导读:本文包含了晶圆片倒片系统论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:硅晶片倒片,PLC控制器,红外温度测量
晶圆片倒片系统论文文献综述
张孟莎,胡泓,刘凯[1]（2010）在《六英寸晶圆片自动倒片系统的设计与实现》一文中研究指出介绍了六英寸晶圆片倒片系统的设计、及其控制系统硬件构成和软件编程.运行结果表明,系统稳定性好,可靠性高,满足实际的工业生产要求.(本文来源于《机械与电子》期刊2010年03期）
刘凯[2]（2008）在《六英寸晶圆片倒片系统的设计、分析与测试》一文中研究指出随着半导体行业的发展,晶圆片作为半导体器件的基础材料,应用越来越广泛。晶圆片倒片系统是晶圆片生产线的专用设备,用于自动转移晶圆片的工序。国外的晶圆片倒片系统价格比较高,所以设计一种低成本、高可靠性的工业用晶圆片倒片系统很有必要。本文主要成功设计了晶圆片倒片系统的硬件部分,包括机械结构和控制电路。首先进行了系统总体设计,包括技术要求的确定、机械结构设计、电气控制设计、机械装配和电路布线。其中,机械结构设计包括6英寸晶圆片倒片系统结构方案的确定,概念设计和样机设计;电气控制设计包括控制方案的确定、电气元件的选型和电子电路的设计,采用了PLC控制步进电机的方式,能够保证系统的工作可靠性。其次采用计算机辅助分析,对晶圆片倒片系统的执行机构,包括叁个上下运动工位和齿轮传动系统进行校核、建模和仿真分析,为实际的运动提供理论基础。根据实际工作情况,设计了晶圆片倒片系统的功能模块,并由此总结出任务需求和工作流程图,为控制软件的编写做好准备。最后在初期的试验与测试中,对它进行了重复定位精度的测试和分析,结果满足要求。在控制软件编写完成以后,就可以对其进行工作流程重复性检测和调试。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2008-06-01）
晶圆片倒片系统论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
随着半导体行业的发展,晶圆片作为半导体器件的基础材料,应用越来越广泛。晶圆片倒片系统是晶圆片生产线的专用设备,用于自动转移晶圆片的工序。国外的晶圆片倒片系统价格比较高,所以设计一种低成本、高可靠性的工业用晶圆片倒片系统很有必要。本文主要成功设计了晶圆片倒片系统的硬件部分,包括机械结构和控制电路。首先进行了系统总体设计,包括技术要求的确定、机械结构设计、电气控制设计、机械装配和电路布线。其中,机械结构设计包括6英寸晶圆片倒片系统结构方案的确定,概念设计和样机设计;电气控制设计包括控制方案的确定、电气元件的选型和电子电路的设计,采用了PLC控制步进电机的方式,能够保证系统的工作可靠性。其次采用计算机辅助分析,对晶圆片倒片系统的执行机构,包括叁个上下运动工位和齿轮传动系统进行校核、建模和仿真分析,为实际的运动提供理论基础。根据实际工作情况,设计了晶圆片倒片系统的功能模块,并由此总结出任务需求和工作流程图,为控制软件的编写做好准备。最后在初期的试验与测试中,对它进行了重复定位精度的测试和分析,结果满足要求。在控制软件编写完成以后,就可以对其进行工作流程重复性检测和调试。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
晶圆片倒片系统论文参考文献
[1].张孟莎,胡泓,刘凯.六英寸晶圆片自动倒片系统的设计与实现[J].机械与电子.2010
[2].刘凯.六英寸晶圆片倒片系统的设计、分析与测试[D].哈尔滨工业大学.2008