本文主要研究内容
作者李坚,郭丽芳,李廷鱼,段淑斐,李刚（2019）在《阳极氧化制备硅基TiO2纳米管阵列及形貌表征》一文中研究指出：TiO2纳米管因其具有独特的结构优势和优异的物理化学性质,受到了广泛的关注与研究。然而,TiO2纳米管阵列（NTA）的制备主要以钛片为基底,很难与硅的微加工工艺相兼容,制约了其在微型电子设备中的应用。为将TiO2纳米管阵列与硅衬底结合,首先以磁控溅射方法在硅基底上沉积一层金属钛薄膜,通过阳极氧化法制备硅基TiO2纳米管阵列。采用扫描电子显微镜（SEM）分别探究了阳极氧化过程中外加电压、电解液组成、阳极氧化时间对纳米管形貌的影响,并得到了优化的实验参数。实验发现:50 V恒压条件下,在含有质量分数0.5%氟化铵的乙二醇电解液中对金属钛薄膜进行阳极氧化,成功制备出直径约110 nm、高2.00μm的TiO2纳米管阵列。高比表面积的TiO2纳米管可根据需要负载不同的物质材料,应用于传感器、药物传输、超级电容器等领域,极大拓展了其在微电子器件方面的应用。
Abstract
TiO2na mi guan yin ji ju you du te de jie gou you shi he you yi de wu li hua xue xing zhi ,shou dao le an fan de guan zhu yu yan jiu 。ran er ,TiO2na mi guan zhen lie （NTA）de zhi bei zhu yao yi tai pian wei ji de ,hen nan yu gui de wei jia gong gong yi xiang jian rong ,zhi yao le ji zai wei xing dian zi she bei zhong de ying yong 。wei jiang TiO2na mi guan zhen lie yu gui chen de jie ge ,shou xian yi ci kong jian she fang fa zai gui ji de shang chen ji yi ceng jin shu tai bao mo ,tong guo yang ji yang hua fa zhi bei gui ji TiO2na mi guan zhen lie 。cai yong sao miao dian zi xian wei jing （SEM）fen bie tan jiu le yang ji yang hua guo cheng zhong wai jia dian ya 、dian jie ye zu cheng 、yang ji yang hua shi jian dui na mi guan xing mao de ying xiang ,bing de dao le you hua de shi yan can shu 。shi yan fa xian :50 Vheng ya tiao jian xia ,zai han you zhi liang fen shu 0.5%fu hua an de yi er chun dian jie ye zhong dui jin shu tai bao mo jin hang yang ji yang hua ,cheng gong zhi bei chu zhi jing yao 110 nm、gao 2.00μmde TiO2na mi guan zhen lie 。gao bi biao mian ji de TiO2na mi guan ke gen ju xu yao fu zai bu tong de wu zhi cai liao ,ying yong yu chuan gan qi 、yao wu chuan shu 、chao ji dian rong qi deng ling yu ,ji da ta zhan le ji zai wei dian zi qi jian fang mian de ying yong 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自微纳电子技术的李坚,郭丽芳,李廷鱼,段淑斐,李刚，发表于刊物微纳电子技术2019年07期论文，是一篇关于纳米管阵列论文,阳极氧化论文,硅基底论文,薄膜论文,磁控溅射论文,乙二醇论文,微纳电子技术2019年07期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自微纳电子技术2019年07期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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