导读:本文包含了硅电化学论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:多孔硅,微机电系统,有机溶剂,快速腐蚀
硅电化学论文文献综述
陈平,焦继伟,葛道晗,王跃林[1]（2011）在《有机溶剂在P型宏多孔硅电化学腐蚀中的应用研究》一文中研究指出近年来,多孔硅以其良好的光学、热学、电学以及机械特性使其在微传感器技术领域得到广泛的应用,电化学腐蚀多孔硅的各种方法与原理引起越来越多的关注。研究了P型硅的电化学腐蚀过程中,在腐蚀溶液中使用有机溶剂对多孔硅的制备、速率、成孔机理等方面的影响。研究发现,在分别使用有机溶剂二甲基甲酰胺(DMF)和二甲基亚砜(DMSO)的氢氟酸(HF)腐蚀溶液中,可以制备出孔壁光滑、具有高深宽比的高质量P型宏多孔硅,并发现了一种快速腐蚀P型宏多孔硅的方法,得到高达1900μm/h的腐蚀速率,这有助于提高多孔硅在微传感器批量化生产应用中的效率。在涌流模型基础上,分析了有机溶剂的氧化性和质子(H)提供能力,以及在P型多孔硅快速腐蚀过程中的作用。(本文来源于《传感器与微系统》期刊2011年11期）
汪婷,黎学明,李武林,文军[2]（2011）在《近规整多孔硅电化学制备与表征》一文中研究指出电化学阳极氧化条件对多孔硅孔排列的规整度有着显着的影响。提出了一种不需阳极氧化铝模板或预图案化而直接制备近规整多孔硅的电化学方法,分析了氧化时间、电解液组成、HF浓度对多孔硅形态的影响。结果表明,随着阳极氧化时间的增加,多孔硅孔的深度逐渐加大,孔径则呈先增大后稳定的趋势。当氢氟酸(40%)与N-N-二甲基甲酰胺(DMF)的质量分数为20∶80、电流密度为75mA/cm2、氧化时间为5min时,形成的多孔硅具有近规整的孔排列。形成的孔相互之间平行且垂直于样品表面,孔尺寸均匀一致,孔径在1μm左右,孔深度大约为20μm。(本文来源于《功能材料》期刊2011年05期）
硅电化学论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
电化学阳极氧化条件对多孔硅孔排列的规整度有着显着的影响。提出了一种不需阳极氧化铝模板或预图案化而直接制备近规整多孔硅的电化学方法,分析了氧化时间、电解液组成、HF浓度对多孔硅形态的影响。结果表明,随着阳极氧化时间的增加,多孔硅孔的深度逐渐加大,孔径则呈先增大后稳定的趋势。当氢氟酸(40%)与N-N-二甲基甲酰胺(DMF)的质量分数为20∶80、电流密度为75mA/cm2、氧化时间为5min时,形成的多孔硅具有近规整的孔排列。形成的孔相互之间平行且垂直于样品表面,孔尺寸均匀一致,孔径在1μm左右,孔深度大约为20μm。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
硅电化学论文参考文献
[1].陈平,焦继伟,葛道晗,王跃林.有机溶剂在P型宏多孔硅电化学腐蚀中的应用研究[J].传感器与微系统.2011
[2].汪婷,黎学明,李武林,文军.近规整多孔硅电化学制备与表征[J].功能材料.2011