导读:本文包含了多层结构膜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:Fe_3Si薄膜,Fe_3Si,绝缘层,Si多层膜,磁控溅射方法,X射线衍射仪
多层结构膜论文文献综述
张翀[1]（2018）在《Fe_3Si/绝缘层/Si多层结构膜材料的制备与性质研究》一文中研究指出实验使用磁控溅射和真空退火系统制备Fe_3Si/MgO/Si多层膜结构。通过控制溅射时间来控制绝缘层MgO的厚度为20 nm、50 nm、100 nm、150 nm、200 nm。Fe、Si膜厚比分别为2:1,2.5:1,3:1,3.5:1和4:1。退火温度为600℃、650℃、700℃、750℃、800℃、850℃、900℃,退火时间为3小时。最后分析全面实验结果优化Fe、Si配比、MgO厚度和退火温度。通过X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对制备的多层膜样品的晶体结构和显微结构进行研究。研究表明:1)退火温度为600℃,650℃,700℃时,不论MgO层多厚,所有样品全部都生成了Fe_(0.9)Si_(0.1)薄膜。2)当退火温度为750℃时,MgO层厚度为20 nm、50 nm、100 nm和150nm的样品生成的是Fe_(0.9)Si_(0.1)薄膜,而MgO层厚度为200 nm,Fe、Si膜厚配比为2:1和2.5:1的样品生成Fe_3Si薄膜但衍射峰强度没有表现出显着的规律性,Fe、Si膜厚配比为3:1和3.5:1时样品的Fe_3Si衍射峰比较明显,薄膜结晶质量较好;Fe、Si膜厚配比为4:1的样品Fe_3Si(200)衍射峰展宽,表明样品结晶质量变差。3)当退火温度为800℃时,所有样品都有Fe_3Si生成,同时有的样品中有硅化物FeSi出现,只有MgO层厚度为100 nm,Fe、Si膜厚配比为3:1及MgO层厚度为150 nm,Fe、Si膜厚配比为3.5:1的样品形成的是单一相的Fe_3Si薄膜。4)退火温度为850℃,MgO厚度为20 nm及退火温度为900℃,MgO厚度为200 nm的样品生成了质量较高的半导体相β-FeSi_2薄膜,这个结果对于β-FeSi_2的制备有重要的参考价值。上述结果与无MgO缓冲层时的研究结果不太相同,当没有缓冲层时退火温度为700℃以下的样品中生成的是Fe_(0.9)Si_(0.1)薄膜,退火温度为700℃时生成Fe_3Si同时伴随着FeSi生成,退火温度为800℃及以上时样品会生成单一的FeSi相。综上所述,退火温度为800℃,缓冲层MgO厚度为100 nm,Fe、Si厚度比为3:1时生成的Fe_3Si是单一相,且薄膜结晶质量最好,此时薄膜的电阻率是0.011Ω·cm,饱和磁化强度为485.4emu/cm~3。CV特性测试得到样品的平带电容为9.37pF。(本文来源于《贵州大学》期刊2018-06-01）
陈卫平,邵先亦,冯尚申,萧淑琴,刘宜华[2]（2010）在《纵向磁场沉积态(F/SiO_2)_3/Ag/(SiO_2/F)_3多层复合结构膜的巨磁阻抗效应》一文中研究指出采用射频溅射法分别在零磁场和72kA/m的纵向静磁场下,制备了结构为(F/SiO2)3/Ag/(SiO2/F)3(F=Fe71.5Cu1Cr2.5V4Si12B9)的多层复合膜.研究了沉积态样品的软磁特性和巨磁阻抗(GMI)效应.结果表明,在无磁场沉积态样品中未探测到GMI效应.在沉积过程中加纵向磁场明显优化了材料的软磁性能,从而获得显着的GMI效应.在6.81MHz的频率下,最大纵向和横向GMI比分别高达45%和44%.同时还分析了磁阻抗比、磁电阻比、磁电抗比和有效磁导率比随频率变化的行为,发现磁场沉积态样品的纵向和横向GMI效应随频率变化的频谱曲线几乎重合.阻抗在低频下主要是巨磁电感效应.当频率f>9MHz时,磁电抗比变为负值,即电抗的性质从电感性变成了电容性.(本文来源于《中国科学:技术科学》期刊2010年03期）
多层结构膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用射频溅射法分别在零磁场和72kA/m的纵向静磁场下,制备了结构为(F/SiO2)3/Ag/(SiO2/F)3(F=Fe71.5Cu1Cr2.5V4Si12B9)的多层复合膜.研究了沉积态样品的软磁特性和巨磁阻抗(GMI)效应.结果表明,在无磁场沉积态样品中未探测到GMI效应.在沉积过程中加纵向磁场明显优化了材料的软磁性能,从而获得显着的GMI效应.在6.81MHz的频率下,最大纵向和横向GMI比分别高达45%和44%.同时还分析了磁阻抗比、磁电阻比、磁电抗比和有效磁导率比随频率变化的行为,发现磁场沉积态样品的纵向和横向GMI效应随频率变化的频谱曲线几乎重合.阻抗在低频下主要是巨磁电感效应.当频率f>9MHz时,磁电抗比变为负值,即电抗的性质从电感性变成了电容性.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
多层结构膜论文参考文献
[1].张翀.Fe_3Si/绝缘层/Si多层结构膜材料的制备与性质研究[D].贵州大学.2018
[2].陈卫平,邵先亦,冯尚申,萧淑琴,刘宜华.纵向磁场沉积态(F/SiO_2)_3/Ag/(SiO_2/F)_3多层复合结构膜的巨磁阻抗效应[J].中国科学:技术科学.2010