导读:本文包含了非制冷微测辐射热计论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献,主要关键词:非晶硅锗薄膜,PECVD,电阻温度系数,电导率
非制冷微测辐射热计论文文献综述
陈哲权,何勇,方中,潘绪超,何源[1](2019)在《基于非制冷微测辐射热计的非晶硅锗薄膜电学特性研究》一文中研究指出采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD)制备了应用于微测辐射热计的非晶硅锗薄膜(a-Si_xGe_y),并研究了不同反应气体流量比GeH_4/SiH_4对薄膜电学性能参数(电阻温度系数TCR和电导率)的影响。研究结果表明,随着流量比GeH_4/SiH_4的增大,薄膜电阻温度系数降低,电导率则呈现上升趋势。所制备的薄膜表现出了高TCR值(约3.5%/K~(-1)),适中的电导率(1.47×10~(-3)(Ω·cm)~(-1))和优良的薄膜电阻均匀性(非均匀性<5%),在微测辐射热计热敏材料领域具有良好的应用前景。(本文来源于《激光与红外》期刊2019年03期)
朱瀚杰,蒋剑良,Ali,Imran[2](2018)在《金属微反射镜对非制冷氧化钒微测辐射热计的红外辐射吸收率影响分析与一种改进的微测辐射热计模型》一文中研究指出从光学角度出发,首先讨论了单层VOx微测辐射热计中探测单元衬底上的金属反射镜的厚度以及材料对微测辐射热计红外吸收率的影响,利用软件建立了微测辐射热计的红外辐射吸收率模型,得到了厚度不同的Al反射镜对微测辐射热计模型8~14?m红外波段吸收率的影响以及厚度为0.1?m的3种不同材质的金属反射镜对同一模型红外吸收率的影响。当厚度等其他参数相同时,使用Al、Copper和Gold用作金属反射镜的材料,单层VOx微测辐射热计模型在8~14?m波段的红外吸收率并没有明显区别。另外,我们改进了一种已有的VOx微测辐射热计结构并对比了改进前后模型8~14?m红外波段的吸收率,改进后的模型平均吸收率达到了94%大于改进前初始模型的90%左右。最后,我们讨论了真空谐振腔高度与微测辐射热计桥面材料厚度对工作波段吸收率峰值处波长的影响。(本文来源于《红外技术》期刊2018年04期)
吴铮,陆剑鸣,白丕绩,田萦[3](2011)在《俄罗斯非制冷微测辐射热计红外热成像系统的发展状况》一文中研究指出简单介绍了俄罗斯在非制冷微测辐射热计红外热成像系统领域的基本状况,"旋风"中央科学技术研究所完全能代表俄罗斯在该领域的发展水平,详细介绍了该研究所开发的多款非制冷微测辐射热计红外热成像系统,最后分析了俄罗斯在非制冷微测辐射热计红外热成像系统领域的发展特点。(本文来源于《红外技术》期刊2011年08期)
许路加,胡明,杨海波,杨孟琳,张洁[4](2010)在《非制冷微测辐射热计支撑层厚度比研究》一文中研究指出根据实验室设计的单层微测辐射热计所采用的Si3N4和SiO2双层膜复合支撑结构工艺,分别利用力学的等效截面方法和复合材料热导公式,从理论上推导了微桥桥腿正应力和热导的解析表达式.分析在其它因素不变的情况下,仅调整Si3N4和SiO2两者厚度比值(m)对微测辐射热计力学和热学性质的影响,并用ANSYS有限元仿真的方法验证了理论推导.(本文来源于《红外与毫米波学报》期刊2010年04期)
许路加[5](2010)在《非制冷红外微测辐射热计多孔硅绝热层热学与力学研究》一文中研究指出非制冷热成像探测器在世界范围内被广泛研究,其在军事和民用方面有很大的潜力和应用价值。目前微测辐射热计是研究和运用最广的一类非制冷红外探测器中。本人实验室基于绝热性、机械稳定性以及硅工艺兼容性的考虑提出了以多孔硅作为绝热层的新型微测辐射热计结构。本文的研究内容是对多孔硅绝热层的热学和力学性质进行理论建模研究,分析和解释孔洞存在方式、孔洞分布情况以及膜厚对于多孔硅绝热层力学和热学性能的影响。通过将建模结果与之前测得的实验数据进行对比,验证所建立理论模型的有效性。并使用ANSYS有限元仿真的方法进一步验证理论模型的正确性。本文所采用的建模方法是将多孔硅热导率和杨氏模量的影响机制更表观地归结到孔洞的存在和分布等结构因素上,把整个多孔硅视为由硅连续材料介质和孔洞连续介质通过串联和并联组合成的复合微机构,给予其热导率和杨氏模量一个更为易于理解和简化的等效解释,并且进一步把孔隙率对等效热导率和等效杨氏模量的影响分解为两个不同的部分,即纵向部分和横向部分,半定量的指出不同的孔洞结构和分布下,孔隙率与等效热导率和等效杨氏模量的关系。通过本文的理论和仿真分析,可以清楚的了解多孔硅绝热层热学和力学性质与多孔硅孔洞结构的关系,有针对性的完善和补充现有的理论。为实验室制备符合要求的多孔硅绝热层提供理论指导。对于完善和研究新的制备方法具有重要的实际意义。(本文来源于《天津大学》期刊2010-05-01)
周连军,邹鹏程,李京辉,李煜,李欣蓉[6](2010)在《非制冷微测辐射热计阵列单元结构模型应力有限元分析》一文中研究指出介绍了基于非制冷测辐射热计阵列红外成像系统的噪声等效温差(NETD)计算模型。由此设计了一种非制冷微测辐射热计阵列单元结构模型,并对此模型进行了有限元分析,继而对该模型进行了优化。(本文来源于《红外技术》期刊2010年02期)
马铁英,李铁,王跃林[7](2007)在《非制冷微测辐射热计的热学设计与分析》一文中研究指出电压灵敏度和热时间常数为表征微测辐射热计热性能的两个重要参数,热绝缘结构尺寸是决定性能参数的首要因素。首先采用解析法计算,并分析了这两个性能参数随结构尺寸改变的规律,确定一组能兼顾电压灵敏度及热时间常数的结构尺寸优化值,再利用有限元分析法对此优化结果加以模拟和验证,为下一步微测辐射热计的研制提供了可靠的理论依据。(本文来源于《红外与激光工程》期刊2007年06期)
甄志成,胡明,杨海波,吕宇强[8](2007)在《非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建》一文中研究指出根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸,进行了有限元建模与分析,寻找出在可接受的性能与成本之间折衷的设计方案,指出气体热导是影响探测单元热导的一个主要因素,并对其进行了理论分析,给出减小气体热导的方法及这些方法在双层及单层结构中应用的可行性。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2007年Z1期)
甄志成,胡明,杨海波,吕宇强[9](2007)在《非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建》一文中研究指出根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸,进行了有限元建模与分析,寻找出在可接受的性能与成本之间折衷的设计方案,指出气体热导是影响探测单元热导的一个主要因素,并对其进行了理论分析,给出减小气体热导的方法及这些方法在双层及单层结构中应用的可行性。(本文来源于《第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集》期刊2007-08-01)
孙恋君,张俊举,王世允,常本康,钱芸生[10](2007)在《非制冷微测辐射热计探测器工作温度特性研究》一文中研究指出根据非制冷红外热成像技术的基本原理,通过对α-Si微测辐射热计探测器响应性能及功耗特性的分析,得到了探测器噪声等效温差NETD、探测率及功耗与工作温度之间的关系.提出了在环境温度变化范围较大的情况下改善探测器低温环境工作性能的方法——采用多个工作温度点.并对探测器采用0℃和30℃双工作温度点工作进行了实验,实验结果表明,该方法切实有效,可以显着扩展非制冷微侧辐射热计探测器的环境温度适用范围.(本文来源于《红外与毫米波学报》期刊2007年03期)
非制冷微测辐射热计论文开题报告
(1)论文研究背景及目的
此处内容要求:
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例:
从光学角度出发,首先讨论了单层VOx微测辐射热计中探测单元衬底上的金属反射镜的厚度以及材料对微测辐射热计红外吸收率的影响,利用软件建立了微测辐射热计的红外辐射吸收率模型,得到了厚度不同的Al反射镜对微测辐射热计模型8~14?m红外波段吸收率的影响以及厚度为0.1?m的3种不同材质的金属反射镜对同一模型红外吸收率的影响。当厚度等其他参数相同时,使用Al、Copper和Gold用作金属反射镜的材料,单层VOx微测辐射热计模型在8~14?m波段的红外吸收率并没有明显区别。另外,我们改进了一种已有的VOx微测辐射热计结构并对比了改进前后模型8~14?m红外波段的吸收率,改进后的模型平均吸收率达到了94%大于改进前初始模型的90%左右。最后,我们讨论了真空谐振腔高度与微测辐射热计桥面材料厚度对工作波段吸收率峰值处波长的影响。
(2)本文研究方法
调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
非制冷微测辐射热计论文参考文献
[1].陈哲权,何勇,方中,潘绪超,何源.基于非制冷微测辐射热计的非晶硅锗薄膜电学特性研究[J].激光与红外.2019
[2].朱瀚杰,蒋剑良,Ali,Imran.金属微反射镜对非制冷氧化钒微测辐射热计的红外辐射吸收率影响分析与一种改进的微测辐射热计模型[J].红外技术.2018
[3].吴铮,陆剑鸣,白丕绩,田萦.俄罗斯非制冷微测辐射热计红外热成像系统的发展状况[J].红外技术.2011
[4].许路加,胡明,杨海波,杨孟琳,张洁.非制冷微测辐射热计支撑层厚度比研究[J].红外与毫米波学报.2010
[5].许路加.非制冷红外微测辐射热计多孔硅绝热层热学与力学研究[D].天津大学.2010
[6].周连军,邹鹏程,李京辉,李煜,李欣蓉.非制冷微测辐射热计阵列单元结构模型应力有限元分析[J].红外技术.2010
[7].马铁英,李铁,王跃林.非制冷微测辐射热计的热学设计与分析[J].红外与激光工程.2007
[8].甄志成,胡明,杨海波,吕宇强.非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建[J].微纳电子技术.2007
[9].甄志成,胡明,杨海波,吕宇强.非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建[C].第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集.2007
[10].孙恋君,张俊举,王世允,常本康,钱芸生.非制冷微测辐射热计探测器工作温度特性研究[J].红外与毫米波学报.2007