本文主要研究内容
作者姜玉刚,刘小利,刘华松,王利栓,李士达,陈丹,刘丹丹,姜承慧,季一勤（2019）在《不同沉积方式SiO2薄膜的自然时效特性（英文）》一文中研究指出：SiO2薄膜是光学薄膜领域内常用的重要低折射率材料之一。文中采用不同沉积技术在Si基底上制备了SiO2薄膜,并研究了它们光学特性的自然时效特性。采用不同贮存时间的椭偏光谱表征SiO2薄膜的光学特性,随着时间的增加,EB-SiO2薄膜和IAD-SiO2薄膜的物理厚度和光学厚度随着增加,但IBS-SiO2薄膜随着减小,变化率分别为1.0%,2.3%和-0.2%。当贮存时间达到120天时,IBS-SiO2薄膜、EB-SiO2薄膜和IAD-SiO2薄膜的物理厚度和光学厚度趋于稳定。实验结果表明,IBSSiO2薄膜的光学特性稳定性最好,在最外层保护薄膜选择中,应尽可能选择离子束溅射技术沉积SiO2薄膜。
Abstract
SiO2bao mo shi guang xue bao mo ling yu nei chang yong de chong yao di she she lv cai liao zhi yi 。wen zhong cai yong bu tong chen ji ji shu zai Siji de shang zhi bei le SiO2bao mo ,bing yan jiu le ta men guang xue te xing de zi ran shi xiao te xing 。cai yong bu tong zhu cun shi jian de tuo pian guang pu biao zheng SiO2bao mo de guang xue te xing ,sui zhao shi jian de zeng jia ,EB-SiO2bao mo he IAD-SiO2bao mo de wu li hou du he guang xue hou du sui zhao zeng jia ,dan IBS-SiO2bao mo sui zhao jian xiao ,bian hua lv fen bie wei 1.0%,2.3%he -0.2%。dang zhu cun shi jian da dao 120tian shi ,IBS-SiO2bao mo 、EB-SiO2bao mo he IAD-SiO2bao mo de wu li hou du he guang xue hou du qu yu wen ding 。shi yan jie guo biao ming ,IBSSiO2bao mo de guang xue te xing wen ding xing zui hao ,zai zui wai ceng bao hu bao mo shua ze zhong ,ying jin ke neng shua ze li zi shu jian she ji shu chen ji SiO2bao mo 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自红外与激光工程的姜玉刚,刘小利,刘华松,王利栓,李士达,陈丹,刘丹丹,姜承慧,季一勤，发表于刊物红外与激光工程2019年05期论文，是一篇关于薄膜论文,薄膜论文,薄膜论文,光学稳定性论文,光学常数论文,红外与激光工程2019年05期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自红外与激光工程2019年05期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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