本文主要研究内容
作者张凌华,韩森,吴泉英,唐寿鸿,李雪园,王全召（2019）在《平面绝对检测闭环自检实验研究》一文中研究指出：基于Ai C和Wyant J C的奇偶函数法,提出了4步旋转绝对检测方法,减少了旋转次数,将第二次测量的旋转角度选为90°。实验基于HOOL L9600A-HS3干涉仪,采用4步旋转绝对检测方法,将3个平面两两互检计算出3个平面的绝对面形。其中平面C的表面面形起伏高度均方根(RMS)值和峰谷(PV)值分别为3. 460 nm和35. 227 nm,经闭环自检后的测量结果分别为3. 783 nm和34. 305 nm以及3. 669 nm和34. 252 nm,数据基本一致,表明测量数据能够实现闭环自检。使用该方法对中国计量科学研究院的标准平面镜进行测量,平面的RMS值和峰谷PV值分别为2. 400 nm和19. 600 nm,与该院的测量结果 2. 000 nm和16. 000 nm对比,两者的测量偏差在nm量级,充分证明了实验的有效性及高重复性;此外实验还分析了温度对测量结果的影响。
Abstract
ji yu Ai Che Wyant J Cde ji ou han shu fa ,di chu le 4bu xuan zhuai jue dui jian ce fang fa ,jian shao le xuan zhuai ci shu ,jiang di er ci ce liang de xuan zhuai jiao du shua wei 90°。shi yan ji yu HOOL L9600A-HS3gan she yi ,cai yong 4bu xuan zhuai jue dui jian ce fang fa ,jiang 3ge ping mian liang liang hu jian ji suan chu 3ge ping mian de jue dui mian xing 。ji zhong ping mian Cde biao mian mian xing qi fu gao du jun fang gen (RMS)zhi he feng gu (PV)zhi fen bie wei 3. 460 nmhe 35. 227 nm,jing bi huan zi jian hou de ce liang jie guo fen bie wei 3. 783 nmhe 34. 305 nmyi ji 3. 669 nmhe 34. 252 nm,shu ju ji ben yi zhi ,biao ming ce liang shu ju neng gou shi xian bi huan zi jian 。shi yong gai fang fa dui zhong guo ji liang ke xue yan jiu yuan de biao zhun ping mian jing jin hang ce liang ,ping mian de RMSzhi he feng gu PVzhi fen bie wei 2. 400 nmhe 19. 600 nm,yu gai yuan de ce liang jie guo 2. 000 nmhe 16. 000 nmdui bi ,liang zhe de ce liang pian cha zai nmliang ji ,chong fen zheng ming le shi yan de you xiao xing ji gao chong fu xing ;ci wai shi yan hai fen xi le wen du dui ce liang jie guo de ying xiang 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自计量学报的张凌华,韩森,吴泉英,唐寿鸿,李雪园,王全召，发表于刊物计量学报2019年02期论文，是一篇关于计量学论文,面形测量论文,步旋转绝对检测法论文,闭环自检论文,重复性论文,计量学报2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自计量学报2019年02期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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