本文主要研究内容
作者马旺,李益文,赵伟灼,魏小龙,罗思海（2019）在《轴向磁场下感应耦合放电模式转换的实验研究》一文中研究指出：为探究轴向磁场对纯Ar感应耦合等离子体放电模式转换的影响,设计并搭建一整套等离子体产生装置展开实验研究,引入阻抗分析法对放电模式转换进行判断,并得到了朗缪尔探针法的验证。实验发现,当气压为10Pa时,轴向磁场强度的增加使得E-H和H-E模式转换的阈值功率增大;同时,随着轴向磁场的增强,放电中心区域的电子密度不断降低。初步分析认为,这是由于带电粒子在洛伦兹力作用下做回旋运动,导致高能电子在垂直磁场方向上的碰撞减少,降低了电子密度以及感应耦合效率。进一步分析电子能量概率函数(EEPF)发现,在E模式下,轴向磁场对电子运动的约束作用更加明显,高能电子(>27eV)所占比例增多,电子能量分布更加均匀。
Abstract
wei tan jiu zhou xiang ci chang dui chun Argan ying ou ge deng li zi ti fang dian mo shi zhuai huan de ying xiang ,she ji bing da jian yi zheng tao deng li zi ti chan sheng zhuang zhi zhan kai shi yan yan jiu ,yin ru zu kang fen xi fa dui fang dian mo shi zhuai huan jin hang pan duan ,bing de dao le lang miao er tan zhen fa de yan zheng 。shi yan fa xian ,dang qi ya wei 10Pashi ,zhou xiang ci chang jiang du de zeng jia shi de E-Hhe H-Emo shi zhuai huan de yu zhi gong lv zeng da ;tong shi ,sui zhao zhou xiang ci chang de zeng jiang ,fang dian zhong xin ou yu de dian zi mi du bu duan jiang di 。chu bu fen xi ren wei ,zhe shi you yu dai dian li zi zai luo lun ci li zuo yong xia zuo hui xuan yun dong ,dao zhi gao neng dian zi zai chui zhi ci chang fang xiang shang de peng zhuang jian shao ,jiang di le dian zi mi du yi ji gan ying ou ge xiao lv 。jin yi bu fen xi dian zi neng liang gai lv han shu (EEPF)fa xian ,zai Emo shi xia ,zhou xiang ci chang dui dian zi yun dong de yao shu zuo yong geng jia ming xian ,gao neng dian zi (>27eV)suo zhan bi li zeng duo ,dian zi neng liang fen bu geng jia jun yun 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自强激光与粒子束的马旺,李益文,赵伟灼,魏小龙,罗思海，发表于刊物强激光与粒子束2019年02期论文，是一篇关于感应耦合等离子体论文,轴向磁场论文,模式转换论文,阻抗分析论文,电子密度论文,强激光与粒子束2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自强激光与粒子束2019年02期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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