谢广杰:Marangoni效应下下拉速率对多晶硅真空定向凝固晶体质量的影响研究论文

谢广杰:Marangoni效应下下拉速率对多晶硅真空定向凝固晶体质量的影响研究论文

本文主要研究内容

作者谢广杰,赵世民,吕国强,杨玺,张玉峰,何云飞(2019)在《Marangoni效应下下拉速率对多晶硅真空定向凝固晶体质量的影响研究》一文中研究指出:通过建立多晶硅真空定向凝固过程中的传热-流动-应力多物理场耦合模型,研究了在熔体表面张力引起的Marangoni效应的作用下,不同下拉速率(5、10、15μm/s)对多晶硅硅锭质量的影响。模拟结果表明:Marangoni效应的存在,使得熔体的流速增大,引起硅料的传热发生较大转变;随着下拉速率的增大,硅料的轴向温度梯度与晶体间的热应力也随之增大;下拉速度为10μm/s时,固液界面形状最为理想。中试的实验结果也证实了10μm/s时的硅锭晶体形貌最好,有着较大尺寸的柱状晶粒,侧面地验证了模拟结果的准确性。

Abstract

tong guo jian li duo jing gui zhen kong ding xiang ning gu guo cheng zhong de chuan re -liu dong -ying li duo wu li chang ou ge mo xing ,yan jiu le zai rong ti biao mian zhang li yin qi de Marangonixiao ying de zuo yong xia ,bu tong xia la su lv (5、10、15μm/s)dui duo jing gui gui ding zhi liang de ying xiang 。mo ni jie guo biao ming :Marangonixiao ying de cun zai ,shi de rong ti de liu su zeng da ,yin qi gui liao de chuan re fa sheng jiao da zhuai bian ;sui zhao xia la su lv de zeng da ,gui liao de zhou xiang wen du ti du yu jing ti jian de re ying li ye sui zhi zeng da ;xia la su du wei 10μm/sshi ,gu ye jie mian xing zhuang zui wei li xiang 。zhong shi de shi yan jie guo ye zheng shi le 10μm/sshi de gui ding jing ti xing mao zui hao ,you zhao jiao da che cun de zhu zhuang jing li ,ce mian de yan zheng le mo ni jie guo de zhun que xing 。

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自热加工工艺的谢广杰,赵世民,吕国强,杨玺,张玉峰,何云飞,发表于刊物热加工工艺2019年05期论文,是一篇关于多晶硅论文,定向凝固论文,数值模拟论文,效应论文,热加工工艺2019年05期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自热加工工艺2019年05期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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