导读:本文包含了金属微电极论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:UV-LIGAKMPR,微细阵列电极,电铸液,过电铸
金属微电极论文文献综述
杨昕,张斌珍,吕晓静,王万军[1]（2017）在《基于Over-plating成型的金属微电极阵列制备技术》一文中研究指出为了解决MEMS工艺制备金属微电极阵列时,电极与基底结合力小,易脱落等问题,提出了基于Over-plating成型的过电铸法金属微电极阵列制备技术。在常温下,选择190 g/m L的CuSO_4·5H_2O、60 g/L的H_2SO_4、70 mg/L的氯离子以及适量的添加剂配置成的电铸液,并采用酸性镀铜工艺,设置电流密度1.5 A/dm~2,过电铸20 h,经抛光处理后,分别得到了高度200μm、900μm,线宽200μm,中心距300μm的柱金属微电极阵列。所制备的金属微电极阵列,在相邻区域金属沉积过程中相互影响形成了较深的孔缝,这些微孔极大地增加了叁维微电极的表面积。可见,过电铸工艺是一种便捷、快速、低成本的微电极制备工艺。(本文来源于《仪表技术与传感器》期刊2017年12期）
崔振邦[2]（2015）在《压粉法制备金属氧化物pH微电极》一文中研究指出随着海洋工程的发展,大量的金属材料被用于海洋工程。海洋环境具有高盐、高Cl-含量等特点,在其中的金属材料极易发生腐蚀。金属材料发生腐蚀尤其是局部腐蚀时,其韧性、机械强度会发生改变,引发安全生产事故,造成人员财产损失。金属材料发生局部腐蚀时其表面微区的H+分布会发生变化,因此通过监测金属表面微区H+的分布可以实现对金属材料局部腐蚀的监测。pH电极是监测pH值最简便的方法。在海洋环境中监测金属表面微区pH的变化,电极需满足耐磨、易微型化等要求。最常用的玻璃电极因机械强度低、难于微型化等缺点不能适用于此环境pH值的测量。金属氧化物pH电极作为-种全固态电极并且性能优良,能够适用金属表面微区环境pH值的测量。压粉法曾被用于制备银/氯化银电极,具有效率高、操作简便、可控性强等优点。本文利用压粉法制备氧化钨pH电极和Sb/Sb2O3固体pH电极,并对其性能进行评价。本文的主要研究工作和结果如下：本文利用压粉法成功制备了氧化钨pH电极和Sb/Sb2O3固体pH电极,通过电位法、极化曲线法、循环伏安法、断电流法对电极性能进行了评价并将制备的电极用于测试模拟溶液的pH值。氧化钨pH电极的最佳制备条件是控制压力6 MPa和保压时间5 min,该电极的响应时间约为100 s,适应的pH范围是1.0-7.0,具有良好的抗离子干扰能力和可逆性,与玻璃电极的误差接近0.1 pH。Sb/Sb2O3固体pH电极的制备条件是控制压力8 MPa和保压时间5 min,各项性能最佳的电极组分是Sb:Sb2O3:Graphite=2:2:1。该电极响应时间约为200s,适应的pH范围是1.0-5.0,具有良好的抗离子干扰能力和可逆性,与玻璃电极的误差接近0.05pH。以上两种氧化物pH电极均可利用压粉法制备。通过响应机理研究,两电极均受粘结剂石墨的影响,其响应斜率均小于理论斜率。氧化钨pH电极由于水化层的存在,其响应机理较为复杂。氧化钨pH电极的使用pH范围较Sb/Sb2O3固体pH电极宽,但从可逆性和抗离子干扰能力考察,Sb/Sb2O3固体pH电极的性能优良,且其测量误差较小。Sb/Sb2O3固体pH电极更适于溶液pH值的测量。(本文来源于《中国海洋大学》期刊2015-05-28）
林海,盛敏奇,钟庆东,周琼宇,王毅[3]（2010）在《阵列微电极研究Nd~(3+)对金属铜在3.5% NaCl溶液中腐蚀电化学行为的影响》一文中研究指出利用阵列微电极技术测量了金属铜的自腐蚀电位、阻抗及表面腐蚀产物膜层载流子密度,并结合扫描电子显微镜,研究了Nd3+对金属铜在3.5%(w)NaCl溶液中腐蚀电化学行为的影响.结果表明,加入Nd3+使得金属铜表面生成的腐蚀产物膜层的形貌及结构发生了变化,腐蚀产物膜层变薄,腐蚀产物由片状结构转变为粒状结构,颗粒均匀分散分布;Nd3+的存在使得金属铜表面各区域的电位方差由0.034下降为0.026,阻抗标准方差由32805下降为6940,电位及阻抗分布趋于均匀化,有利于抑制局部腐蚀的发生;并且加入Nd3+将造成金属铜表面绝大部分区域腐蚀产物膜层的半导体类型由n型转变为p型,表面腐蚀产物膜层载流子密度标准方差由1.89×1017上升为4.10×1017,载流子密度分布趋于不均匀.(本文来源于《化学学报》期刊2010年12期）
张宪彬[4]（2009）在《电极通电辅助热键合与多种金属微电极的单片集成》一文中研究指出集成金属薄膜微电极在聚合物微流控芯片热键合过程中容易产生断裂,为此提出了一种电极通电辅助热键合方法。在热键合过程中,对金属微电极进行通电,使其温度迅速升高,以提高其自身延展性,进而避免电极产生断裂。首先,对微电极的通电电流值与电极及其周围聚合物的温度之间的关系进行了理论计算与仿真;接着,结合实验研究,对芯片的电极通电辅助热键合工艺过程进行了优化,并得到了一个较优的通电电流值。然后,为了验证该方法的可行性,利用该键合方法制作了一种集成Cu电化学检测器的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片。微流控芯片上有时需要集成多种材料的金属微电极,以完成不同的功能。为此研究了一套新工艺,用于实现贵金属和普通金属电极在单片聚合物基底上的集成。首先,建立了一种聚合物基底上的Pt电极制作新工艺;接着,对Pt电极和普通金属电极加工工艺兼容性进行了分析和实验研究;然后,设计并制作了一片集成Pt电极和Cu电极的PMMA电极片。(本文来源于《大连理工大学》期刊2009-11-15）
许昆明,张丽平[5]（2009）在《适用于测量沉积物pH的金属氧化物微电极》一文中研究指出用改进的高温熔融碳酸盐法制备了铱和钨氧化物pH微电极,表征了金属氧化物电极的各项性能.所制备电极对pH有较好的线性响应,斜率在40~60 mV/pH,接近理想能斯特响应.实验表明,铱氧化物微电极在长时间工作稳定性方面优于钨氧化物微电极,90%响应时间为5 s.铱氧化物微电极受盐度和氧气浓度影响很小,且经Nafion修饰后不受沉积物间隙水中还原性S2-的影响.把铱氧化物微电极应用于测量厦门西海域和九龙江河口的沉积物pH垂直剖面,发现pH在沉积物有氧和无氧深度界面(4~5 mm)达到最小,20 mm以深趋于稳定,符合沉积物生物地球化学规律.(本文来源于《厦门大学学报(自然科学版)》期刊2009年04期）
曹毅,杨军,胡宁,杨静,夏斌[6]（2009）在《全金属微电极阵列细胞电融合芯片的研制》一文中研究指出研制了以硅为基底、金属铜(Cu)材料作为微电极的细胞电融合芯片。在500μm厚的硅基底上应用离子刻蚀技术,刻蚀出与所需得到的微电极相同形状的槽,然后高温下使硅片表层形成二氧化硅绝缘层,在刻蚀槽的底部形成种子层(Ta/Cu材料),通过电镀在槽中形成金属微电极,应用湿法刻蚀去除表层硅,得到纯金属微电极。铜金属微电极其导电率高,减小了电压衰减,使细胞电融合芯片中电场分布一致性好。该方法利用刻蚀的硅模具和电镀工艺解决了lift-off制造的金属微电极较薄的难题,分别采用热氧化和等离子增强化学气相淀积(PECVD)工艺制作的二氧化硅薄膜也增强了芯片抗腐蚀能力。在利用黄瓜叶肉细胞的细胞排队和融合实验中,实验效果比现有硅微阵列芯片要好。(本文来源于《传感技术学报》期刊2009年02期）
阴文辉[7]（2006）在《组合微电极和印刷电极的制作及其在痕量金属检测中的应用》一文中研究指出本文着重研究了组合微盘电极和印刷电极的制作、表征和应用。本论文共分四个部分,第一部分对组合微电极和印刷电极的性质和应用进行了概述,并对碳纳米管和普鲁士蓝的性质和应用进行了阐述。在论文的第二章,我们研究了一种铂盘组合微电极的制作方法,并研究了该电极的电化学性质。将该组合微电极用于茶叶中痕量铅的测定。测定方法使用同位镀汞沉积富集和方波阳极溶出伏安法。铅的线性范围为0.20μg/L～35.0μg/L,检测限为0.05μg/L。实验中所测市售叁种茶叶中的铅的含量均符合国标茶叶卫生要求标准。丝网印刷电极因其低廉的成本和简易的制作方法和较好的近年来得到迅速发展,在化学传感器方面应用较广。批量制作的印刷电极其性能相同,重现性好。在论文的第叁章,我们自制了即抛型印刷碳电极,对其进行活化和表征,并将无修饰印刷碳电极直接用于痕量汞的检测,得到了比较满意的结果。论文的第四章,在印刷电极表面修饰碳纳米管,得到碳纳米管修饰印刷电极(MWNTs-SPCE)。并对电极进行电化学性质表征,电极重现性好。在此基础上,用MWNT/SPCE循环伏安法电沉积普鲁士蓝制备了普鲁士蓝/碳纳米管修饰电极(MWNTs-PB/SPCE),用它来研究对H_2O_2的催化作用,并进行检测。结果表明该修饰电极对H_2O_2具有很好的催化作用,对H_2O_2的响应在较宽的范围内成良好线性关系。(本文来源于《福州大学》期刊2006-06-01）
黄岳山,岑人绍[8]（2000）在《金属表面自催化反应的微电极极化行为》一文中研究指出对金属表面自催化反应的微电极极化行为进行了分析，得出了影响自催化反应的两个主要因素是：表面吸氢浓度和金属离子吸附浓度；提出了促进自催化反应进行的方法(本文来源于《暨南大学学报(自然科学与医学版)》期刊2000年01期）
周泰生,张健,邵殿华,贾长平,姜淳[9]（1992）在《一种新型金属微电极的制备方法》一文中研究指出在利用微电极技术进行动物脑功能研究的急性和慢性实验中,常用环氧树酯绝缘漆作钨丝微电极的绝缘。此方法程序繁琐,电极绝缘性能较差,重复使用率低。我们结合自己的经验进行了绝缘的金属微电极探索,现扼要介绍在钨丝尖端紧包一薄层玻璃的微电极制备步骤。 1.准备直径为200～250μm、长10cm的挺直钨丝及长7cm、外径2mm、内径0.6mm的GG17厚壁玻璃毛细管。 2.把多根钨丝的一端排齐夹好,成排地浸入75％(本文来源于《中国应用生理学杂志》期刊1992年03期）
彭图治,杨忠萍,吕荣山[10]（1991）在《碳纤维微电极恒电位活化及测定金属离子的研究》一文中研究指出碳纤维微电极已被广泛应用于电化学研究和分析测定,该电极尺寸极小,在分析性能上与常规电极有显着不同,在不镀汞的情况下,用碳纤维电极直接测定金属离子几乎没有明显的伏安响应,本文提出用+2.5 V恒电位预先活化碳纤维电极,使测定灵敏度大为提高,在双电极体系和静止溶液中,采用溶出伏安法可测定10~(-9)级金属离子,以同样的方法清洗电极,测定结果重现性良好,由于分析过程中不使用汞,该电极的测定范围大大增加,特别是用于氧化还原电位较正的金属离子测试,根据循环伏安法、扫描电镜和电子能谱的研究,发现碳纤维表面状况在处理前后有很大变化,并与测定灵敏度密切相关。(本文来源于《高等学校化学学报》期刊1991年09期）
金属微电极论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
随着海洋工程的发展,大量的金属材料被用于海洋工程。海洋环境具有高盐、高Cl-含量等特点,在其中的金属材料极易发生腐蚀。金属材料发生腐蚀尤其是局部腐蚀时,其韧性、机械强度会发生改变,引发安全生产事故,造成人员财产损失。金属材料发生局部腐蚀时其表面微区的H+分布会发生变化,因此通过监测金属表面微区H+的分布可以实现对金属材料局部腐蚀的监测。pH电极是监测pH值最简便的方法。在海洋环境中监测金属表面微区pH的变化,电极需满足耐磨、易微型化等要求。最常用的玻璃电极因机械强度低、难于微型化等缺点不能适用于此环境pH值的测量。金属氧化物pH电极作为-种全固态电极并且性能优良,能够适用金属表面微区环境pH值的测量。压粉法曾被用于制备银/氯化银电极,具有效率高、操作简便、可控性强等优点。本文利用压粉法制备氧化钨pH电极和Sb/Sb2O3固体pH电极,并对其性能进行评价。本文的主要研究工作和结果如下：本文利用压粉法成功制备了氧化钨pH电极和Sb/Sb2O3固体pH电极,通过电位法、极化曲线法、循环伏安法、断电流法对电极性能进行了评价并将制备的电极用于测试模拟溶液的pH值。氧化钨pH电极的最佳制备条件是控制压力6 MPa和保压时间5 min,该电极的响应时间约为100 s,适应的pH范围是1.0-7.0,具有良好的抗离子干扰能力和可逆性,与玻璃电极的误差接近0.1 pH。Sb/Sb2O3固体pH电极的制备条件是控制压力8 MPa和保压时间5 min,各项性能最佳的电极组分是Sb:Sb2O3:Graphite=2:2:1。该电极响应时间约为200s,适应的pH范围是1.0-5.0,具有良好的抗离子干扰能力和可逆性,与玻璃电极的误差接近0.05pH。以上两种氧化物pH电极均可利用压粉法制备。通过响应机理研究,两电极均受粘结剂石墨的影响,其响应斜率均小于理论斜率。氧化钨pH电极由于水化层的存在,其响应机理较为复杂。氧化钨pH电极的使用pH范围较Sb/Sb2O3固体pH电极宽,但从可逆性和抗离子干扰能力考察,Sb/Sb2O3固体pH电极的性能优良,且其测量误差较小。Sb/Sb2O3固体pH电极更适于溶液pH值的测量。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
金属微电极论文参考文献
[1].杨昕,张斌珍,吕晓静,王万军.基于Over-plating成型的金属微电极阵列制备技术[J].仪表技术与传感器.2017
[2].崔振邦.压粉法制备金属氧化物pH微电极[D].中国海洋大学.2015
[3].林海,盛敏奇,钟庆东,周琼宇,王毅.阵列微电极研究Nd~(3+)对金属铜在3.5%NaCl溶液中腐蚀电化学行为的影响[J].化学学报.2010
[4].张宪彬.电极通电辅助热键合与多种金属微电极的单片集成[D].大连理工大学.2009
[5].许昆明,张丽平.适用于测量沉积物pH的金属氧化物微电极[J].厦门大学学报(自然科学版).2009
[6].曹毅,杨军,胡宁,杨静,夏斌.全金属微电极阵列细胞电融合芯片的研制[J].传感技术学报.2009
[7].阴文辉.组合微电极和印刷电极的制作及其在痕量金属检测中的应用[D].福州大学.2006
[8].黄岳山,岑人绍.金属表面自催化反应的微电极极化行为[J].暨南大学学报(自然科学与医学版).2000
[9].周泰生,张健,邵殿华,贾长平,姜淳.一种新型金属微电极的制备方法[J].中国应用生理学杂志.1992
[10].彭图治,杨忠萍,吕荣山.碳纤维微电极恒电位活化及测定金属离子的研究[J].高等学校化学学报.1991
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