导读:本文包含了真空规论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:MEMS,电容薄膜真空规,高灵敏度,宽测量范围
真空规论文文献综述
王呈祥,韩晓东,李得天,成永军,孙雯君[1]（2019）在《采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计》一文中研究指出感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元的方法分析对比5种环形结构的感压薄膜在不同压力下的变形与应力分布情况。分析认为,同心圆结构的感压薄膜具有最优异的性能,同等感测面积情况下真空规的压力-电容线性输出测量上限能从圆片结构的1.1×103 Pa延伸到同心圆结构的1.2×104 Pa,圆片结构感压薄膜的真空规在1～800 Pa区间内的压力-电容输出非线性度为3.9%,灵敏度为10.1 fF·Pa–1;同心圆结构感压薄膜的真空规结构在1～8 000 Pa区间内的非线性度为3.6%,灵敏度为1.3 fF·Pa–1。(本文来源于《中国测试》期刊2019年01期）
黄明,王厚银,余耀伟,左桂忠,孙震[2]（2018）在《EAST装置PKR251型真空规管的修复及标定技术研究》一文中研究指出EAST装置复杂的真空系统需要大量PKR251型真空规管实时测量,并获得准确的真空度数据,但是长时间运行后会出现测量结果不准的现象。PKR251型真空规管的修复和标定技术是通过对规管内部电极、极板等关键部件的去污(更换)、清洗和烘烤处理,修复计量不准或错误的真空规管。搭建规管标定平台模拟EAST装置的真空环境,通过控制充入真空室内高纯氮气的充气速率,改变真空室内的气体压力,比较单个规管与标准规的读数,判定规管测量准确度,实现规管标定。标定实验发现修复后的PKR251型规管在不同压力下线性度较好,满足EAST装置真空测量要求。(本文来源于《真空与低温》期刊2018年02期）
李成超,刘元胜,程和新[3]（2016）在《在用低温液体贮罐免更换真空规管测真空度》一文中研究指出提出了低温液体贮罐在真空规管损坏的情况下的两种解决方案,并对在V6真空隔离阀法兰下方加装带真空规管真空阀的方案进行现场实施,最后测量真空度在相关规程规定的范围之内,结果表明:在真空隔离阀法兰下方加装带真空规管真空阀的方案可行,解决了在用低温液体贮罐由于真空规管损坏情况下更换规管需要的停产放空、焊接和抽真空等问题。(本文来源于《低温与特气》期刊2016年05期）
朱明龙[4]（2016）在《移动式低温绝热压力容器真空规管保护装置结构探讨》一文中研究指出移动式低温绝热压力容器,定期检验时衡量该容器的安全性能的一参数为真空度,真空度通过真空记在真空规管处测量得出,而在检验工程中发现真空规管由于锈蚀、损坏、装置结构不规则而导致真空度无法测量,从而影响对容器使用性能的评价。文章就上述问题对真空规管保护装置结构进行一些探讨。(本文来源于《冶金丛刊》期刊2016年04期）
游锦山[5]（2014）在《强磁场快响应真空规管调制极的脉冲电源研究》一文中研究指出核聚变工程实验装置运行时，中性气体的压强测量对聚变物理研究具有重要的意义和应用价值。在研究国内外快响应真空规管和脉冲功率技术的基础上，分析了快规调制极脉冲电源的工作特性，提出了实现脉冲电压连续可调的电源设计方案。论文对电源抗电磁干扰技术进行了分析，采取电磁屏蔽，滤波和接地等技术抑制了电磁干扰对电源的影响。电源主电路包括：整流滤波电路，逆变电路和脉冲输出电路；采用半桥拓扑结构实现电路逆变以及电源输入和输出隔离，根据负载特性选择了合适的IGBT模块；设计了高频变压器，脉冲输出电压和频率采样电路以及IGBT的缓冲保护回路。基于单片机控制技术，采用集成的PWM芯片SG3525A，改进设计了脉冲发生电路，实现了PWM输出信号占空比和频率的连续调节；以IR2110驱动模块为核心，设计了PWM控制信号功率放大电路，完成了功率开关管控制电路设计，并提高了电源的稳定性。运用Saber Sketch软件，完成了电源电路设计和元器件参数计算，并对电源电路进行了仿真验证，分析了电路特性，获得了脉冲输出波形，优化了电路设计，验证了电源方案设计的可行性和可靠性。最后搭建了电源单片机控制系统，基于模糊控制算法与单片机控制技术，实现了电源电压幅值和脉冲输出频率的连续调节，且提高了电源的控制精度、稳定性和智能化水平。采用Matlab/simulink工具箱，完成模糊控制器设计和脉冲电压控制仿真，验证了电压闭环控制系统的控制效果。本文还设计了单片机GPIB通用总线接口，实现了单片机控制系统与上位机的通讯功能。(本文来源于《合肥工业大学》期刊2014-04-01）
孙雯君,冯焱,马奔,习振华,成永军[6]（2012）在《小型电容薄膜真空规的设计》一文中研究指出商用电容薄膜真空规存在体积大、重量重等问题,无法满足深空探测中真空测量需求,因此设计了一种小型电容薄膜真空规。设计中采用倒T型结构固定极板和防热变形结构,防止测量过程中温度变化导致的规管部件热变形;采用面积相同的双电极结构,消除测量过程中外界杂散电容和温度变化引起的测量信号偏差。小型电容薄膜真空规整体尺寸为Φ42×24 mm,重量小于200 g,测量下限为10-2Pa,测量不确定度预计小于5%,能适应较宽的工作温度范围,可以满足深空探测需求。(本文来源于《真空与低温》期刊2012年04期）
盛学民,冯焱,董猛,成永军,赵澜[7]（2012）在《真空规吸放气特性测试研究》一文中研究指出利用真空材料放气率测试装置对各类真空规的吸放气特性进行了实验测试研究,主要内容包括:真空规吸放气特性测试的实验原理及方法、实验过程和结果分析等。在真空材料放气率测试装置上运用定容法、小孔流导法和双通道气路转换法对冷规、分离规、电容薄膜规和磁悬浮转子规等真空测量元件的吸放气特性进行实验研究。测试时系统经过高温烘烤,以减小系统本底放气对真空规吸放气测试带来的影响;通过组合使用连接在测试系统上的真空规,测量系统的压力变化,来研究真空规的吸放气特性;利用真空规传感器和管道阀门的开关等不同状态下放气量的差异性来测量研究各真空规的吸放气量。研究结果可对真空计量标准的使用和性能研究提供借鉴和参考。(本文来源于《中国真空学会2012学术年会论文摘要集》期刊2012-09-21）
杜春林,许忠旭,刘春,徐照武,李培印[8]（2012）在《热阴极电离真空规在卫星热试验中的使用与失效分析》一文中研究指出热阴极电离真空规(简称电离规)在高真空测量领域有着广泛的应用。介绍了电离规在卫星真空热试验中的使用情况,并进行了分析。在卫星真空热试验中,分别在星表及星上布置了电离规,使用过程中发现星表电离规在整个试验期间测量正常,而星上电离规在试验开始一段时间后均会失效,且故障现象一致,通过对比分析发现是规管内部受有机物污染所致。(本文来源于《装备环境工程》期刊2012年03期）
陈秋敏,朱武,汪根生,刘腾飞,陈长琦[9]（2012）在《抗强干扰快速测量真空规管及仪器的研究》一文中研究指出托卡马克装置中存在强磁场、强电场,放电过程中真空度变化迅速。为满足这种特殊环境的真空测量要求,开展了抗强干扰快速测量真空规及仪器的研究。快规使用平板电极结构,在普通热阴极电离规管的基础上增加了调制极;仪器电路除完成稳发射、为加速极供电、离子流放大等基本功能外,它可以提供更大的灯丝电流,为调制极提供周期性脉冲电压,离子流和电子流放大器、调制/解调电路和锁相环电路相互配合,确保快速准确测量。仪器的主控制单元以微处理器为核心,可以设定系统运行的相关参数,离子流、发射电流、灯丝电流可供主控单元采集,以配合完成自动调整和相应控制。(本文来源于《真空》期刊2012年02期）
宋瑞海,张书锋,王欢,贾军伟,田虎林[10]（2011）在《宽量程真空规校准装置的性能研究》一文中研究指出文章研制了一种新的真空规校准装置,复合采用了动态比对法、静态比对法和静态膨胀法,满足了拓宽量程的需求。该装置可以对量程在1×105～5×10-4 Pa范围内的各类真空规进行校准,具有结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强的特点,尤其适用于大量常规校准。装置本底压力、压力稳定度、静态膨胀容积比等主要技术指标符合国际标准化组织和国内有关真空标准的规定。(本文来源于《航天器环境工程》期刊2011年05期）
真空规论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
EAST装置复杂的真空系统需要大量PKR251型真空规管实时测量,并获得准确的真空度数据,但是长时间运行后会出现测量结果不准的现象。PKR251型真空规管的修复和标定技术是通过对规管内部电极、极板等关键部件的去污(更换)、清洗和烘烤处理,修复计量不准或错误的真空规管。搭建规管标定平台模拟EAST装置的真空环境,通过控制充入真空室内高纯氮气的充气速率,改变真空室内的气体压力,比较单个规管与标准规的读数,判定规管测量准确度,实现规管标定。标定实验发现修复后的PKR251型规管在不同压力下线性度较好,满足EAST装置真空测量要求。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
真空规论文参考文献
[1].王呈祥,韩晓东,李得天,成永军,孙雯君.采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计[J].中国测试.2019
[2].黄明,王厚银,余耀伟,左桂忠,孙震.EAST装置PKR251型真空规管的修复及标定技术研究[J].真空与低温.2018
[3].李成超,刘元胜,程和新.在用低温液体贮罐免更换真空规管测真空度[J].低温与特气.2016
[4].朱明龙.移动式低温绝热压力容器真空规管保护装置结构探讨[J].冶金丛刊.2016
[5].游锦山.强磁场快响应真空规管调制极的脉冲电源研究[D].合肥工业大学.2014
[6].孙雯君,冯焱,马奔,习振华,成永军.小型电容薄膜真空规的设计[J].真空与低温.2012
[7].盛学民,冯焱,董猛,成永军,赵澜.真空规吸放气特性测试研究[C].中国真空学会2012学术年会论文摘要集.2012
[8].杜春林,许忠旭,刘春,徐照武,李培印.热阴极电离真空规在卫星热试验中的使用与失效分析[J].装备环境工程.2012
[9].陈秋敏,朱武,汪根生,刘腾飞,陈长琦.抗强干扰快速测量真空规管及仪器的研究[J].真空.2012
[10].宋瑞海,张书锋,王欢,贾军伟,田虎林.宽量程真空规校准装置的性能研究[J].航天器环境工程.2011