导读:本文包含了光产酸剂论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:光产酸剂,合成,产酸率
光产酸剂论文文献综述
李金亮[1]（2016）在《几种光产酸剂的合成与产酸性能研究》一文中研究指出综述了几种不同类型光产酸剂合成反应及产酸性能研究,包括叁嗪类化合物的合成、鎓盐类化合物和苯磺酸酯类化合物的合成及产酸性能研究。通过对比,得出不同类型的光产酸剂在不同溶剂中,不同波长下的光源曝光产酸率不同,可应用于不同的光致抗蚀剂体系。(本文来源于《广州化工》期刊2016年09期）
乔瑀,胡凡华,王力元[2]（2014）在《硫鎓盐光产酸剂的制备、纯化及其在248-nm光致抗蚀剂中的应用》一文中研究指出光产酸剂是化学增幅型光致抗蚀剂中的主要组成部分。本课题合成了几种硫鎓盐光产酸剂,它们的阳离子都带有芳环或脂环,阴离子是氟代磺酸根或樟脑磺酸根。它们在在光致抗蚀剂常用溶剂中有一定溶解性,九氟丁基磺酸盐的溶解性稍好于叁氟甲磺酸盐,且在248 nm处有较强的吸收。金属杂质含量是光产酸剂的一个重要指标,故本课题对降低硫鎓盐的金杂含量进行了研究。采用反复蒸馏、重结晶等方法对试剂及产物进行纯化;实验设备则尽量避免使用普通玻璃材料,而换用金属杂质释放较少的石英、塑料、聚四氟乙烯等材料;如有必要,实验在正压的超净台内进行。经过反复实验,摸索出了一套有效的除金属杂质的方法,金属杂质残留降低到了1 ppm级别,同时亦能保证较高的产率。以(2-苯甲酰)-甲基四氢噻吩鎓叁氟甲磺酸盐为例,其与叔丁氧基碳酸酯部分保护的聚对羟基苯乙烯等组成的双组份248-nm化学增幅型光致抗蚀剂材料,采用KrF步进曝光系统进行了评价,得到分辨率为180nm的线条,留膜率可达到99%左右。(本文来源于《中国化学会第29届学术年会摘要集——第21分会：光化学》期刊2014-08-04）
徐娜,王艳,陈哲[3]（2013）在《几种用于i-线光致抗蚀剂的光产酸剂性能研究》一文中研究指出2,1,4-重氮萘醌磺酸酯类化合物(2,1,4-DNQ),在光照下除了发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光解,还可以产生磺酸导致聚合物发生酸解,因而可用作光产酸剂.本文制备了5种2,1,4-重氮萘醌磺酸酯,具有较好的热稳定性,分解温度均在130℃以上;其中有两种2,1,4-重氮萘醌磺酸酯(PAG-1和PAG-5)的溶解性良好,可溶于光致抗蚀剂体系所用的常用溶剂,且二者的光解效率较高,可用作i-线光致抗蚀剂的产酸剂使用.(本文来源于《吉林化工学院学报》期刊2013年09期）
解晓艳,庞玉莲,肖时卓,杨丽,邹应全[4]（2013）在《磺酸肟酯类光产酸剂的制备及性能研究》一文中研究指出本文合成了4种磺酸肟酯类非离子型光产酸剂,用核磁氢谱确认了产物结构,并测试了其热稳定性、紫外吸收特性及产酸效率.结果表明,合成的4种磺酸肟酯类光产酸剂在350—450nm和深紫外区(DUV,248nm)都有很好的吸收,在420nm波段曝光下,(5-对叁氟甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺)-苯乙腈(P-2)产酸率最高,可达0.96;(5-对甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺)-苯乙腈(P-1)在365nm和420nm两个波段下,均有较高的产酸率.利用实时红外(RT-IR)研究了相同浓度下4种光产酸剂对乙烯基醚化合物引发的光聚合动力学,同时研究了光产酸剂浓度对光聚合反应的影响,发现产酸剂浓度为2%时,光照30s乙烯基醚化合物的双键转化率(DC%)即能达到80%.(本文来源于《影像科学与光化学》期刊2013年04期）
刘娟,孔繁荣,余金星,王力元[5]（2011）在《含碘鎓盐光产酸剂和增感染料的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂》一文中研究指出4,4′-二甲苯基叁氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感,在365nm光照时分解产酸.尽管产生的酸与染料的胺基发生作用,依然能在后烘过程中催化缩醛聚合物酸敏基团的分解,但需要稍高的后烘温度和稍长的后烘时间.基于此,本文将酚醛树脂、缩醛聚合物、碘鎓盐产酸剂和染料组成了一种新型的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂材料,在曝光量为100mJ/cm2时可得到分辨率为0.8μm的清晰图形.染料与鎓盐光产酸剂组成的感光体系具有很好的漂白性,改善了抗蚀剂材料的透明性.(本文来源于《影像科学与光化学》期刊2011年06期）
刘娟,王争,王力元[6]（2011）在《几种硫鎓盐类光产酸剂的合成与性质》一文中研究指出硫鎓盐类光产酸剂因其较高的产酸效率和好的热稳定性而广泛应用于化学增幅光致抗蚀剂中。本论文选择不同的酚化合物为原料,使之与二甲基亚砜和氯化氢反应,合成了一系列硫鎓盐化合物,研究了其在有机溶剂中的溶解性、热稳定性、紫外吸收性质及其光解特性。以低压汞灯为曝光光源,测定了该类光产酸剂的光解量子效率在0.2—0.7范围。(本文来源于《影像技术》期刊2011年04期）
李金亮[7]（2009）在《双（叁氯甲基）叁嗪类光产酸剂的设计合成与性能研究》一文中研究指出光产酸剂是一类在外界刺激(如光、热、射线等)下能从中性化合物中分解形成特定酸的化合物,由于其形成的酸可以由外界条件控制,因此被广泛应用于如光刻胶、计算机直接制版、酸引发聚合反应等需要潜在酸的体系中。最近光产酸剂4,6-双(叁氯甲基)-1,3,5-叁嗪类衍生物的研究受到了越来越多的关注。本论文主要设计并合成了一系列此类叁嗪类光产酸剂,其中包括新型光产酸剂2,4-双(叁氯甲基)-(4′-乙酰基联苯丙酮肟)-6-叁嗪(PAG-TZ4)。这几种光产酸结构体系的设计,主要依据目前广泛认可的具有D-∏-A的化合物具有良好的光子效应特性。对光产酸剂的合成方法、反应路线、条件等进行了考察和研究,并对所合成的化合物通过IR、~1HNMR等测试手段确认了分子结构。对合成出的一系列光产酸剂分别从溶解性能、紫外吸收性能、荧光吸收性能和在乙腈溶液中的产酸性能方面进行了考察和评价。溶解性实验结果表明,所合成的光产酸剂在常用溶剂中具有较好的溶解性。紫外吸收性能和荧光吸收性能结果表明取代基对光产酸剂的紫外吸收和荧光吸收有很大影响。另外,考察了它们在直接光照和加入光敏化剂光照后在乙腈溶剂中的产酸性能。实验结果表明在合成的光产酸剂中,含有典型D-∏-A结构的PAG-TZ4都具有较高的产酸效率,因此其有望应用于紫激光产酸体系中。运用分子轨道理论中的半经验量子计算法分别对四种光产酸剂进行结构优化,给出了四种光产酸剂的稳定构型。并对光产酸剂的键长、二面角、偶极矩、分子总能量、分子前线轨道进行了研究。(本文来源于《中南大学》期刊2009-06-30）
褚战星,翟晓晓,王力元,李敏[8]（2007）在《几种光产酸剂产酸效率的测定》一文中研究指出溴酚兰水溶液的紫外吸收会随着体系中含酸的量发生变化,在440 nm吸收峰处一定浓度范围内溴酚兰水溶液的吸光度与溶液中酸浓度成正比,可由此测定酸浓度.用这种方法测定了3种不同类型的光产酸剂在聚乙二醇膜层中在低压汞灯(254 nm)照射下的产酸量.其中叁嗪光产酸剂的光照产酸能力最强.(本文来源于《北京师范大学学报(自然科学版)》期刊2007年01期）
韩元利,王文广,蒲嘉陵[9]（2006）在《一种基于叁苯胺类光产酸剂的制备与表征》一文中研究指出制备了一种基于叁苯胺的硫鎓盐类光产酸剂,它有较高的热分解温度和在常用有机溶剂中有较好的溶解性。并考察了其在相同浓度、相同光强、曝光波长(406nm)下在叁种不同溶剂中的光解性质,并分别计算出分解量子产率。(本文来源于《中国感光学会第七次全国会员代表大会暨学术年会和第七届青年学术交流会论文摘要集》期刊2006-04-01）
王力元,褚占星,盛丽英[10]（2005）在《光产酸剂产酸效率测定》一文中研究指出溴酚蓝水溶液的紫外吸收会随着体系中酸的量变化,以此为基础,用一种简单新颖的方法测定了叁种不同的光产酸剂在聚乙二醇膜层中在低压汞灯照射下的产酸量。并且用这种方法考查了二种1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯酸增殖的酸解性质。(本文来源于《2005年中国科协学术年会论文集第8分会场光固化与数字成像技术及其应用论文集》期刊2005-08-01）
光产酸剂论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
光产酸剂是化学增幅型光致抗蚀剂中的主要组成部分。本课题合成了几种硫鎓盐光产酸剂,它们的阳离子都带有芳环或脂环,阴离子是氟代磺酸根或樟脑磺酸根。它们在在光致抗蚀剂常用溶剂中有一定溶解性,九氟丁基磺酸盐的溶解性稍好于叁氟甲磺酸盐,且在248 nm处有较强的吸收。金属杂质含量是光产酸剂的一个重要指标,故本课题对降低硫鎓盐的金杂含量进行了研究。采用反复蒸馏、重结晶等方法对试剂及产物进行纯化;实验设备则尽量避免使用普通玻璃材料,而换用金属杂质释放较少的石英、塑料、聚四氟乙烯等材料;如有必要,实验在正压的超净台内进行。经过反复实验,摸索出了一套有效的除金属杂质的方法,金属杂质残留降低到了1 ppm级别,同时亦能保证较高的产率。以(2-苯甲酰)-甲基四氢噻吩鎓叁氟甲磺酸盐为例,其与叔丁氧基碳酸酯部分保护的聚对羟基苯乙烯等组成的双组份248-nm化学增幅型光致抗蚀剂材料,采用KrF步进曝光系统进行了评价,得到分辨率为180nm的线条,留膜率可达到99%左右。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
光产酸剂论文参考文献
[1].李金亮.几种光产酸剂的合成与产酸性能研究[J].广州化工.2016
[2].乔瑀,胡凡华,王力元.硫鎓盐光产酸剂的制备、纯化及其在248-nm光致抗蚀剂中的应用[C].中国化学会第29届学术年会摘要集——第21分会：光化学.2014
[3].徐娜,王艳,陈哲.几种用于i-线光致抗蚀剂的光产酸剂性能研究[J].吉林化工学院学报.2013
[4].解晓艳,庞玉莲,肖时卓,杨丽,邹应全.磺酸肟酯类光产酸剂的制备及性能研究[J].影像科学与光化学.2013
[5].刘娟,孔繁荣,余金星,王力元.含碘鎓盐光产酸剂和增感染料的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂[J].影像科学与光化学.2011
[6].刘娟,王争,王力元.几种硫鎓盐类光产酸剂的合成与性质[J].影像技术.2011
[7].李金亮.双（叁氯甲基）叁嗪类光产酸剂的设计合成与性能研究[D].中南大学.2009
[8].褚战星,翟晓晓,王力元,李敏.几种光产酸剂产酸效率的测定[J].北京师范大学学报(自然科学版).2007
[9].韩元利,王文广,蒲嘉陵.一种基于叁苯胺类光产酸剂的制备与表征[C].中国感光学会第七次全国会员代表大会暨学术年会和第七届青年学术交流会论文摘要集.2006
[10].王力元,褚占星,盛丽英.光产酸剂产酸效率测定[C].2005年中国科协学术年会论文集第8分会场光固化与数字成像技术及其应用论文集.2005