导读:本文包含了套准精度论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:纸张印刷,机械部件,纸张变形,套准精度
套准精度论文文献综述
丁辉[1]（2015）在《纸张印刷套准精度的影响因素及控制方法》一文中研究指出纸张印刷生产中最基本的质量要求是套印准确,但在实际印刷过程中,由于种种原因,容易造成产品套印误差超标,产生大量残次品,带来极大损失。下面,笔者着重从5个方面分析套准精度的影响因素,并结合自身工作经验从6个方面介绍套准精度的控制方法,供业内人士参考。套准精度的影响因素纸张印刷过程中影响套印精度的因素有很多,涉及制版工艺、流程、(本文来源于《印刷技术》期刊2015年24期）
李治江,董川,杨萍[2]（2014）在《基于序贯相似性检测算法的彩色印品套准精度检测方法》一文中研究指出在印刷工业生产中,套准是影响彩色印品质量的决定性因素。本研究针对印刷生产过程中人工检测套准效率低、精度不高等问题,建立了一种基于序贯相似性检测算法(SSDA)的印刷套准精度快速检测方法。针对常用的迭印型套准标记,首先将采集到的标记图像通过分色得到CMYK四色图像,然后基于SSDA算法对套准标记进行准确定位并实现套准误差的自动检测。实验表明:该方法检测精度和效率较高,能够满足实际工业生产需求。(本文来源于《中国印刷与包装研究》期刊2014年02期）
董柏民[3]（2012）在《光刻技术层间套准精度的技术改进研究》一文中研究指出当今世界，各种电子产品层出不穷，例如性能不断增加的手机，更加便捷的平板电脑。在这些不断更新的电子产品中，集成电路作为其中的重要组成部分，起着不可忽视的作用。而光刻技术作为集成电路发展的发动机，在其中的作用更是功不可没。集成电路芯片是在一片硅片上，通过淀积，光刻，蚀刻，注入等各种工艺手段形成器件和连接器件的连线，最终制造出具有一定功能的产品。衡量一块芯片的先进程度一个重要的指标是光刻工艺中的关键尺寸。目前集成电路的世界主流技术是28nm，即电路中最小的关键尺寸是28nm。国内目前量产的主流技术是65nm，和世界的差距在2个世代。集成电路芯片是由很多层电路一层一层迭加起来的，如果当层和前层没有对准的话，芯片就不能正常的工作，因此保证当层和前层的套准精度也是极为重要的。一般套准精度定义在关键尺寸的1/3,因此针对目前国内主流的65nm技术，套准精度必须在20nm以内。影响套准精度的原因有很多种，例如曝光机的工作台移动误差，工作台的同步误差，工作环境的温湿度变化，各个电路层不同的工艺产生的各种工艺影响，晶片上的记号的误差。本文通过对影响套准精度的各种原因的分析，针对不同层的特性引入了加装高精度冷板，偏轴对准手段，并通过对PIE(工艺诱导误差)的补偿，以提高层间的套准精度。(本文来源于《上海交通大学》期刊2012-05-01）
张煜[4]（2011）在《光刻工艺层间套准精度技术的研究和改进》一文中研究指出随着集成电路制造业的迅猛发展,线宽尺寸不断减小,对光刻工艺以及光刻系统相关的精度要求也越来越高。其中,光刻对准技术作为光刻的叁大核心技术之一,随着光刻分辨力的提高,套准精度要求也随之越来越高。针对45nm线宽尺寸,套准精度要求在5nm左右。所以我们有必要研究集成电路制造工艺与光刻套准的关系,从而研究出影响光刻套准精度的因素,并加以改进。简单来讲,套准精度就是微影制程中,当层与前层之间的迭对精度。如果光刻制程的套准精度超过误差容忍度,则层间设计电路可能会因为位移产生断路或短路,从而影响产品良率。套准精度(Overlay)也是现代高精度步进扫描投影光刻机的重要性能指标之一,也是新型光刻技术需要考虑的一个重要部分。套准误差产生有很多种形式,其中包括平移、旋转、扩张等各种形式,而不同的误差形式都会对曝光位置的偏移量造成不同的影响。而影响套准精度的原因有很多种,例如曝光机的工作台移动误差,工作台的同步误差,工作环境的温湿度变化,各个电路层不同的工艺产生的各种工艺影响,晶片上对准记号的误差。本文通过对光刻对准的理论分析和实验,了解影响光刻套准精度的一些方面,并加以改善。我们将从以下几个方面加以探讨和研究：针对不同层的特性引入了偏轴对准手段来提高分辨率；此外通过分析和改善层间定位记号的精度,从而改善机台的套准误差;通过PIE(工艺诱导误差)的补偿,能够比较容易的调整套准精度,得到较少套准误差,以提高层间的套准精度。该论文工作成果已经成功应用于企业的生产实践中。(本文来源于《复旦大学》期刊2011-10-08）
王琳琳,徐宗磊,成刚虎[5]（2011）在《基于机器视觉的丝网印刷套准精度分析与研究》一文中研究指出一、套印误差检测原理套印是用多种颜色的油墨基于同一个参考点印刷迭色图案的印刷技术,印品在印刷过程中需要通过多次着墨才能重现原来的颜色,这就要求每次着色都准确对齐。若几种颜色没有对准,印出来的印品就会面目全非,即出现了套印误差。(本文来源于《广东印刷》期刊2011年02期）
张永彬[6]（2009）在《报纸轮转胶印套准精度影响因素分析》一文中研究指出随着科技进步、市场竞争和读者审美要求,彩报普及速度之快让人始料不及,但匆匆出炉的彩报印刷质量并非都尽如人意。彩报印刷就是要根据胶印轮转印刷工艺、设备和新闻纸、油墨、印版、橡皮布等材(本文来源于《印刷技术》期刊2009年03期）
刘法泉[7]（2008）在《Canon KrF扫描光刻机套准精度的改进方法研究》一文中研究指出随着IC制造业的迅速发展,光刻成像技术的不断提高,芯片的特征尺寸也不断的缩小,而关键尺寸的缩小则产生了对套刻精度更高的要求。套准精度(Overlay)是现代高精度步进扫描投影光刻机的重要性能指标之一,也是新型光刻技术需要考虑的一个重要部分。套准精度将会严重影响产品的良率和性能。提高光刻机的套准精度,亦是决定最小单元尺寸的关键。我们有必要研究IC制造工艺与光刻对准的关系,从而挖掘出影响光刻对准精度的因素,并加以改进。套准精度就是微影制程中,当前层与前层之间的迭对精度。如果微影制程的套准精度超过误差容忍度,则层间设计电路可能会因为位移产生断路或短路,从而影响产品良率。套准误差产生的原因有很多种形式,其中包括平移、旋转、扩张等各种形式,而不同的误差形式都会对曝光位置的偏移量造成不同的影响。本文通过对光刻机的理论分析和实验结果,了解影响光刻机套准精度的一些方面,并加以改善。我们将从叁个方面加以探讨和研究:讨论光刻机外在温度对晶圆的影响而引起的套准误差,并从光刻机硬件方面考虑和改造来改善其套准精度;通过对光刻机结构的探讨和研究,了解激光干涉仪对曝光平台的步进控制原理,改善曝光台的步进精度,从而改善机台的套准误差;通过对光刻机软件参数的补偿,能够比较容易的调整套准精度,较少套准误差,来对光刻的套准精度进行改善。(本文来源于《上海交通大学》期刊2008-10-08）
张永彬[8]（2008）在《浅析报纸轮转胶印套准精度》一文中研究指出近年来,我国报业发展迅猛,呈现出前所未有的勃勃生机。报纸数量雨后春笋般地增多引发了激烈的市场竞争,而五彩缤纷的彩色报纸更形成了一道亮丽的风景线。然而,由于科技进步、市场竞争和读者审美要求,彩报普及的速度之快让人始料不及,但匆匆出炉的彩报印刷质量并非都尽如人意。(本文来源于《广东印刷》期刊2008年04期）
张永彬[9]（2008）在《关于报纸印刷的套准精度》一文中研究指出近年来,我国报业发展较快,报纸数量雨后春笋般增多引发了激烈的市场竞争,而五彩缤纷的彩色报纸更形成一道亮丽的风景线。然而,由于科技进步、市场竞争和读者审美要求,彩报普及的速度之快让人始料不及,但匆匆出炉的彩报印刷质量并(本文来源于《印刷世界》期刊2008年04期）
高军,李学伟,张建,卢秉恒[10]（2007）在《彩色印刷品套准精度分析算法》一文中研究指出将图像处理技术和分色原理应用于彩色印刷品套准精度检测中,提出一种新的套印精度分析算法。对标准图像与待检图像分色后,对应色的灰度图像进行配准,最后利用图像固有的信息和配准信息获得套印误差。新算法不需要在印刷品边缘印刷套印色标,从而减少了纸张切边等额外工序。实验结果表明,该算法的检测精度和效率均高于传统套印误差检测方法,完全满足精密彩色印刷品套印误差检测的要求。(本文来源于《数据采集与处理》期刊2007年04期）
套准精度论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
在印刷工业生产中,套准是影响彩色印品质量的决定性因素。本研究针对印刷生产过程中人工检测套准效率低、精度不高等问题,建立了一种基于序贯相似性检测算法(SSDA)的印刷套准精度快速检测方法。针对常用的迭印型套准标记,首先将采集到的标记图像通过分色得到CMYK四色图像,然后基于SSDA算法对套准标记进行准确定位并实现套准误差的自动检测。实验表明:该方法检测精度和效率较高,能够满足实际工业生产需求。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
套准精度论文参考文献
[1].丁辉.纸张印刷套准精度的影响因素及控制方法[J].印刷技术.2015
[2].李治江,董川,杨萍.基于序贯相似性检测算法的彩色印品套准精度检测方法[J].中国印刷与包装研究.2014
[3].董柏民.光刻技术层间套准精度的技术改进研究[D].上海交通大学.2012
[4].张煜.光刻工艺层间套准精度技术的研究和改进[D].复旦大学.2011
[5].王琳琳,徐宗磊,成刚虎.基于机器视觉的丝网印刷套准精度分析与研究[J].广东印刷.2011
[6].张永彬.报纸轮转胶印套准精度影响因素分析[J].印刷技术.2009
[7].刘法泉.CanonKrF扫描光刻机套准精度的改进方法研究[D].上海交通大学.2008
[8].张永彬.浅析报纸轮转胶印套准精度[J].广东印刷.2008
[9].张永彬.关于报纸印刷的套准精度[J].印刷世界.2008
[10].高军,李学伟,张建,卢秉恒.彩色印刷品套准精度分析算法[J].数据采集与处理.2007