波导制备论文-薛伟锋,韦生文

导读:本文包含了波导制备论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:异型,碳纤维,波导,一体化制备

波导制备论文文献综述

薛伟锋,韦生文^[1]（2019）在《复杂异型碳纤维波导一体化制备技术》一文中研究指出作为传统铝合金材料的理想替代材料,高性能碳纤维复合材料在雷达波导天线等异型结构件上的应用具有明显优势。从碳纤维波导金属层制备方式比较、碳纤维波导熔芯法制备工艺设计以及试验件性能表征等方面,论述了碳纤维异型波导制备新技术,详细分析了模具上电镀金属层转移法所涉及的易熔金属芯模的设计制造、模上金属层制造、碳纤维波导成型以及物理熔芯法去除芯模等过程,研制的波导试验件满足性能指标要求。(本文来源于《电子工艺技术》期刊2019年05期）

王珏^[2]（2019）在《基于飞秒激光的蓝宝石脊形波导设计仿真及制备》一文中研究指出蓝宝石凭借其极高的硬度、稳定的物理化学性质以及从紫外到红外波长范围内的透光性,使得其被广泛应用于光学窗口、仪器仪表、半导体衬底以及消费电子等方面。但在拥有高硬度、高耐磨性的同时,伴随着的是蓝宝石加工的困难,这也限制了蓝宝石更广泛的应用。本文中,利用蓝宝石的优良光学性能,以飞秒激光微加工技术为手段,研究蓝宝石脊形波导的制备。利用内置了有限差分光束传播法的RSoft软件对蓝宝石脊形波导进行设计仿真,研究了波导脊宽a和刻蚀深度b对波导通光性能的影响,通过分析结构参数对归一化功率和模式双折射效应的影响,最终确定脊宽a=200μm及刻蚀深度h=172μm。对实际加工中存在的槽壁倾斜情况进行了误差分析,发现当槽壁倾角达到约16°时,相比与槽壁倾角为零的情况,归一化输出功率减小了约5%。研究了蓝宝石脊形波导和光纤之间的对准耦合,通过计算波导模场和光纤模场的重迭积分,得到光纤存在横向位置偏差和偏转偏差时模场耦合效率的变化情况。对波导模场分布情况及基模光场在波导内传输进行了仿真。研究了飞秒激光的蓝宝石划线加工工艺,分别就激光功率和扫描速度对划线加工的影响进行了工艺试验,分析了其对划线加工的影响。在兼顾加工精度和材料去除速率的前提下,优选出的激光功率为450mW及扫描速度10mm/s。研究了线间距对槽底表面形貌的影响,在同时考虑槽底表面粗糙度和槽深的情况下,确定线间距为10μm。选择5μm扫描层距,研究了扫描层数与刻蚀深度的关系。根据以上对工艺参数的分析,确定了制备蓝宝石脊形波导的工艺参数,制备出了满足尺寸要求的蓝宝石脊形波导。搭建了波导耦合测试平台,采用截断法对蓝宝石脊形波导损耗进行了测量,得到最终的蓝宝石脊形波导单位长度的平均功率损耗。利用仿真软件分析了蓝宝石脊形波导在高温环境下热膨胀的影响,计算出了因耦合对准偏差导致的耦合功率下降,表明实际中高温对蓝宝石脊形波导的影响非常小。(本文来源于《湖北工业大学》期刊2019-05-01）

孙庆雨,孙喆禹,邢文超,孙德贵^[3]（2018）在《掺Ge氧化硅薄膜波导制备工艺与应力研究》一文中研究指出采用等离子体化学气相沉积法在硅基底上沉积氧化硅薄膜,研究在不同工艺条件下薄膜的应力变化情况和折射率分布规律.利用应力测试仪测定晶圆在镀膜前后的形变量进而获得应力值,并用棱镜耦合仪测试薄膜折射率.在其他条件相同的情况下,SiH_4与N_2O的流量比分别设为24、27.6和30时,在1 539nm波长下薄膜平均折射率分别为1.466 7、1.459 2和1.455 7,对应的晶圆应力向着压应力增加,分别为-50MPa、-200MPa和-430MPa.掺入8.3×10~(-7) m~3/s GeH_4后,SiH_4与N_2O的流量比分别设为22.6、24和27.6时,薄膜平均折射率分别为1.475 8、1.471 4和1.463 3,对应的晶圆应力分别为25MPa、-210MPa和-270 MPa,是从拉应力向压应力变化的过程.结果表明,SiH_4与N_2O的流量比相同时,掺入GeH_4后折射率和对应的压应力明显增加.因此,通过对工艺条件的合理选择,可制备出折射率稳定的氧化硅波导薄膜,从而提高器件在整个晶片上的成品率.(本文来源于《光子学报》期刊2018年12期）

刘德兴,母一宁,宋德,樊海波,郝国印^[4]（2018）在《波导栅极薄膜复合探测器件的制备及可行性验证》一文中研究指出为了满足空间光电系统对复合探测的需求,本文针对一种波导栅极薄膜空间复合探测用微通道光电倍增结构展开制备工艺方法研究.从微通道板光电倍增和空间电子束分流调制的角度出发,阐述波导栅极薄膜复合探测器件工作原理以及在制备过程中的约束条件;为了确定栅极结构的制备特性参数,依据适用于低能电子在多元介质中发生散射的物理模型,分别研究了栅极复合薄膜膜层厚度、入射电子能量对波导栅极薄膜中入射电子渡越轨迹的影响;通过汲水法获取自支撑有机隔离薄膜采用优化电阻热蒸发镀膜技术,实现了波导栅极薄膜的纳米尺度制备,并利用可视化的手段对其复合膜层结构予以表征;最后,从复合探测功能角度在专用真空测试系统中验证了该栅极薄膜复合器件的可行性.(本文来源于《光子学报》期刊2018年10期）

林初跑^[5]（2018）在《飞秒激光制备光纤耦合波导传感器》一文中研究指出光纤传感器已经广泛应用于物理、生物以及化学量的测量。为了使光纤器件具有更小的尺寸,在光纤包层中集成更多的波导成为近年来的研究热点。本论文主要针对光纤集成耦合波导传感器和飞秒激光直写光波导技术进行研究。主要内容如下:1.介绍了飞秒激光直写光波导技术的发展、基于激光波导直写技术的器件制备及其应用,综述了光纤耦合波导器件的制备以及其近年来在传感领域的应用。介绍了飞秒激光与透明物质的非线性作用、详细介绍了在高重复频率激光作用下的热累积效应以及平行波导之间的耦合模理论。2.探索、优化了低重复频率脉冲激光(1kHz和200kHz)在光纤内直写的光波导性能,实现了光在激光波导中的低损耗传输1.2d B/cm。对在紧聚焦物镜作用下得到的飞秒激光波导截面的折射率分布进行了分析,正折射率调制高达0.010,负折射率调制高达0.025。研究了激光波导的近场模场特性进行以及布拉格光栅波导的写制。3.提出、设计并制备了单模光纤耦合布拉格光栅波导传感器。优化了布拉格光栅波导的写制参数,在单模光纤内制备X型耦合器,成功将光从光纤轴心耦合到邻近光纤表面。写制布拉格光栅波导,成功将传感器应用于周围介质折射率的测量,并分析了光纤表面波导的偏振特性、温度传感特性。4.提出、设计并制备了光子晶体光纤耦合波导传感器。介绍了飞秒激光辅助的选择性填充技术,从特种光纤的熔接,到光纤精密切割,再到飞秒激光选择性开孔。光子晶体光纤耦合波导传感器中支持多个模式的传输,同时集成了液体-固体耦合波导和多模干涉仪,成功应用于温度-应变的同时测量,温度和应变的灵敏度分别高达14.73nm/℃和12.01pm/με。运用有限元分析法对混合型耦合波导进行仿真建模,计算材料的色散曲线,分析混合型耦合波导的传输模式,研究液体波导与固体波导的相位匹配条件以及计算混合耦合波导的理论温度灵敏度。仿真结果表明,光子晶体光纤耦合波导传感器的温度灵敏度为14nm/℃,与实验结果具有非常高的吻合度。5.提出、设计并制备了空芯光纤耦合波导传感器,在空芯光纤内写制激光波导并利用飞秒激光烧蚀在光纤上构建微流通道对,实现了对分析液折射率的实时测量。研究了传感器的折射率响应特性,其折射率灵敏度高达-112743 nm/RIU。理论上,运用基于有限元方法的仿真,计算得到传感器的折射率灵敏度为-108016nm/RIU,与实验中得到的灵敏度具有非常高的吻合度。(本文来源于《深圳大学》期刊2018-06-30）

张莹璐^[6]（2018）在《氮化硅波导色散设计及低热灵敏度光交叉波分复用器的制备》一文中研究指出硅基光子学的形成和发展,为突破硅基微电子学的摩尔极限提供了新的方向。半导体材料硅在微电子领域中的应用已经是家喻户晓,在成熟的微电子加工工艺和日益进步的半导体材料生长工艺的共同推动下,硅在光子学领域中的应用也展现出了前所未有的优势和潜力。氮化硅作为另一种重要的光子学材料,在可见光波段的生物传感应用、通信波段的非线性光学应用和低热灵敏度器件的设计等方面发挥着其独特的优势。本论文首先探索了基于PECVD的氮化硅生长工艺,其次仿真设计了一种基于氮化硅的宽带平坦低色散波导,最后设计制备了一种低热灵敏度的氮化硅光交叉波分复用器。主要内容包括:(1)系统研究了SiH_4和NH_3两种反应气体流量、反应腔压和高低频交替时间等反应条件对氮化硅薄膜的沉积速率、应力、表面粗糙度和折射率等的影响。(2)仿真设计了一种基于氮化硅的宽带平坦低色散波导,理论计算了该波导的有效模式面积和非线性系数随波长的变化关系,并研究了该波导在简并四波混频中的相位匹配条件。(3)设计并制备了一种基于氮化硅的环耦合非对称马赫曾德干涉仪型光交叉波分复用器。在25°C到70°C的温度范围内,PMMA包层器件的温度灵敏度减小为±7pm/?C,其最大波长漂移为0.125 nm。(本文来源于《华中科技大学》期刊2018-05-01）

刘道群,李志华,冯俊波,唐波,张鹏^[7]（2018）在《高性能波导集成型锗pin光电探测器的制备》一文中研究指出采用CMOS兼容工艺,在绝缘体上硅(SOI)晶圆片上制备了高性能波导集成型锗pin光电探测器。该光电探测器锗区长度为15μm,宽度分别为1,2,3,4和5μm。光波导与探测器间的光耦合为倏逝波耦合。为了进一步提高探测器的性能,在结构设计上采用了聚焦耦合光栅及楔形耦合增强结构,在材料生长方面采用了选择性外延生长法,以提高锗的质量。通过暗电流、响应度、带宽及眼图测试对光电探测器性能进行了表征。测试结果表明在-2 V的反向偏压下,尺寸为15μm×4μm的光电探测器暗电流低至169 nA,其在波长1 530 nm处的最高响应度为0.43 A/W,3 dB带宽高达48 GHz并获得40 Gbit/s的清晰眼图。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2018年05期）

白琼^[8]（2018）在《基于UV-LIGA技术的双频段波导带通滤波器设计与制备》一文中研究指出双频段波导带通滤波器作为双频甚至多频无线通信系统中一个负责过滤信号的关键无源器件,如何提高其频率选择特性,实现其体积微型化已成为微波射频领域的一个热点。矩形波导以其低损耗、高功率容量且易于与测量系统互联的优点在微波频段广泛应用。本文通过对交叉耦合型带通滤波器的探索和研究,设计出一款结构简单、宽频带、低损耗、高带外抑制的双频段波导带通滤波器,并使用UV-LIGA技术完成了加工。通过总结国内外对于双频段滤波器的研究理论和设计理念,从波导带通滤波器的设计理论出发,结合谐振腔的交叉耦合理论,通过HFSS电磁仿真软件进行建模仿真,分别设计出了中心频率为80 GHz和100 GHz的单频段波导带通滤波器,并对相关结构参数进行扫描分析,发现了参数变化对滤波器性能的影响。利用波导分支接头将两个单频段波导带通滤波器并联起来,设计出了一款双频段波导带通滤波器,并对其进行了建模仿真。综合考虑双频段波导带通滤波器的结构模型和测试系统的连接方式,选用UV-LIGA技术完成了双频段波导带通滤波器的加工,并对其进行金属化处理和结构封装。结构封装前通过共聚焦显微镜对结构的叁维形貌进行了观察和测量,测试结果发现其高度误差较小,表面平整,证明了加工方案的可行性。制备了测试用的波导法兰,对双频段波导带通滤波器的电磁性能进行了测试,测试结果与仿真结果基本吻合,对后续双频段波导带通滤波器的研制具有一定的意义。(本文来源于《中北大学》期刊2018-04-08）

郭彦杰,谭秋林,张磊,逯斐,郭晓威^[9]（2018）在《基片集成波导式高温压力传感器的制备与测试》一文中研究指出提出了一种新的无线无源高温压力传感器结构,该传感器的结构主要由含有内置空腔的基片集成圆波导(SICW)谐振器和集成于波导上金属面的缝隙天线两部分组成。共面波导天线(CPW)发出的频率电磁信号通过缝隙天线耦合到传感器内部,并经由缝隙天线反馈到共面波导天线。当外部压力作用于传感器的空腔上表面时,传感器的有效介电常数发生变化,从而导致传感器的谐振频率发生变化。传感器的试样通过高温共烧陶瓷(HTCC)微组装工艺与丝网印刷技术相结合进行制备。实验过程中,共面波导天线与网络分析仪进行连接,通过网络分析仪对天线的S11参数进行测试,进而可以从频率曲线中对传感器的谐振频率进行提取。通过对制备的传感器进行不同温度下的压力测试,发现提出的压力传感器在800℃高温下仍然可以正常工作,在800℃时传感器的测试灵敏度为0.124 5 MHz/kPa。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2018年04期）

董鹏展^[10]（2018）在《基于钛扩散制备Ti/LiNbO_3波导型光耦合片工艺与光学性能优化》一文中研究指出光耦合器是光纤通信中重要的光无源器件之一,随着光耦合器的需求量大幅增加和光纤通信发展中集成化趋势越来越明显,集成化、低损耗、易接入、能实现多路和小型化的波导型光耦合器成为人们研究的主要方向。钛/铌酸锂光波导是其中的研究热点。本课题以单晶铌酸锂和金属钛为原料,利用真空蒸镀法和金属内扩散技术制备钛/铌酸锂波导型光耦合片,通过研究蒸镀电流、基片温度和蒸镀时间等工艺参数对钛/铌酸锂复合薄膜微观结构的影响,确定最佳真空蒸镀工艺参数,在此最佳工艺参数基础上,利用金属内扩散法制备钛/铌酸锂波导型光耦合片,研究扩散温度、扩散时间和钛膜初始厚度对钛/铌酸锂波导型光耦合片的微观结构和宏观光学性能的影响,得到钛/铌酸锂波导型光耦合片最佳的扩散工艺参数。以单晶铌酸锂为衬底材料,金属钛为蒸发源,采用真空蒸镀法制备钛/铌酸锂复合薄膜,经XRD、SEM、EDS、AFM、XPS等研究,得到真空蒸镀最佳工艺参数。制备的钛/铌酸锂复合薄膜存在少量氧化钛;通过拟合厚度与时间为:2.708 nm/1min。基于制备钛/铌酸锂复合薄膜最佳工艺参数,利用金属内扩散法制备钛/铌酸锂光波导,经XRD、SEM、EDS、AFM、XPS、拉曼光谱、棱镜耦合仪、外观等研究,得到金属钛扩散法制备钛/铌酸锂波导型光耦合片最佳工艺参数。利用Waveguide Loss Measurement Options 2010-WGL1测得钛/铌酸锂波导型光耦合片的传输损耗。研究发现制备的钛/铌酸锂波导型光耦合片截面元素组成主要是Ti、Nb和O叁种元素,波导表面到铌酸锂内部,钛元素含量先增加后减少,增加与减少呈梯度分布,且扩散进入基底铌酸锂晶体内部的钛离子呈Ti~(4+)价态,钛扩散前后,铌酸锂基仍是单晶铌酸锂相(钛铁矿结构)。1540 nm波长下,钛/铌酸锂光耦合片导模数目为1,其他条件相同的条件下,有效折射率随扩散时间增加而呈增大趋势,随初始钛薄膜厚度增加而有增大趋势,最大有效折射率为2.2144。532 nm和448.2 nm波长下,钛/铌酸锂光耦合片分别存在叁个和四个模式折射率,采用逆WKB近似法得到耦合片径向一维定态的折射率梯度分布曲线,折射率从耦合片表面向内部单调递减,呈高斯分布。532 nm波长下,最优光耦合片的表面最大折射率为2.33238,表面折射率变化量为0.00843。不同样品的表面折射率变化的测量值大小对比结果与理论计算值对比结果一致,除入射光波长外,扩散时间和钛薄膜初始厚度对耦合片表面射率变化量有一定影响。(本文来源于《哈尔滨理工大学》期刊2018-03-01）

波导制备论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

蓝宝石凭借其极高的硬度、稳定的物理化学性质以及从紫外到红外波长范围内的透光性,使得其被广泛应用于光学窗口、仪器仪表、半导体衬底以及消费电子等方面。但在拥有高硬度、高耐磨性的同时,伴随着的是蓝宝石加工的困难,这也限制了蓝宝石更广泛的应用。本文中,利用蓝宝石的优良光学性能,以飞秒激光微加工技术为手段,研究蓝宝石脊形波导的制备。利用内置了有限差分光束传播法的RSoft软件对蓝宝石脊形波导进行设计仿真,研究了波导脊宽a和刻蚀深度b对波导通光性能的影响,通过分析结构参数对归一化功率和模式双折射效应的影响,最终确定脊宽a=200μm及刻蚀深度h=172μm。对实际加工中存在的槽壁倾斜情况进行了误差分析,发现当槽壁倾角达到约16°时,相比与槽壁倾角为零的情况,归一化输出功率减小了约5%。研究了蓝宝石脊形波导和光纤之间的对准耦合,通过计算波导模场和光纤模场的重迭积分,得到光纤存在横向位置偏差和偏转偏差时模场耦合效率的变化情况。对波导模场分布情况及基模光场在波导内传输进行了仿真。研究了飞秒激光的蓝宝石划线加工工艺,分别就激光功率和扫描速度对划线加工的影响进行了工艺试验,分析了其对划线加工的影响。在兼顾加工精度和材料去除速率的前提下,优选出的激光功率为450mW及扫描速度10mm/s。研究了线间距对槽底表面形貌的影响,在同时考虑槽底表面粗糙度和槽深的情况下,确定线间距为10μm。选择5μm扫描层距,研究了扫描层数与刻蚀深度的关系。根据以上对工艺参数的分析,确定了制备蓝宝石脊形波导的工艺参数,制备出了满足尺寸要求的蓝宝石脊形波导。搭建了波导耦合测试平台,采用截断法对蓝宝石脊形波导损耗进行了测量,得到最终的蓝宝石脊形波导单位长度的平均功率损耗。利用仿真软件分析了蓝宝石脊形波导在高温环境下热膨胀的影响,计算出了因耦合对准偏差导致的耦合功率下降,表明实际中高温对蓝宝石脊形波导的影响非常小。

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

波导制备论文-薛伟锋,韦生文

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