导读:本文包含了微小凹坑论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:电解转印,阴极制备工艺,微小凹坑阵列,电镀
微小凹坑论文文献综述
彭程[1]（2016）在《微小凹坑阵列的电解转印加工试验研究》一文中研究指出研究表明,具有微纳米尺度微观织构的表面在表面能、光学特性、仿生特性、机械特性、流体动力学性能及摩擦磨损性能等方面与光滑表面表现出截然不同的特点,所以在工业领域内有着非常广泛的应用。目前,微纳织构的加工技术主要有激光加工、磨料气射流加工、电火花加工、电解加工、聚焦离子束加工、微细铣削等。本文主要研究了基于电解转印的微小凹坑阵列加工方法,实现了平面及回转体表面的微坑阵列加工。主要完成以下内容:(1)研究了干膜掩膜的平面电解转印加工工艺,设计了专用的电解加工夹具。通过掩膜孔电镀铜的方式,解决了加工中干膜易脱落的问题。(2)对电解转印阴极的制备工艺进行了探索。在经过不断改进之后,找到了用环氧树脂掩膜层代替干膜掩膜层的阴极制备工艺,并运用此阴极进行了电解转印平面加工试验。通过单因素对比试验,研究了加工间隙、加工电压、加工时间、脉冲频率、占空比等参数对微坑形貌的影响。(3)进行了回转体表面电解转印加工试验,在圆柱表面加工出微小凹坑阵列。(本文来源于《南京航空航天大学》期刊2016-03-01）
蔡伟伟[2]（2015）在《基于干膜掩模的电解加工微小凹坑阵列试验研究》一文中研究指出物体表面具有一定的表面织构会对其摩擦特性产生明显影响,作为表面织构的一种,微坑阵列结构常被应用于活塞缸套等物体表面,起到储油减磨的效果。加工微坑阵列的方法有多种,其中掩模电解加工由于加工效率高,工具电极无损耗,加工表面质量好,无残余变形等优点,在加工微坑阵列方面有独特的优势。本文提出使用干膜制备掩模并进行基于干膜掩模的电解加工微坑阵列试验研究,主要完成的工作如下:(1)开展了基于干膜的掩模制备试验研究,提出一种新的掩模制备的光刻工艺方法,并研究了曝光时间、显影时间等对其结果的影响,优选了参数。为后续掩模电解加工试验奠定了良好的基础。(2)构建了干膜掩模电解加工微坑阵列试验系统,主要包括:机床本体、电解液循环系统、电源系统、夹具等。提出使用侧冲的冲液方式进行掩模电解加工,设计侧冲夹具并优化,以确保掩模与工件的紧密贴合。(3)开展了干膜掩模电解加工微坑阵列试验研究,研究各个工艺参数,如加工间隙、电解液压力、干膜掩模孔径、加工电压、加工时间等对微坑阵列的加工影响;通过采用优选后的加工参数,并设计相应的夹具,成功在圆柱体外表面加工出均匀的微坑阵列;使用不同的掩模板制备具有异形镂空图案的干膜掩模,进行基于干膜掩模的电解加工,成功在工件表面加工出具有“人”字形图案的异形凹坑阵列。(本文来源于《南京航空航天大学》期刊2015-03-01）
何长运,黄志刚,郭钟宁,黄诗彬,胡亮[3]（2013）在《微小凹坑电解加工过程的仿真研究》一文中研究指出利用阳极掩膜电解加工技术可以加工出表面微小凹坑阵列。微细电解中凹坑的尺寸受多方面因素影响其成型参数难以把握。采用ANSYS软件进行电解加工电场仿真,可以获得不同时刻下凹坑的直径,深度参数,为制备特定参数凹坑提供理论指导。(本文来源于《第15届全国特种加工学术会议论文集（下）》期刊2013-10-25）
琚金星[4]（2013）在《阳极掩膜微细电解加工微小群凹坑试验研究》一文中研究指出零件表面功能性的微小群凹坑结构能储存摩擦副之间的润滑油从而起到抗磨减阻、提高零件使用寿命的作用,从而能减小能源消耗,具有很大的应用前景。掩膜微细电解技术由于不受工件力学性能的限制,不产生加工应力、变形和毛刺,且阴极工具无损耗,掩膜开孔率高,所以应用于微小群凹坑结构的加工中具有较大优势。对掩膜微细电解加工工艺进行了研究。采用光致抗蚀干膜代替传统光刻胶并确定了HT200干膜的制备参数；对侧冲和正冲两种冲液方式进行对比试验,证明电解液正冲能得到更均匀的流场,以及掩膜与工件之间更佳的贴合效果；对加工圆形凹坑时的电场进行了有限元建模与分析,从电场角度解释了加工中出现的“微凸起”现象。研究了加工圆形凹坑时电流密度和加工时间对圆形凹坑叁维形貌和尺寸均匀性的影响,分析了加工过程中极间电压的变化规律,优选直径为250μm的掩膜孔、电流密度8A/cm2、加工时间50s,获得了平均直径319.3μm、深75.2μm、群凹坑直径标准差25.7μm的15×15圆形凹坑阵列。将掩膜微细电解加工技术应用于异形凹坑加工时,存在圆角难以去除的问题。采用掩膜图形补偿、脉冲加工等手段可减小方形凹坑的圆角半径,提高成形精度。设计了3种掩膜补偿图形,其中较优的掩膜形式,在电流密度为4A/cm2时可加工出圆角半径仅为56.34μm的方形凹坑；脉冲电流比直流加工具有更佳的成形精度,采用加工电压U=7V、脉冲频率f=50kHz、占空比q=30%、电解液浓度c=10%等较优的脉冲加工参数,可加工出边长449.7μm,深度58.96μm,圆角半径38.10μm的方形凹坑。掩膜微细脉冲电解加工微方形凸台和刻字的试验表明,加工电压U=8V、脉冲频率f=40kHz、占空比q=50%、电解液浓度c=10%、加工时间t=5min且掩膜适当补偿时,可加工出边长973.6μm,圆角半径47.2μm,高38.6μm微型方形凸台,还可电解刻蚀获得字体特征明显、笔画清晰的复杂凹形汉字,汉字的最小尺寸可达1.33mm×1.17mm。(本文来源于《大连理工大学》期刊2013-05-01）
何海华[5]（2012）在《微小凹坑阵列电液束加工技术研究》一文中研究指出本课题拟采用电液束加工方法实现凹坑阵列的加工。本课题拟采用照相电解加工工艺,制作出符合尺寸要求的平板阴极。其次将平板阴极和工件装夹在电解加工机床上,调整好加工间隙;最后利用电解液循环系统,调整电解液压力、电参数和加工时间,接通电源进行凹坑阵列的电液束加工。(本文来源于《职业技术》期刊2012年08期）
宫超林[6]（2012）在《圆柱内表面电解加工微小凹坑阵列技术研究》一文中研究指出研究表明，在摩擦副表面加工出合理的表面织构能够显着改善摩擦副的摩擦性能，起到抗磨损减摩擦的效果。微坑阵列作为一种有效的表面织构已经在工程中得到广泛的应用，比如在发动机活塞/活塞环和缸套上加工出微坑阵列能够显着降低摩擦损失，提高能源利用率。本文研究了数十微米到数百微米微坑阵列结构的掩膜电解加工技术，主要完成以下内容：（1）研究了活动模板电解加工圆柱内表面微坑阵列技术，研制了专用的电解加工夹具，试验研究了冲液压力、电流密度对微坑形貌的影响。采用正交试验，研究了加工电压、加工时间、占空比对微坑定域性和深径比影响，优化出工艺试验参数，在气缸套内表面加工了平均直径220μm，平均深度15μm的微坑阵列。（2）提出干膜辅助电解加工微坑阵列技术，研究了曝光、显影工艺对干膜上通孔阵列的影响，并进行电解加工基础工艺试验，研究了加工间距、加工电压和加工时间对微坑形貌的影响，结果表明该方法可以加工出直径介于40μm~200μm之间的微坑阵列。(本文来源于《南京航空航天大学》期刊2012-03-01）
杨培剑,曲宁松,刘壮,李寒松,宋曼[7]（2010）在《毛细管电极电液束加工微小凹坑试验研究》一文中研究指出降低发动机的机械损失一直是研究热点。在摩擦副表面加工微坑,作为改善摩擦副表面摩擦学特性,提高润滑耐磨性能的方法已引起了研究者的重视。笔者提出了采用非金属毛细管作为管电极进行电液束加工微小凹坑的工艺方法。对加工过程的电流密度分布进行了有限元分析,并试验研究了电压、电解液浓度、加工时间、加工间隙和电解液压力对凹坑直径和深度的影响,对加工参数进行了优化选择,得到了形状规则、直径80μm,深度25μm左右的微小凹坑。并进行摩擦性能试验,结果表明采用该工艺在摩擦副表面加工微坑阵列可有效提高其耐磨性。(本文来源于《机械科学与技术》期刊2010年10期）
宋曼[8]（2010）在《活动模板电解加工微小凹坑阵列研究》一文中研究指出汽车发动机活塞、活塞环存在表面织构形貌可存储润滑油,改善摩擦副表面的润滑特性,减少磨损,提高能源的利用率。利用电解加工(Electrochemical Machining, ECM)方法在摩擦副表面制作出半球形微小凹坑形貌成为各国研究的热点。电解加工是利用阳极在电解液中可以发生阳极溶解的原理,将零件加工成形的一种制造技术。由于电解加工中,阴极和工件是非接触进行加工的,无应力变形,另外材料的减少过程以离子的形式进行,因此这种微溶解去除方式使得电解加工技术在微细制造领域有着很大的发展潜力。研究阵列微坑结构的微细电解加工技术,具有重要的现实意义。本文研究了半球形微小凹坑的加工方法,主要的工作如下:(1)介绍了曲面摩擦副表面阴极掩模电解加工微小凹坑试验方法,对试验过程进行了ANSYS电场分析,结果表明,利用此方法可以实现。(2)对以上方法进行了工艺研究,设计了电解加工活塞片段表面微坑的夹具,分析了阴极掩模板厚度以及加工电压对微坑形貌的影响。(3)设计了在活塞侧圆周的表面一次电解加工出一定范围的微坑阵列的夹具并进行了试验研究。(4)介绍了电解转印加工微坑阵列试验研究方法,对加工中阴阳极之间封闭区域建立数学模型,进行了ANSYS电场分析。(5)建立了电解转印加工微小凹坑阵列试验系统,分析了不同加工参数:阴极胶厚,加工间隙和电流密度对微坑形貌的影响。(本文来源于《南京航空航天大学》期刊2010-03-01）
杨培剑[9]（2010）在《电液束加工微小凹坑阵列技术研究》一文中研究指出摩擦副的表面形貌与其摩擦磨损性能密切相关,研究表明,在摩擦副表面加工出微小凹坑阵列结构对于改善其润滑状况,减少摩擦磨损起着非常重要的作用。在所有的表面微坑加工方法中,电解加工因具备生产率较高,成本低,无机械切削力等优点,而备受关注。电液束加工是电解加工中的一种。它是将电解液压入导电的密封头内,经小孔高速射向被加工工件待加工部位,在工件阳极与电极阴极之间加上高压直流电,根据阳极电化学溶解原理进行“切削”加工。由于电流密度分布受到电液束范围的限制,所以加工区域只发生在束流范围内。另外材料的减少过程是以离子形式进行,因此这种微溶解去除方式使得电液束加工在金属微细制造领域有着广泛的应用前景。本文进行了电液束加工微小凹坑阵列结构的研究,论文完成的主要工作如下:(1)通过有限元分析了毛细管电极电液束加工微小凹坑中工件表面被加工区域的电流密度的分布情况,结果表明,该方法适合半球形微小凹坑的加工。(2)搭建出毛细管电液束加工微小凹坑的加工系统,开展了毛细管电极电液束加工微小凹坑的试验,研究了加工电压、电解液浓度、电解液压力、加工时间和加工间隙对单个凹坑形状的影响,以及毛细管间距、电解液压力和加工间隙对凹坑阵列形状的影响。(3)研究采用玻璃毛细管电极静液加工微小凹坑的基本原理,进行电场分析,开展了玻璃毛细管电极静液加工微小凹坑试验,分析各加工参数,包括加工电压,加工时间和电解液浓度对凹坑形状的影响。(4)通过优化加工参数,获得了直径30μm左右,深度10μm左右的凹坑。(本文来源于《南京航空航天大学》期刊2010-03-01）
曲宁松,钱双庆,朱荻[10]（2009）在《电解转印加工平面摩擦副表面微小凹坑阵列的研究》一文中研究指出提出电解转印法加工微小凹坑阵列,建立电解转印微小凹坑阵列的数学模型,分析了阳极表面的电场分布情况,建立电解转印微小凹坑阵列的试验系统,并进行试验,加工出尺寸一致的阵列微坑。(本文来源于《第13届全国特种加工学术会议论文集》期刊2009-10-24）
微小凹坑论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
物体表面具有一定的表面织构会对其摩擦特性产生明显影响,作为表面织构的一种,微坑阵列结构常被应用于活塞缸套等物体表面,起到储油减磨的效果。加工微坑阵列的方法有多种,其中掩模电解加工由于加工效率高,工具电极无损耗,加工表面质量好,无残余变形等优点,在加工微坑阵列方面有独特的优势。本文提出使用干膜制备掩模并进行基于干膜掩模的电解加工微坑阵列试验研究,主要完成的工作如下:(1)开展了基于干膜的掩模制备试验研究,提出一种新的掩模制备的光刻工艺方法,并研究了曝光时间、显影时间等对其结果的影响,优选了参数。为后续掩模电解加工试验奠定了良好的基础。(2)构建了干膜掩模电解加工微坑阵列试验系统,主要包括:机床本体、电解液循环系统、电源系统、夹具等。提出使用侧冲的冲液方式进行掩模电解加工,设计侧冲夹具并优化,以确保掩模与工件的紧密贴合。(3)开展了干膜掩模电解加工微坑阵列试验研究,研究各个工艺参数,如加工间隙、电解液压力、干膜掩模孔径、加工电压、加工时间等对微坑阵列的加工影响;通过采用优选后的加工参数,并设计相应的夹具,成功在圆柱体外表面加工出均匀的微坑阵列;使用不同的掩模板制备具有异形镂空图案的干膜掩模,进行基于干膜掩模的电解加工,成功在工件表面加工出具有“人”字形图案的异形凹坑阵列。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微小凹坑论文参考文献
[1].彭程.微小凹坑阵列的电解转印加工试验研究[D].南京航空航天大学.2016
[2].蔡伟伟.基于干膜掩模的电解加工微小凹坑阵列试验研究[D].南京航空航天大学.2015
[3].何长运,黄志刚,郭钟宁,黄诗彬,胡亮.微小凹坑电解加工过程的仿真研究[C].第15届全国特种加工学术会议论文集（下）.2013
[4].琚金星.阳极掩膜微细电解加工微小群凹坑试验研究[D].大连理工大学.2013
[5].何海华.微小凹坑阵列电液束加工技术研究[J].职业技术.2012
[6].宫超林.圆柱内表面电解加工微小凹坑阵列技术研究[D].南京航空航天大学.2012
[7].杨培剑,曲宁松,刘壮,李寒松,宋曼.毛细管电极电液束加工微小凹坑试验研究[J].机械科学与技术.2010
[8].宋曼.活动模板电解加工微小凹坑阵列研究[D].南京航空航天大学.2010
[9].杨培剑.电液束加工微小凹坑阵列技术研究[D].南京航空航天大学.2010
[10].曲宁松,钱双庆,朱荻.电解转印加工平面摩擦副表面微小凹坑阵列的研究[C].第13届全国特种加工学术会议论文集.2009