胡文琦:一种凸非球面反射镜的检验方法论文

胡文琦:一种凸非球面反射镜的检验方法论文

本文主要研究内容

作者胡文琦,叶璐,张金平,郑列华(2019)在《一种凸非球面反射镜的检验方法》一文中研究指出:凸非球面的面形检测是光学检验中的一大难题,提出了一种利用半反半透凹面自准单透镜检验凸非球面反射镜的方法。单透镜由凸、凹两个球面构成,凹面为半反半透自准面,使经非球面反射的光线可沿原路返回,从而实现补偿检验。该方法具有结构简单、检测能力强、无中心遮拦等优点。基于三级像差理论推导了检验系统的初始结构计算公式,给出了不同凸非球面反射镜检验系统的关键参数关系曲线。以r03=2000 mm、e2=-2.4的凸非球面反射镜为例,求解相应初始结构参数,利用Zemax软件优化得到了系统残余波像差小于0.05λ。设计和仿真结果表明所提出的半反半透凹面自准单透镜的检验方法有利于检验各类凸非球面反射镜。

Abstract

tu fei qiu mian de mian xing jian ce shi guang xue jian yan zhong de yi da nan ti ,di chu le yi chong li yong ban fan ban tou ao mian zi zhun chan tou jing jian yan tu fei qiu mian fan she jing de fang fa 。chan tou jing you tu 、ao liang ge qiu mian gou cheng ,ao mian wei ban fan ban tou zi zhun mian ,shi jing fei qiu mian fan she de guang xian ke yan yuan lu fan hui ,cong er shi xian bu chang jian yan 。gai fang fa ju you jie gou jian chan 、jian ce neng li jiang 、mo zhong xin zhe lan deng you dian 。ji yu san ji xiang cha li lun tui dao le jian yan ji tong de chu shi jie gou ji suan gong shi ,gei chu le bu tong tu fei qiu mian fan she jing jian yan ji tong de guan jian can shu guan ji qu xian 。yi r03=2000 mm、e2=-2.4de tu fei qiu mian fan she jing wei li ,qiu jie xiang ying chu shi jie gou can shu ,li yong Zemaxruan jian you hua de dao le ji tong can yu bo xiang cha xiao yu 0.05λ。she ji he fang zhen jie guo biao ming suo di chu de ban fan ban tou ao mian zi zhun chan tou jing de jian yan fang fa you li yu jian yan ge lei tu fei qiu mian fan she jing 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自量子电子学报的胡文琦,叶璐,张金平,郑列华,发表于刊物量子电子学报2019年03期论文,是一篇关于几何光学论文,凸非球面反射镜检测论文,半反半透透镜论文,三级像差理论论文,光学系统设计论文,量子电子学报2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自量子电子学报2019年03期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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