导读:本文包含了工艺重复性论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:GaN,LED,良率提升,工艺重复性,托盘选型
工艺重复性论文文献综述
马旺[1]（2013）在《基于MOCVD的GaN LED良率提升及工艺重复性技术研究》一文中研究指出本课题来源于十二五规划863项目。在氮化镓发光二极管(GaN LED)行业发展的今天,良率一直是影响金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备蓝光LED利润率的一个重要因素,如何提高良率并保持其重复性成为一个关键问题。GaN蓝光LED生产过程中的主要良率指标有波长良率和波长标准差(STD)良率,波长STD即为单片GaN蓝光LED外延片的波长均匀性,它是反映单片外延片波长一致性的指标。而波长良率则表征整炉外延片片间波长均匀性和一致性。本论文侧重研究波长及波长STD良率的提升并研究其重复性。通过研究VEECO K465GaN MOCVD设备构造、工艺条件以及生长工具的处理和选取等内容,分别以托盘选型、托盘烘烤、工艺气流条件优化以及量子阱降温模式为切入点,探索提升波长及其STD良率以及工艺重复性的问题。本课题的创新点在于系统的提出一种较为优化的托盘选型方法和托盘烘烤工艺,同时,得出了里圈外延片红蓝边解决方法和量子阱最优降温模式,利用这些方法和工艺进行研究,进而提升MOCVD蓝光LED波长STD良率及其重复性。(本文来源于《西安电子科技大学》期刊2013-10-14）
罗小碧,李金琢[2]（2006）在《生产工艺对NTC热敏电阻粉料可重复性的影响》一文中研究指出NTC粉料的可重复性,取决于粉料加工结果的可重现性和稳定性。故从控制粉料球磨粒度和球磨均匀性的角度,对粉料加工过程中的关键工序进行改良和精确控制,实施主料–掺杂–主料的配料次序,采用圆球状锆质磨介,并根据材料体系区分不同的预烧温度,采用(或者接近)临界球磨速度磨料等一系列改良措施,从而获得(1.0±0.2)μm的可控粒度范围粉料,达到粉料具有良好可重复性的目的。(本文来源于《电子元件与材料》期刊2006年07期）
[3]（1975）在《B~+注入Si片的均匀性及重复性的测定——国产J5960型离子注入机基本工艺性能测试报告(之一)》一文中研究指出在半导体器件生产中,尤其是大规模集成电路,为了提高其性能、增加可靠性和稳定性,特别是提高成品率,要求在大面积内对半导体衬底进行高度均匀的掺杂且重复性好,而离子注入工艺正是具有这个突出的优点。一台好的离子注入机,均匀性和重复性是它的重要指标之一。为此,我们用国产J5960型离子注入机,对硼离子注入Si片的均匀性和重复性进行了试验测定工作。现简要报告于后。(本文来源于《西北大学学报(自然科学版)》期刊1975年01期）
工艺重复性论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
NTC粉料的可重复性,取决于粉料加工结果的可重现性和稳定性。故从控制粉料球磨粒度和球磨均匀性的角度,对粉料加工过程中的关键工序进行改良和精确控制,实施主料–掺杂–主料的配料次序,采用圆球状锆质磨介,并根据材料体系区分不同的预烧温度,采用(或者接近)临界球磨速度磨料等一系列改良措施,从而获得(1.0±0.2)μm的可控粒度范围粉料,达到粉料具有良好可重复性的目的。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
工艺重复性论文参考文献
[1].马旺.基于MOCVD的GaNLED良率提升及工艺重复性技术研究[D].西安电子科技大学.2013
[2].罗小碧,李金琢.生产工艺对NTC热敏电阻粉料可重复性的影响[J].电子元件与材料.2006
[3]..B~+注入Si片的均匀性及重复性的测定——国产J5960型离子注入机基本工艺性能测试报告(之一)[J].西北大学学报(自然科学版).1975