于亚云:硅微谐振加速度计的研究现状分析及发展趋势探讨论文

于亚云:硅微谐振加速度计的研究现状分析及发展趋势探讨论文

本文主要研究内容

作者于亚云(2019)在《硅微谐振加速度计的研究现状分析及发展趋势探讨》一文中研究指出:从当前的国际科技发展形势来看,硅微谐振加速度计是一种十分具有潜力的高精度的MEMS惯性仪表。同时又因为硅微谐振加速度计具有体积相对比较小,而且消耗的功率很低,并且它的准数字输出和精度提升的提升空间大等不同的有点。结合一段时间内国内外对于硅微谐振加速度计的研究报告,发现硅微谐振加速度计的发展前景在于对其结构改造、工艺改进以及技术测量等不同的方面。本文将在硅微谐振加速度计工作原理的基础上,对硅微谐振加速度计的发展现状做出分析以及对硅微谐振加速度计的发展前景展开展望。

Abstract

cong dang qian de guo ji ke ji fa zhan xing shi lai kan ,gui wei xie zhen jia su du ji shi yi chong shi fen ju you qian li de gao jing du de MEMSguan xing yi biao 。tong shi you yin wei gui wei xie zhen jia su du ji ju you ti ji xiang dui bi jiao xiao ,er ju xiao hao de gong lv hen di ,bing ju ta de zhun shu zi shu chu he jing du di sheng de di sheng kong jian da deng bu tong de you dian 。jie ge yi duan shi jian nei guo nei wai dui yu gui wei xie zhen jia su du ji de yan jiu bao gao ,fa xian gui wei xie zhen jia su du ji de fa zhan qian jing zai yu dui ji jie gou gai zao 、gong yi gai jin yi ji ji shu ce liang deng bu tong de fang mian 。ben wen jiang zai gui wei xie zhen jia su du ji gong zuo yuan li de ji chu shang ,dui gui wei xie zhen jia su du ji de fa zhan xian zhuang zuo chu fen xi yi ji dui gui wei xie zhen jia su du ji de fa zhan qian jing zhan kai zhan wang 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自科学技术创新的于亚云,发表于刊物科学技术创新2019年04期论文,是一篇关于硅微谐振加速度计论文,现状分析论文,发展趋势展望论文,科学技术创新2019年04期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自科学技术创新2019年04期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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