本文主要研究内容
作者邹建雄,林黎蔚,焦国华,鲁远甫,刘波,徐可为（2019）在《铜互连微结构中无籽晶RuMoC扩散阻挡层的稳定性（英文）》一文中研究指出：采用磁控共溅射Ru和MoC靶,通过调节掺入MoC的含量获得非晶态RuM oC薄膜,研究了非晶RuM oC薄膜的热稳定性。HRTEM和XRD结果表明,在500℃下RuM oC薄膜依旧保持非晶结构;XPS分析结果表明,在该温度下,Ru-C键依旧保持完好,是RuM oC薄膜良好热稳定的关键。此外,研究了非晶RuM oC薄膜在大马士革铜互连线微结构中的热稳定性。HRTEM结果表明,RuM oC薄膜表面可直接电镀铜,TEM原位EDS结果表明,非晶RuM oC薄膜在500℃下依旧成功阻挡了Cu原子扩散。
Abstract
cai yong ci kong gong jian she Ruhe MoCba ,tong guo diao jie can ru MoCde han liang huo de fei jing tai RuM oCbao mo ,yan jiu le fei jing RuM oCbao mo de re wen ding xing 。HRTEMhe XRDjie guo biao ming ,zai 500℃xia RuM oCbao mo yi jiu bao chi fei jing jie gou ;XPSfen xi jie guo biao ming ,zai gai wen du xia ,Ru-Cjian yi jiu bao chi wan hao ,shi RuM oCbao mo liang hao re wen ding de guan jian 。ci wai ,yan jiu le fei jing RuM oCbao mo zai da ma shi ge tong hu lian xian wei jie gou zhong de re wen ding xing 。HRTEMjie guo biao ming ,RuM oCbao mo biao mian ke zhi jie dian du tong ,TEMyuan wei EDSjie guo biao ming ,fei jing RuM oCbao mo zai 500℃xia yi jiu cheng gong zu dang le Cuyuan zi kuo san 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自稀有金属材料与工程的邹建雄,林黎蔚,焦国华,鲁远甫,刘波,徐可为，发表于刊物稀有金属材料与工程2019年06期论文，是一篇关于热稳定性论文,大马士革结构论文,非晶薄膜论文,无籽晶阻挡层论文,稀有金属材料与工程2019年06期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自稀有金属材料与工程2019年06期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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