壁沉积TiN薄膜的深入研究实验。本实验设计了引入高温永磁体磁场来约束等离子体,使管内部等离子体密度增加,进而提高沉积速率。并对获得的薄膜进行膜厚、XRD、SEM、硬度等方面的检测分析。检测结果表明,通管和盲管在全管段范围内都得到纯正的TiN薄膜,管内各深度薄膜的纳米硬度均在标准纯TiN的20 GPa以上;微米硬度也按照20 GPa划分,深管内壁薄膜沉积的衍深度(即镀膜深度与管口径之比)可达2.0。通过薄膜厚度的测量,可以算出盲管在150mm处沉积速率达到了≥0.45μm/h;通管在150mm处的沉积速率更是达到了≥0.84μm/hXRD结果表明,实验所得薄膜均为纯正TiN薄膜,且具有一定的择优取向,随着管深度的增加,由(111)择优逐渐转向了(220)择优。最后,本文还应用获得最大衍深度的沉积工艺在铜管剥皮模具内孔沉积硬质改性涂层使模具寿命大大提高,和在质子交换膜燃料电池不锈钢双极板表面沉积CrN薄膜,使极板异形沟槽内部也保证镀膜致密均匀,使双极板导电性能大大提高,同时也提高了耐蚀性能,取得了很好的综合性能。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

深管内壁论文参考文献

[1].刘琪,王文涛,林国强.磁场对电弧离子镀深管内壁沉积TiN薄膜的影响[J].真空科学与技术学报.2011

[2].王文涛.电弧离子镀深管内壁硬膜沉积研究[D].大连理工大学.2009

[3].石昌仑,张敏,林国强.脉冲偏压对电弧离子镀深管内壁沉积TiN薄膜的影响[J].真空科学与技术学报.2007

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