导读:本文包含了铝诱导层交换论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:压阻特性,超薄多晶硅薄膜,铝诱导层交换,应变系数
铝诱导层交换论文文献综述
王成龙,马军,范多旺,邢达,刘颂豪[1]（2015）在《铝诱导层交换超薄多晶硅薄膜制备及压阻特性》一文中研究指出超薄多晶硅薄膜具有优异的压敏特性。铝诱导层交换(ALILE)制备多晶硅薄膜具有成膜温度低薄膜性能优良等特点。利用ALILE方法在玻璃基底上低温条件下制备了50nm超薄多晶硅(poly-Si)薄膜,并对薄膜微观结构及压阻特性进行了研究。Raman光谱在521cm-1出现尖锐、对称的特征峰,表明超薄多晶硅薄膜晶化状态良好。此外,在拉曼光谱480cm-1处没有明显出现a-Si的Raman特征峰也说明制备的polySi薄膜样品完全结晶;XRD光谱表明ALILE制备薄膜在(111)和(220)晶向择优生长,晶粒尺寸约5μm;霍尔效应测试结果表明:ALILE制备薄膜为p型掺杂,空穴浓度为9×1018~6×1019 cm-3;压阻特性研究表明:ALILE超薄多晶硅薄膜应变系数(GF)达到了60以上,且与薄膜厚度相关;应变温度相关系数(TCGF)在-0.17~0%℃范围内;电阻温度相关系数(TCR)在-0.2~-0.1%℃范围内。ALILE超薄多晶硅薄膜具有GF大、TCGF小和TCR小等特点。因此,有望在压力传感器领域得到应用。(本文来源于《光谱学与光谱分析》期刊2015年02期）
范多旺[2]（2014）在《铝诱导层交换法多晶硅薄膜制备的研究进展》一文中研究指出多晶硅(Poly-Si)薄膜是一种结合了晶体硅和非晶硅优点的新型功能薄膜材料,在薄膜晶体管(TFT)、微电子集成电路、薄膜太阳能电池以及压阻器件等方面得到了广泛应用。由于Al/Si体系不会形成稳定的硅铝化合物,从而使铝诱导层交换(ALILE)成为在玻璃基底上制备高品质多晶硅薄膜的一种有潜力的方法。论文综述课题组在退火气氛、退火模式、形貌衬底、以及外加电场等对ALILE制备多晶硅薄膜过程及性能的影响。同时,论文报道了利用ALILE制备多晶硅薄膜的压阻特性的最新研究成果。(本文来源于《第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛论文摘要集（一）》期刊2014-10-28）
刘毅,黄木香,徐文武,陈仁武,魏少巍[3]（2012）在《铝诱导层交换的研究进展》一文中研究指出铝诱导层交换是指铝-非晶硅双层膜经低温退火后,铝和非晶硅层的位置发生交换,导致在原来铝层的位置处形成一完整连续的多晶硅层.这一技术的应用将大幅度降低制备多晶硅薄膜的成本.本文针对近几年有关铝诱导层交换的研究进展,包括实验和理论研究两方面的进展,结合铝诱导层交换表征的一具体实例,对影响铝诱导交换的主要因素、层交换的动态过程及其机理作了一个综述.(本文来源于《汕头大学学报(自然科学版)》期刊2012年04期）
铝诱导层交换论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
多晶硅(Poly-Si)薄膜是一种结合了晶体硅和非晶硅优点的新型功能薄膜材料,在薄膜晶体管(TFT)、微电子集成电路、薄膜太阳能电池以及压阻器件等方面得到了广泛应用。由于Al/Si体系不会形成稳定的硅铝化合物,从而使铝诱导层交换(ALILE)成为在玻璃基底上制备高品质多晶硅薄膜的一种有潜力的方法。论文综述课题组在退火气氛、退火模式、形貌衬底、以及外加电场等对ALILE制备多晶硅薄膜过程及性能的影响。同时,论文报道了利用ALILE制备多晶硅薄膜的压阻特性的最新研究成果。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
铝诱导层交换论文参考文献
[1].王成龙,马军,范多旺,邢达,刘颂豪.铝诱导层交换超薄多晶硅薄膜制备及压阻特性[J].光谱学与光谱分析.2015
[2].范多旺.铝诱导层交换法多晶硅薄膜制备的研究进展[C].第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛论文摘要集（一）.2014
[3].刘毅,黄木香,徐文武,陈仁武,魏少巍.铝诱导层交换的研究进展[J].汕头大学学报(自然科学版).2012