导读:本文包含了陶瓷微加工论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:微加工技术,准分子激光,Al_2O_3陶瓷,硅晶片
陶瓷微加工论文文献综述
何立文[1]（2018）在《准分子激光微加工Al_2O_3陶瓷和硅晶片的实验研究》一文中研究指出准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大和能量分布均匀等特点,在高效微加工领域有着独特的优势,因此准分子激光微加工技术具有很大的实用价值。针对激光参数在准分子激光微加工过程中的作用,本文的研究能够提供有价值的参考。本文选用193nmArF准分子激光、248nmKrF准分子激光和308nmXeCl准分子激光叁种典型的准分子激光,对Al_2O_3陶瓷和硅晶片进行微孔加工。研究了不同波长情况下,激光能量、脉冲重复频率和脉冲数量对Al_2O_3陶瓷和硅晶片微孔加工的影响,归纳总结了准分子激光微加工Al_2O_3陶瓷和硅晶片的特性与规律。研究结果表明:不同波长准分子激光的脉冲重复频率对于Al_2O_3陶瓷和硅晶片的微孔加工结果没有影响;193nm、248nm和308nm准分子激光的能量密度分别超过3.0J/cm~2、9.2J/cm~2和2.8J/cm~2时,Al_2O_3陶瓷的微孔宽度不再明显增加;193nm、248nm和308nm准分子激光的能量密度分别为6.4J/cm~2、6.8 J/cm~2和2.8 J/cm~2时硅晶片微孔宽度随后不再发生改变;激光脉冲数量的影响规律是开始阶段随着脉冲数量的增加微孔宽度迅速变大,随后变化平缓,在达到某一值后,不再随脉冲数量的增加而变化。叁种波长的准分子激光与Al_2O_3陶瓷相互作用时都出现小的熔融斑和小麻点群的损伤样貌,表明叁种波长准分子激光与Al_2O_3陶瓷相互作用在实验过程均是以热效应机制为主。193nm准分子激光微加工硅晶片表面的热影响区小,周期性的条纹结构表明其加工机制主要以光化学作用为主。248nm和308nm准分子激光与硅的相互作用区域轮廓清晰说明热量传导范围很小,呈现“冷”加工的效果,辐照区域内部出现裂纹和熔融区,因而是光化学作用和光热作用共同作用的结果。最后,提出了本文实验过程中的优点和不足之处,分析下一步工作需要完善的环节,对今后的工作和实验做了展望。(本文来源于《合肥工业大学》期刊2018-03-01）
孔令瑞[2]（2014）在《陶瓷材料的激光微加工技术研究》一文中研究指出工程陶瓷在国防工业、航空航天、电子信息以及日常生活中的应用越来越广泛。传统的机械加工方法很难对常见的工程陶瓷如石英陶瓷、氧化铝陶瓷等进行精密加工。近年来激光微加工技术凭借其无接触、可加工微小复杂结构、加工质量好等特点，越来越受到材料微加工领域的重视。基于此，本论文利用课题组的激光微加工设备进行了石英陶瓷、氧化铝陶瓷等的激光刻蚀技术研究。首先，采用紫外激光器和光纤激光器进行了石英陶瓷刻蚀加工实验。采用台阶测试仪以及扫描电镜(SEM)，观测加工样品的刻蚀深度、粗糙度以及刻蚀底面的微观形貌等。实验结果表明，紫外激光依靠光化学作用去蚀材料，可以无接触的刻蚀出设定的准叁维立体结构，并且可以精确控制刻蚀尺寸与深度。红外光纤激光由于靠光热作用去蚀材料，对刻蚀区域的热影响较大，刻蚀质量相对较差。为了进一步降低石英陶瓷刻蚀粗糙度，进行了二氧化碳激光对石英陶瓷刻蚀表面进行抛光技术的研究，探讨了激光抛光参数（速度、离焦量等）对石英陶瓷刻蚀表面抛光效果的影响规律与作用机理。结果表明，激光扫描抛光速度等参数对抛光效果有较大影响，采用合适的二氧化碳激光抛光参数，可将激光刻蚀面的粗糙度降低到1m左右。最后，采用紫外激光器，分别在空气与水中进行了氧化铝陶瓷的激光刻蚀实验。结果表明，水的冷却作用与水下激光刻蚀过程中产生的空泡有效的避免了陶瓷相变与变质层的形成，既提高了刻蚀质量，也增加了刻蚀深度。(本文来源于《华中科技大学》期刊2014-01-01）
张蓉,傅星[3]（2010）在《适合于纳秒激光微加工的压电陶瓷微位移平台》一文中研究指出针对纳秒激光微加工的具体要求,设计了一种压电陶瓷的微位移工作台控制系统,它是由压电陶瓷、柔性铰链机构和DSP控制系统组成.基于TMS320VC33的DSP作为控制中心,主要用于对采集到的位移信号进行处理,通过PID算法控制微动平台的移动距离.将该微位移平台安装在纳秒激光微加工机上,与原系统配合进行加工,可以有效改善微结构加工的效果.(本文来源于《机械与电子》期刊2010年05期）
薛严冰[4]（2009）在《陶瓷微加工钯掺杂一氧化碳气体传感器的研究》一文中研究指出针对目前商用陶瓷气体传感器功耗大、封装难的缺点,提出一种陶瓷微加工微热板式气体传感器的结构和无内引线封装的方式。用有限元方法对陶瓷微热板的热特性进行模拟,为器件结构的优化提供理论指导。建立了陶瓷微热板的稳态传热模型,并将模型计算结果同有限元模拟结果比对。在对湿法腐蚀微加工陶瓷材料工艺方法探索的基础上,确定了准分子激光微加工的技术路线,用该方法制作了不同结构参数的陶瓷微热板器件。测试结果表明,当板上平均温度为300℃时,所需最小加热功率为200 mW,425mW加热功率可使热板平均温度达到600℃。在600℃工作温度下,Pt微加热器具有良好的阻值稳定性和抗热冲击能力。陶瓷微热板可用于低功耗、高温气体传感器中。以CO气体为检测对象,研制恒电压加热方式下低功耗陶瓷气体传感器。提出陶瓷微热板应用于气体传感器时,气敏膜可同加热器做在同一面的方法。建立了等效电路模型,理论分析了该方法的可行性,根据分析结果提出加热电源可兼做测试电路电源的测试方法。用直接沉淀法,氨水回溶成胶法,柠檬酸回溶成胶法叁种方法制备了SnO_2纳米粉体。以粉体粒径为指标,确定氨水回溶成胶法为最佳制备方法。在此基础上,制备了Pd原子掺杂浓度比分别为0.2%、2%、10%的叁种掺杂粉体。制作了不同Pd掺杂浓度的CO厚膜陶瓷微热板气体传感器,并对敏感膜形貌进行了表征。在自行搭建的气体测试平台上对四种敏感材料气体传感器进行了气敏特性测试,从灵敏度、选择性、稳定性、响应时间、环境温湿度影响等几个方面,研究不同浓度Pd掺杂对CO气体传感器的影响。由实验测试结果综合评价,0.2%Pd掺杂为CO检测的最佳掺杂浓度。在最佳工作温度200℃时,0.2%Pd掺杂器件对CO气敏性能良好,加热功率仅为130 mW,有望成为一种实用的恒电压加热方式CO气体传感器。结合实验结果,采用密度泛函理论计算的方法,研究SnO_2基CO气体传感器的敏感机理。建立了化学计量型和缺氧型两种SnO_2(110)表面模型,计算其表面结构及电特性。选用气体传感器中几种常见的添加金属Pt、Pd、Cu、Ag,研究其对CO吸附反应的催化特性,为选择Pd作为CO气体传感器的掺杂剂提供理论依据。建立CO分子在SnO_2(110)面的吸附模型,通过比较CO在未掺杂和Pd掺杂SnO_2(110)表面吸附特性的不同,研究Pd掺杂改变CO气敏特性的机理。(本文来源于《大连理工大学》期刊2009-09-01）
施云波,郭建英,张洪泉,时强[5]（2008）在《激光微加工纳米孔Al_2O_3陶瓷膜的方法及分析》一文中研究指出针对超薄型Al_2O_3易碎加工难的问题,提出激光微加工的方法。阐述了激光微加工的原理,通过声光调节激光器的品质因子Q值获取激光巨脉冲。论述了纳米孔Al_2O_3膜的电化学定向生长及其微加工过程,扫描电镜揭示了纳米孔Al_2O_3膜易碎易断的内在原因,加工区域略有灼烧现象。分析了激光输出脉冲频率和电流对陶瓷膜的刻槽深度和宽度的关系,影响区最小时,调Q频率在9 kHz左右,电流应控制在10～20A。(本文来源于《稀有金属材料与工程》期刊2008年S1期）
沈艺程,续振林,辜志俊,姚元根[6]（2007）在《激光微加工对陶瓷表面化学镀铜的影响研究》一文中研究指出采用扫描电镜(SEM)、X射线光电子谱(XPS)、X射线衍射能谱仪(XRD)等手段比较激光微加工处理前后陶瓷表面形貌发生的变化,探讨了激光微处理在陶瓷表面无敏化活化化学镀铜工艺中的作用。结果表明,陶瓷基底经激光处理后,其表面成分并未发生改变,但其表面活性增强,从而促进了化学镀铜反应的进行。(本文来源于《材料保护》期刊2007年04期）
王俊,郭育华,朱学林,刘刚,田扬超[7]（2005）在《陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究》一文中研究指出研究了一种制作微陶瓷器件的快捷、方便、低成本的方法。利用同步辐射曝光、深紫外曝光或者注塑的方法,制作出带有微结构的模具,加入经过处理的陶瓷粉,通过模压后,脱去基片,在1500℃烧结成形,可以得到精度在几十微米的微结构。利用该工艺制作了微陶瓷反应器。(本文来源于《中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）》期刊2005-08-01）
陶瓷微加工论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
工程陶瓷在国防工业、航空航天、电子信息以及日常生活中的应用越来越广泛。传统的机械加工方法很难对常见的工程陶瓷如石英陶瓷、氧化铝陶瓷等进行精密加工。近年来激光微加工技术凭借其无接触、可加工微小复杂结构、加工质量好等特点，越来越受到材料微加工领域的重视。基于此，本论文利用课题组的激光微加工设备进行了石英陶瓷、氧化铝陶瓷等的激光刻蚀技术研究。首先，采用紫外激光器和光纤激光器进行了石英陶瓷刻蚀加工实验。采用台阶测试仪以及扫描电镜(SEM)，观测加工样品的刻蚀深度、粗糙度以及刻蚀底面的微观形貌等。实验结果表明，紫外激光依靠光化学作用去蚀材料，可以无接触的刻蚀出设定的准叁维立体结构，并且可以精确控制刻蚀尺寸与深度。红外光纤激光由于靠光热作用去蚀材料，对刻蚀区域的热影响较大，刻蚀质量相对较差。为了进一步降低石英陶瓷刻蚀粗糙度，进行了二氧化碳激光对石英陶瓷刻蚀表面进行抛光技术的研究，探讨了激光抛光参数（速度、离焦量等）对石英陶瓷刻蚀表面抛光效果的影响规律与作用机理。结果表明，激光扫描抛光速度等参数对抛光效果有较大影响，采用合适的二氧化碳激光抛光参数，可将激光刻蚀面的粗糙度降低到1m左右。最后，采用紫外激光器，分别在空气与水中进行了氧化铝陶瓷的激光刻蚀实验。结果表明，水的冷却作用与水下激光刻蚀过程中产生的空泡有效的避免了陶瓷相变与变质层的形成，既提高了刻蚀质量，也增加了刻蚀深度。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
陶瓷微加工论文参考文献
[1].何立文.准分子激光微加工Al_2O_3陶瓷和硅晶片的实验研究[D].合肥工业大学.2018
[2].孔令瑞.陶瓷材料的激光微加工技术研究[D].华中科技大学.2014
[3].张蓉,傅星.适合于纳秒激光微加工的压电陶瓷微位移平台[J].机械与电子.2010
[4].薛严冰.陶瓷微加工钯掺杂一氧化碳气体传感器的研究[D].大连理工大学.2009
[5].施云波,郭建英,张洪泉,时强.激光微加工纳米孔Al_2O_3陶瓷膜的方法及分析[J].稀有金属材料与工程.2008
[6].沈艺程,续振林,辜志俊,姚元根.激光微加工对陶瓷表面化学镀铜的影响研究[J].材料保护.2007
[7].王俊,郭育华,朱学林,刘刚,田扬超.陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究[C].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005