导读:本文包含了圆移动论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:半导体厂,光刻胶,晶圆移动量(Move),DPML
圆移动论文文献综述
胡秀梅[1]（2014）在《一种根据晶圆移动量精确预测光刻胶日用量的方法》一文中研究指出在半导体代工厂根据光刻胶的有效期非常短的特征,制定了一种根据晶圆移动量精确预测光刻胶日用量的方法.该文在分析传统的计算方法的特点上,进行了根据各项目的DPML的设置来对Fab里晶圆移动量来进行每日预测方法的研究,同时进一步阐述了根据每个光刻层所需要的光刻胶的量预测出每日光刻胶的实际用量的方法,并提出了误差的修正措施.有效地减少了光刻胶在库呆滞的时间,减少了浪费.(本文来源于《中国新技术新产品》期刊2014年09期）
邝锦焕[2]（2009）在《晶圆移动机器人的轨迹规划与优化设计》一文中研究指出晶圆移动机器人具有叁个平面旋转轴加上一个垂直方向的平移轴的结构。在工业生产中,晶圆移动机器人的末端执行机构通常是沿着一条固定的路径运动。为了提高晶圆移动机器人的效率和性能,本文提出了面向指定轨迹的机构优化设计方法。轨迹规划是对末端执行机构的位置,速度,加速度等一系列运动参数对时间的规划。通过轨迹规划使机器人运动更加快速,平稳,减少冲击和振动,从而提高机器人的稳定性,可靠性和工作效率。时间和能量是轨迹规划中常用的两个指标。时间是指机器人沿特定路径运动从开始到结束所花的时间,时间越少,效率越高。能量是指消耗的电能,是主要生产成本之一,所耗电能越少,成本越低。本论文以平面叁自由度晶圆移动机器人为研究对象,深入研究了基于动力学的晶圆移动机器人的时间最优与时间能量最优轨迹规划方法,并且在时间能量最优轨迹规划的基础上针对晶圆移动机器人机构进行优化设计研究。我们优化的对象是机器人每个机械臂的尺寸,包括长度,宽度与高度。优化的目的是为了找到每个臂的最优尺寸,使机器人沿指定路径运动所花费的时间和消耗的电能之和最小。我们的做法是把每个臂的要优化的尺寸设置成变量,以时间能量之和为目标函数,利用全局优化算法搜索出最优的机械臂尺寸。最后,我们利用搜索出来的结果仿真出最优的机械臂结构。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2009-06-01）
冯建飞[3]（2008）在《梦圆移动通信——一个移动人眼中的通信20年》一文中研究指出1987年11月18日第一个TACS模拟蜂窝移动电话系统在广东省建成并投入商用。2007年,中国移动启动TD-SCDMA试商用网公开招标,总金额近267亿,覆盖8城市。时光荏苒,移动通信走过了20年。移动通信行业飞速发展,其影响遍及社会的各个角落,给整个社会带来了思想、意识、观念的转变,开(本文来源于《江苏通信》期刊2008年S2期）
胡全基[4]（2008）在《我市举办纪念改革开放叁十周年交响音乐会》一文中研究指出本报讯( 胡全基)秋风送爽，中秋月更圆；华灯绽放，天涯共此时。为隆重纪念改革开放30周年，喜迎中秋佳节，9月12日，由市委宣传部，凉州区委、区政府，武威移动通信分公司联合举办了“和谐新武威、月圆移动情”交响音乐会。市委常委、武威军分区政委齐建新，市委(本文来源于《武威日报》期刊2008-09-16）
许丽萍[5]（2006）在《电信小灵通要圆“移动梦”？》一文中研究指出5月底，福建电信小灵通推出“灵动卡”，这意味着小灵通不光能打电话、发短信，而且能够获知新闻、股票、商务等信息。据了解，“灵动卡”是支持STK（容量在16K以上）功能的机卡分离型小灵通的SIM卡，即具备各种增(本文来源于《海峡财经导报》期刊2006-06-15）
[6]（2001）在《光盘网络共享 圆移动存储梦想——清华同方新一代光盘镜像服务器CDM3000》一文中研究指出应用对象 光盘镜像服务器为广大用户提供了一个理想的、最新的光盘信息共享解决方案，它是大中小学电子阅览室、图书馆、出版社、多媒体网络教室、各类培训中心、档案馆、 CAD/CAM中心、 ISP提供商、 ASP提供商等企事业单位、公司的最佳选择方案。(本文来源于《电脑知识与技术》期刊2001年14期）
圆移动论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
晶圆移动机器人具有叁个平面旋转轴加上一个垂直方向的平移轴的结构。在工业生产中,晶圆移动机器人的末端执行机构通常是沿着一条固定的路径运动。为了提高晶圆移动机器人的效率和性能,本文提出了面向指定轨迹的机构优化设计方法。轨迹规划是对末端执行机构的位置,速度,加速度等一系列运动参数对时间的规划。通过轨迹规划使机器人运动更加快速,平稳,减少冲击和振动,从而提高机器人的稳定性,可靠性和工作效率。时间和能量是轨迹规划中常用的两个指标。时间是指机器人沿特定路径运动从开始到结束所花的时间,时间越少,效率越高。能量是指消耗的电能,是主要生产成本之一,所耗电能越少,成本越低。本论文以平面叁自由度晶圆移动机器人为研究对象,深入研究了基于动力学的晶圆移动机器人的时间最优与时间能量最优轨迹规划方法,并且在时间能量最优轨迹规划的基础上针对晶圆移动机器人机构进行优化设计研究。我们优化的对象是机器人每个机械臂的尺寸,包括长度,宽度与高度。优化的目的是为了找到每个臂的最优尺寸,使机器人沿指定路径运动所花费的时间和消耗的电能之和最小。我们的做法是把每个臂的要优化的尺寸设置成变量,以时间能量之和为目标函数,利用全局优化算法搜索出最优的机械臂尺寸。最后,我们利用搜索出来的结果仿真出最优的机械臂结构。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
圆移动论文参考文献
[1].胡秀梅.一种根据晶圆移动量精确预测光刻胶日用量的方法[J].中国新技术新产品.2014
[2].邝锦焕.晶圆移动机器人的轨迹规划与优化设计[D].哈尔滨工业大学.2009
[3].冯建飞.梦圆移动通信——一个移动人眼中的通信20年[J].江苏通信.2008
[4].胡全基.我市举办纪念改革开放叁十周年交响音乐会[N].武威日报.2008
[5].许丽萍.电信小灵通要圆“移动梦”？[N].海峡财经导报.2006
[6]..光盘网络共享圆移动存储梦想——清华同方新一代光盘镜像服务器CDM3000[J].电脑知识与技术.2001
标签：半导体厂; 光刻胶; 晶圆移动量(Move); DPML;