导读:本文包含了平面磁芯螺旋微电感论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:微机电系统,微电感,电感量,品质因子
平面磁芯螺旋微电感论文文献综述
蒋伟伟[1]（2012）在《MEMS平面磁芯螺旋微电感的制造技术研究》一文中研究指出便携式产品的小型化促使其中的电源管理芯片如DC/DC变换器也向着微型化方向发展，同时为了提高电路性能如降低电感电流纹波、提高最大负载电流，提高整个系统转换效率等等使得在不降低芯片效率的同时需要提高开关频率、需要选用性能较好的微电感作为主要元器件。这就使得市场对研制高功率低损耗的微型化器件提出了迫切的需求。目前应用于DC/DC变换器的集成微电感需要满足如电感量和Q值相对较大、器件占用面积小、饱和电流大以及工艺兼容等要求。MEMS技术的迅速发展为研制高性能的集成电感提供了可靠可行性，将薄膜技术融入到MEMS技术中可以研制出具有低电阻、高电感量、高品质因子及可以批量化生产的集成微电感，满足于各种应用下的电源管理系统。本文完成的工作主要包括从电磁场理论出发，结合平面线圈电感计算、磁头理论的基本模型以及片上电感的简化π模型对微电感进行理论研究；采用电镀FeNi作为磁芯层，采用MEMS技术包括光刻、电镀、溅射、刻蚀及聚酰亚胺相关工艺等研制出所设计的不同参数的微电感器件；最后采用HP4194A阻抗/材料分析仪进行性能测试及分析。研究结果表明采用电镀FeNi磁芯，线圈匝数为22，宽度和间距为30μm的微电感，其电感量随着频率升高而下降，在低频部分，1MHz下其电感量约为1.1μH，在高频部分，20MHZ下，其电感量衰减为600nH左右，其Q值随着频率升高而上升，呈上升趋势，低频部分，1MHz下，Q值约为1左右，高频部分，20MHz下，Q值上升为2.2左右。研究表明，制备的微电感具有面积小，电感量大，Q值高，高频性能好等良好的性能。另外通过不同线圈匝数和线宽的比较，得出在15~20之间的平面螺旋微电感在1-20MHz下具有相对较大的电感量和Q值的结论。(本文来源于《上海交通大学》期刊2012-02-01）
冯书谊,周勇,周志敏,向毅[2]（2009）在《平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究》一文中研究指出采用MEMS技术(包括光刻、电镀、反应离子刻蚀和机械抛光等)研制了平面磁芯螺旋结构微电感,磁芯材料为铁基纳米晶带材。其中线圈匝数为18匝,线圈导体的宽度和间隙均为30μm,厚度为20μm;电感的尺寸为3mm×3mm。测试结果表明:在频率为1~10MHz时,电感量和品质因数分别为3.2~1.2μH和2.3~1.1;在1MHz下,电感量和品质因数分别为3.2μH和2.3,可应用于微型化DC/DC变换器。(本文来源于《电子元件与材料》期刊2009年02期）
冯书谊[3]（2009）在《MEMS平面磁芯螺旋微电感的制造技术研究》一文中研究指出便携式产品的小型化促使其中的电源管理芯片如DC/DC变换器向着微型化方向发展,同时为了提高电路性能如降低电感电流纹波、提高最大负载电流,提高整个系统转换效率等等使得在不降低芯片效率的同时需要提高开关频率、所以需要选用性能较好的微电感作为主要元器件。这使得市场对研制高功率、低损耗的微型化器件提出了迫切的需求。目前应用于DC/DC变换器的集成微电感需要满足如电感量和Q值相对较大、器件占用面积小、饱和电流大以及工艺兼容等要求。MEMS技术的迅速发展为研制高性能的集成电感提供了可行性,将薄膜技术融入到MEMS技术中可以研制出具有低电阻、高电感量、高品质因子及可以批量化生产的集成微电感,满足于各种应用下的电源管理系统。本文完成的工作主要包括采用Agilent E4991A射频阻抗/材料分析仪和振动样品磁强计(VSM)对磁芯材料性能进行测试研究;从电磁场理论出发,结合平面线圈电感计算、磁头理论的基本模型以及片上电感的简化π模型对微电感进行建模设计;采用MEMS技术包括光刻、电镀、溅射、刻蚀及聚酰亚胺相关工艺等研制出所设计的不同参数的微电感器件,最后采用HP4194A以及Agilent E4991A射频阻抗/材料分析仪对微电感器件进行了性能测试及分析。结果表明高温退火的FeCuNbSiB纳米晶薄带适合用作微电感的磁芯材料,同时匝数在10~20之间的电感在1-10MHz下具有较为合适的电感量和Q值。(本文来源于《上海交通大学》期刊2009-01-01）
平面磁芯螺旋微电感论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用MEMS技术(包括光刻、电镀、反应离子刻蚀和机械抛光等)研制了平面磁芯螺旋结构微电感,磁芯材料为铁基纳米晶带材。其中线圈匝数为18匝,线圈导体的宽度和间隙均为30μm,厚度为20μm;电感的尺寸为3mm×3mm。测试结果表明:在频率为1~10MHz时,电感量和品质因数分别为3.2~1.2μH和2.3~1.1;在1MHz下,电感量和品质因数分别为3.2μH和2.3,可应用于微型化DC/DC变换器。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
平面磁芯螺旋微电感论文参考文献
[1].蒋伟伟.MEMS平面磁芯螺旋微电感的制造技术研究[D].上海交通大学.2012
[2].冯书谊,周勇,周志敏,向毅.平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究[J].电子元件与材料.2009
[3].冯书谊.MEMS平面磁芯螺旋微电感的制造技术研究[D].上海交通大学.2009